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直流电弧等离子喷射CVD中控制生长(111)晶面占优的金刚石膜 被引量:3
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作者 周祖源 陈广超 +7 位作者 戴风伟 兰昊 宋建华 李彬 佟玉梅 李成明 黑立富 唐伟忠 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期478-480,共3页
运用光发射谱(OES)技术对大功率直流电弧等离子喷射CVD金刚石膜的气相沉积环境进行了原位诊断,研究了气相环境中主要含碳基团的浓度及分布与沉积参数的关系,发现了C2基元比其他基元对沉积参数更加敏感。利用光发射谱对C2基元发射强度的... 运用光发射谱(OES)技术对大功率直流电弧等离子喷射CVD金刚石膜的气相沉积环境进行了原位诊断,研究了气相环境中主要含碳基团的浓度及分布与沉积参数的关系,发现了C2基元比其他基元对沉积参数更加敏感。利用光发射谱对C2基元发射强度的监测,实时调控沉积各参数,在大功率直流电弧等离子喷射CVD中实现了(111)晶面占优的金刚石膜的可控生长,I(111)/I(220)XRD衍射峰强度的比值达48。 展开更多
关键词 光发射谱 金刚石膜 直流电弧等离子喷射CVD (111)占优晶面
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CH_3OH、CO和CO_2在Pd(111)单晶及其预氧化表面的吸附和分解
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作者 陈宝珠 徐富春 +3 位作者 王水菊 区泽棠 姚丽君 熊国兴 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1994年第S1期208-213,共6页
用UPS和XPS等表面分析方法,研究了CH_3OH、CO和CO_2等小分子在Pd(1111)单晶及其预氧化表面的吸附性质。室温下,CH_3OH在清洁的Pd(111)表面以CH_3O ̄-的形态被吸附,部分分解为CH_2... 用UPS和XPS等表面分析方法,研究了CH_3OH、CO和CO_2等小分子在Pd(1111)单晶及其预氧化表面的吸附性质。室温下,CH_3OH在清洁的Pd(111)表面以CH_3O ̄-的形态被吸附,部分分解为CH_2;CO在Pd(111)表面首先以分子形式被吸附,尔后部分解离成C ̄(8-);CO_2在Pd(111)表面分解C ̄(8-).CO_(2b)和C-O键的活化与Pd表面的电子密度有关,氧化使Pd表面断裂C-O键的活性降低,而断裂O-H和C-H键的活性仍然存在。 展开更多
关键词 Pd(111)单晶 表面 XPS UPS 吸附分解
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以磷化铁为添加剂沿(111)面生长磷掺杂金刚石大单晶 被引量:3
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作者 聂媛 许安涛 +9 位作者 李尚升 胡美华 赵法卿 赵桂平 黄国锋 李战厂 周振翔 王蒙召 陈珈希 周绪彪 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2022年第4期587-593,共7页
掺杂是调控金刚石性能的一种重要手段。本文采用温度梯度法,在5.6 GPa、1312℃的条件下,选用Fe_(3)P作为磷源进行磷掺杂金刚石大单晶的合成。金刚石样品的显微光学照片表明,随着Fe_(3)P添加比例的增加,金刚石晶体的颜色逐渐变深,包裹体... 掺杂是调控金刚石性能的一种重要手段。本文采用温度梯度法,在5.6 GPa、1312℃的条件下,选用Fe_(3)P作为磷源进行磷掺杂金刚石大单晶的合成。金刚石样品的显微光学照片表明,随着Fe_(3)P添加比例的增加,金刚石晶体的颜色逐渐变深,包裹体数量逐渐增加,晶形由板状转变为塔状直至骸晶。金刚石晶形的变化表明Fe_(3)P的添加使生长金刚石的V形区向右偏移,这是Fe_(3)P改变触媒特性的缘故。红外光谱分析表明,Fe_(3)P的添加使金刚石晶体中氮含量上升,这说明磷的进入诱使氮原子更容易进入金刚石晶格中。激光拉曼光谱测试表明,随着Fe_(3)P添加比例的增加,所合成的掺磷金刚石的拉曼峰位变化不大,其半峰全宽(FWHM)值变大,这说明磷的进入使得金刚石晶格畸变增加。XPS测试结果显示,随着Fe_(3)P添加比例的增加,金刚石晶体中磷相对碳的原子百分含量也会增加,这意味着添加Fe_(3)P所合成的金刚石晶体中有磷存在。 展开更多
关键词 Fe_(3)P 掺杂 (111)面 金刚石大单晶 温度梯度法 超硬材料
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CdZnTe衬底对碲镉汞气相外延表面形貌的影响 被引量:1
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作者 王仍 焦翠灵 +6 位作者 张莉萍 张可锋 陆液 杜云辰 邵秀华 林杏潮 李向阳 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2015年第9期1064-1067,共4页
利用气相外延技术在Cd Zn Te衬底上生长Hg1-xCdxTe薄膜材料,通过在不同晶向、不同极性、不同晶向偏离角度Cd Zn Te衬底上的外延结果发现,Cd Zn Te衬底对外延形貌的影响非常大。(111)面衬底上外延形貌明显优于(211)面衬底的外延形貌。对... 利用气相外延技术在Cd Zn Te衬底上生长Hg1-xCdxTe薄膜材料,通过在不同晶向、不同极性、不同晶向偏离角度Cd Zn Te衬底上的外延结果发现,Cd Zn Te衬底对外延形貌的影响非常大。(111)面衬底上外延形貌明显优于(211)面衬底的外延形貌。对于同是<111>Cd Zn Te晶向的衬底,(111)Cd面Cd Zn Te衬底上的外延形貌明显优于(111)Te面。对于(111)Cd面Cd Zn Te衬底,当晶向偏离角度不同时,其外延形貌也有差异,晶向偏离角越小表面形貌越好。 展开更多
关键词 Hg1-xCdxTe晶体 CdZnTe衬底 (111)Cd面 (111)Te面
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碲锌镉衬底晶面极性对水平液相外延碲镉汞薄膜的影响 被引量:1
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作者 霍勤 张诚 +5 位作者 焦翠灵 王仍 毛诚铭 陆液 乔辉 李向阳 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第1期1-7,共7页
研究了碲锌镉衬底(111)晶面的不同极性对水平推舟液相外延生长碲镉汞薄膜的影响。实验结果显示,(111)A面碲锌镉衬底水平液相外延生长碲镉汞薄膜材料组分和厚度均与常规(111)B面碲锌镉衬底碲镉汞薄膜材料相当;碲镉汞母液在采用(111)A面、... 研究了碲锌镉衬底(111)晶面的不同极性对水平推舟液相外延生长碲镉汞薄膜的影响。实验结果显示,(111)A面碲锌镉衬底水平液相外延生长碲镉汞薄膜材料组分和厚度均与常规(111)B面碲锌镉衬底碲镉汞薄膜材料相当;碲镉汞母液在采用(111)A面、(111)B面衬底进行液相外延生长的碲镉汞薄膜上接触角分别为(50±2)°和(30±2)°,结合微观模型分析确认碲镉汞母液在碲镉汞薄膜(111)A面存在更大的表面张力;观察并讨论了(111)A面碲镉汞与(111)B面碲镉汞薄膜材料表面微观形貌的差别;实验获得的(111)A面碲镉汞薄膜XRD半峰宽为33.1arcsec。首次报道了(111)晶面选择对母液残留的影响,研究结果表明,采用(111)A面碲锌镉衬底进行碲镉汞水平推舟液相外延生长,能够在不降低晶体质量的情况下,大幅减小薄膜表面母液残留。 展开更多
关键词 Hg1-xCdxTe晶体 CdZnTe衬底 液相外延 (111)A面 (111)B面
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