期刊文献+
共找到722篇文章
< 1 2 37 >
每页显示 20 50 100
倾斜小锤结构对SAW谐振器性能的影响研究
1
作者 李强 帅垚 +2 位作者 吴传贵 罗文博 张万里 《压电与声光》 北大核心 2025年第3期484-489,共6页
为了提升5G时代高频滤波器的性能,研究了基于X-37°Y LiNbO3为压电衬底的固态装配型谐振器(SMR)结构的声表面波(SAW)谐振器。通过二维和三维有限元仿真,研究了谐振器结构参数对其性能的影响,并通过流片验证了仿真结果。结果表明,该... 为了提升5G时代高频滤波器的性能,研究了基于X-37°Y LiNbO3为压电衬底的固态装配型谐振器(SMR)结构的声表面波(SAW)谐振器。通过二维和三维有限元仿真,研究了谐振器结构参数对其性能的影响,并通过流片验证了仿真结果。结果表明,该结构下旋转角37°时谐振器性能最优,且倾斜角度的增加可增强对横向模态杂散的抑制效果,当倾斜角度超过18°后效果减弱并引入新的杂散。倾斜小锤结构在一定程度上能提高谐振器的品质因数(Q)值,由此确定其最佳倾斜角度为15°~18°,且能在抑制杂散和保持Q值间取得平衡,这为高频SAW滤波器提供了设计指导。 展开更多
关键词 固态装配型谐振器(SMR) 声表面波谐振器 有限元仿真 倾斜小锤结构 品质因数
在线阅读 下载PDF
Characteristics and realization of the second generation surface acoustic wave’s wavelet device 被引量:1
2
作者 Wen Changbao Zhu Changchun Lu Wenke Liu Qinghong Liu Junhua 《Journal of Systems Engineering and Electronics》 SCIE EI CSCD 2006年第3期467-472,共6页
To overcome the bulk acoustic wave (BAW), the triple transit signals and the discontinuous frequency band in the first generation surface acoustic wave's (FGSAW' s) wavelet device, the full transfer multistrip c... To overcome the bulk acoustic wave (BAW), the triple transit signals and the discontinuous frequency band in the first generation surface acoustic wave's (FGSAW' s) wavelet device, the full transfer multistrip coupler (MSC) is applied to implement wavelet device, and a novel structure of the second generation surface acoustic wave's (SGSAW's) wavelet device is proposed. In the SGSAW' s wavelet device, the BAW is separated and eliminated in different acoustic propagating tracks, and the triple transit signal is suppressed. For arbitrary wavelet scale device, the center frequency is three times the radius of frequency band, which ensures that the frequency band of the SGSAW's wavelet device is continuous, and avoids losing signals caused by the discontinuation of frequency band. Experimental result confirms that the BAW suppression, ripples in band, receiving loss and insertion loss of the SGSAW' s wavelet device are remarkably improved compared with those of the FGSAW' s wavelet device. 展开更多
关键词 multistrip coupler wavelet device surface acoustic wave frequency band continuity.
在线阅读 下载PDF
基于硅帽键合技术的SAW圆片级封装工艺研究
3
作者 舒平 米佳 +4 位作者 雷凯 梁柳洪 林苍海 冷峻林 陈兴 《压电与声光》 北大核心 2025年第3期520-524,共5页
研究了一种基于硅帽键合技术的声表面波(SAW)滤波器圆片级封装工艺,以满足高频通信系统对封装气密性、机械强度及散热性能的严苛要求。通过优化TSV孔的深硅刻蚀工艺和LT层刻蚀工艺,结合低温PECVD沉积的SiO2钝化层,实现了高气密性、高散... 研究了一种基于硅帽键合技术的声表面波(SAW)滤波器圆片级封装工艺,以满足高频通信系统对封装气密性、机械强度及散热性能的严苛要求。通过优化TSV孔的深硅刻蚀工艺和LT层刻蚀工艺,结合低温PECVD沉积的SiO2钝化层,实现了高气密性、高散热性及高可靠性的封装结构。经可靠性测试表明,与传统聚酰亚胺圆片级封装(WLP)相比,硅帽键合WLP在uHAST后频偏量仅为2M-2.5M(B40频段),优于传统封装的5M-6M。该工艺为高性能SAW滤波器的晶圆级封装提供了可靠的技术支持。 展开更多
关键词 晶圆级封装(WLP) 硅帽 刻蚀 钝化 声表面波滤波器
在线阅读 下载PDF
基于软件无线电方案无线无源SAW温度阅读器设计 被引量:1
4
作者 王其豪 曹俊豪 +1 位作者 张光祖 罗为 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第1期22-25,共4页
目前谐振型声表面波(SAW)阅读器射频电路大多采取分立器件设计,针对系统整体工作频段受限,硬件设计繁琐的问题,该文提出了一种软件无线电方案。软件无线电系统主体由ZYNQ和AD9361组成,射频收发端口添加LNA、PA进行信号功率放大,使用射... 目前谐振型声表面波(SAW)阅读器射频电路大多采取分立器件设计,针对系统整体工作频段受限,硬件设计繁琐的问题,该文提出了一种软件无线电方案。软件无线电系统主体由ZYNQ和AD9361组成,射频收发端口添加LNA、PA进行信号功率放大,使用射频开关隔离收发。通过发射步进频率5 kHz、带宽1 MHz扫频信号,并对回波进行频谱分析求取最大值,最终得到谐振频率。针对SAW传感器回波持续时间较短而导致FFT计算分辨率的不足,使用重复采集增加数据长度,将阅读器的分辨率提高到468.75 Hz。实验结果表明,该阅读器能够正确探测传感器温度变化。 展开更多
关键词 声表面波 saw谐振器 AD9361 软件无线电 ZYNQ
在线阅读 下载PDF
面内传播方向对SAW滤波器性能的影响研究
5
作者 朱建宇 魏子杰 +7 位作者 范维 李沛然 钱一聪 帅垚 吴传贵 罗文博 潘忻强 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期435-438,共4页
为了满足窄带声表面波滤波器对品质因数Q值和带外抑制日益增长的需求,提出了一种窄带滤波器设计方法。在基于新型POI结构谐振器的基础上,通过旋转谐振器达到改变波传播角度的目的,并利用二维全模型得到准确的实验数据,与原结构谐振器分... 为了满足窄带声表面波滤波器对品质因数Q值和带外抑制日益增长的需求,提出了一种窄带滤波器设计方法。在基于新型POI结构谐振器的基础上,通过旋转谐振器达到改变波传播角度的目的,并利用二维全模型得到准确的实验数据,与原结构谐振器分别代入滤波器设计中进行比较。实验结果表明,该方法在一定程度上能够有效地增加带外抑制,对过渡带抑制能力有2~4 dB的提升,且具有设计简便,占用空间小等优点。 展开更多
关键词 声表面波(saw) 窄带 谐振器 带外抑制 压电材料
在线阅读 下载PDF
基于IDT/ZnO/AlN/Diamond结构的混合SAW/BAW压力敏感元件特性研究
6
作者 武庆鹏 王地懋 +1 位作者 曾龙 王艳 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期322-327,共6页
利用有限元方法分析了基于IDT/ZnO/AlN/Diamond不同结构混合SAW/BAW器件的声学特性,包括层状薄膜结构、ZnO薄膜刻蚀结构和填充结构。结果表明,当h_(ZnO)/λ=0.3、h_(AlN)/λ=0.5,且ZnO被完全刻蚀(d/h_(ZnO)=1)时,刻蚀结构混合SAW/BAW(... 利用有限元方法分析了基于IDT/ZnO/AlN/Diamond不同结构混合SAW/BAW器件的声学特性,包括层状薄膜结构、ZnO薄膜刻蚀结构和填充结构。结果表明,当h_(ZnO)/λ=0.3、h_(AlN)/λ=0.5,且ZnO被完全刻蚀(d/h_(ZnO)=1)时,刻蚀结构混合SAW/BAW(准西沙瓦波)的机电耦合系数(K^(2))取得最大值6.54%,比层状结构(d/h_(ZnO)=0)提升了近一倍。刻蚀结构中,SiO_(2)和Diamond填充物的引入不仅提高了准西沙瓦波的K_(2),而且改善了其压力传感特性。当d/h_(ZnO)=1时,SiO_(2)和Diamond填充结构准西沙瓦波的压力频移分别为81.2 kHz/MPa和207.4 kHz/MPa,比刻蚀结构分别提高了58.7%和300%;同时,Diamond填充物的引入使准西沙瓦波的频率压力系数(PCF)达到最大值297×10^(-6)/MPa,比d/h_(ZnO)=0时提高了约30%。由此可知,通过引入不同的填充物可以开发不同的功能传感器,在压力、温度和气敏等传感领域将具有极大的应用前景。 展开更多
关键词 声表面波 准西沙瓦波 刻蚀结构 压力传感
在线阅读 下载PDF
基于阻抗负载原理的SAWR传感研究
7
作者 刘翔宇 陈智军 +2 位作者 庞旗旗 刘清睿 薛昕烁 《压电与声光》 北大核心 2024年第6期840-845,859,共7页
声表面波谐振器型传感器作为一种新型的无源无线传感器,在诸多场合具有应用潜力,但依赖待测对象对谐振器本身的直接作用。为拓展应用范围,将电抗敏感元件作为阻抗匹配网络的元件之一,设计了基于低失配网络的阻抗负载谐振器型传感器,并... 声表面波谐振器型传感器作为一种新型的无源无线传感器,在诸多场合具有应用潜力,但依赖待测对象对谐振器本身的直接作用。为拓展应用范围,将电抗敏感元件作为阻抗匹配网络的元件之一,设计了基于低失配网络的阻抗负载谐振器型传感器,并对其敏感原理及低失配网络的实现本质进行分析。在此基础上提出预偏置器件方案,不仅将谐振器自身谐振频率移至阻抗测量范围中间,而且使频率敏感范围提升了一倍。实际制作低失配网络测试电路板并验证其理论的正确性,最后分析了实测结果与理论存在偏差的原因,并提出了理论模型的改进方向。 展开更多
关键词 声表面波谐振器 无源无线 阻抗负载 低失配网络 预偏置器件
在线阅读 下载PDF
基于SAW-IDT无损表征互连薄膜杨氏模量的研究
8
作者 黄祎婷 肖夏 张立 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第11期1841-1848,共8页
探究了一种利用声表面波叉指换能器(SAW-IDT)无损表征low-k互连薄膜杨氏模量的方案。采用有限元法对不同工作频率的SAW-IDT进行建模,研究SAW-IDT所激励的声表面波在不同厚度的二氧化硅薄膜以及low-k薄膜表面传播的特性。利用倾斜叠加法... 探究了一种利用声表面波叉指换能器(SAW-IDT)无损表征low-k互连薄膜杨氏模量的方案。采用有限元法对不同工作频率的SAW-IDT进行建模,研究SAW-IDT所激励的声表面波在不同厚度的二氧化硅薄膜以及low-k薄膜表面传播的特性。利用倾斜叠加法计算声表面波在薄膜表面传播的频散曲线并与理论频散曲线匹配,对不同厚度的二氧化硅薄膜和low-k薄膜的杨氏模量进行了表征。仿真结果表明,厚度为500 nm和1000 nm的二氧化硅薄膜杨氏模量的反演结果与实际值的误差为4.28%和2.50%,厚度为500 nm和1000 nm的low-k薄膜样片的杨氏模量测量误差分别为6.95%和4.53%。基于仿真结果设计了频率范围为20 MHz~125 MHz的线性周期结构的SAW-IDT,并表征了厚度为1000 nm的low-k薄膜的杨氏模量,为互连薄膜杨氏模量的无损检测提供了一种有价值的方案。 展开更多
关键词 声表面波技术 杨氏模量 无损检测 有限元 叉指换能器
在线阅读 下载PDF
塔西南山前带的地震波场正演模拟分析
9
作者 裴广平 沈天晶 +2 位作者 彭更新 姜泽磊 陈飞旭 《西南石油大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第3期76-87,共12页
塔里木盆地西南山前带地区的地表、地下构造模式复杂,构造岩性多变,属典型的“地表地下双复杂”区域,地震波场复杂,处理与成像难度大,精度低。为厘清该地区的地震波场传播规律,为后续资料处理提供理论基础,以实际地震资料、测井数据以... 塔里木盆地西南山前带地区的地表、地下构造模式复杂,构造岩性多变,属典型的“地表地下双复杂”区域,地震波场复杂,处理与成像难度大,精度低。为厘清该地区的地震波场传播规律,为后续资料处理提供理论基础,以实际地震资料、测井数据以及近地表露头数据为基础,建立了代表该地区地质特征的双复杂速度模型,并进行地震波场模拟分析。首先,利用近地表层析数据与高程建立了近地表速度模型;其次,以地震解释数据为基础,对复杂构造模型进行模式化调整;最后,将近地表速度模型与构造模型进行融合完成速度结构建模。为更好地建立符合目标工区实际Q值分布,总结了一套基于稀疏井数据的Q模型建立方法。通过对上述方法建立的速度模型与Q模型进行地震波场正演模拟,分析了地表高程起伏、近地表速度分布等因素对地下地震波场的影响。上述研究可为研究区的地震采集观测系统参数优化、提高地震成像质量建立理论基础。 展开更多
关键词 三维地质建模 起伏地表 数值模拟 数值频散 黏声波正演
在线阅读 下载PDF
碳纳米管聚苯胺薄膜SAWSO2传感器的实验研究 被引量:8
10
作者 文常保 朱长纯 +5 位作者 巨永锋 邱彦章 许宏科 胡小东 吴媛 刘君华 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期157-160,共4页
以128°YX-LiNbO3晶体上实现的双声路声表面波(SAW)器件为载体,在器件的测量声路上制作了对SO2气体具有敏感作用的碳纳米管聚苯胺薄膜,提出了一种基于碳纳米管聚苯胺薄膜的SAW SO2气体传感器。该传感器中的双声路结构消除了因外界... 以128°YX-LiNbO3晶体上实现的双声路声表面波(SAW)器件为载体,在器件的测量声路上制作了对SO2气体具有敏感作用的碳纳米管聚苯胺薄膜,提出了一种基于碳纳米管聚苯胺薄膜的SAW SO2气体传感器。该传感器中的双声路结构消除了因外界测量条件改变引起的测量误差,提高了传感器的可靠性和准确性。利用原位法制备的碳纳米管聚苯胺增加了SO2气体的吸附面积,提高了传感器的灵敏度。实验结果表明,基于碳纳米管聚苯胺薄膜的SAW SO2气体传感器在测量范围内对各种浓度的SO2气体具有好的响应特性;当输入体积分数为1×10-6时,传感器的响应灵敏度约为8.3 kHz,比单一聚苯胺薄膜高1.8 kHz。此外,该传感器也具有更好的线性特性。 展开更多
关键词 声表面波器件 碳纳米管聚苯胺薄膜 SO2气体 传感器
在线阅读 下载PDF
基于一种改进型DMS结构的极窄带SAW滤波器 被引量:3
11
作者 赵雪梅 郑泽渔 +3 位作者 董加和 伍平 陈彦光 陈正林 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期253-255,共3页
该文采用一种改进型双模声表面波(DMS)结构来设计1.5 GHz的极窄带声表面波(SAW)滤波器。DMS结构两端的反射器采用分布式多周期加权结构能够消除在声通道上传播的多种声反射模式。为灵活设计滤波器阻带抑制及带宽指标,在DMS结构的两个叉... 该文采用一种改进型双模声表面波(DMS)结构来设计1.5 GHz的极窄带声表面波(SAW)滤波器。DMS结构两端的反射器采用分布式多周期加权结构能够消除在声通道上传播的多种声反射模式。为灵活设计滤波器阻带抑制及带宽指标,在DMS结构的两个叉指换能器(IDT)之间加入反射器。结果表明,研制的极窄带SAW滤波器中心频率为1.5 GHz,实测带宽为878.75 kHz,插入损耗为5.8 dB,阻带抑制达到45 dB。 展开更多
关键词 声表面波(saw)滤波器 极窄带 相对带宽 双模声表面波
在线阅读 下载PDF
SAW氢传感器的研究进展 被引量:6
12
作者 周俊静 殷晨波 +1 位作者 涂善东 Daniel Sonnleithner 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2007年第3期1-3,共3页
对声表面波(SAW)氢传感器的研究目前主要集中在改善其敏感性、加快响应速度、增强稳定性以及消除温度的影响。要实现这些目标,一是改善SAW氢传感器的关键部件——敏感薄膜的性能;二是改进传感器的结构。对主要研究机构在这些方面的研究... 对声表面波(SAW)氢传感器的研究目前主要集中在改善其敏感性、加快响应速度、增强稳定性以及消除温度的影响。要实现这些目标,一是改善SAW氢传感器的关键部件——敏感薄膜的性能;二是改进传感器的结构。对主要研究机构在这些方面的研究进行了系统的综述,并提出了发展方向。 展开更多
关键词 声表面波 氢传感器 钯膜
在线阅读 下载PDF
高接收信噪比的远距离SAW传感系统研究 被引量:6
13
作者 李平 谢华 +2 位作者 文玉梅 蔡飞 杨玲玲 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期1293-1298,共6页
远距离的声表面波传感系统具有广泛的应用前景。为增加查询距离,需提高接收通道回波信噪比。针对接收通道干扰信号与传感响应信号频率一致且难以消除等问题,提出了一种能够在接收期间通过调节发射信号频率改变干扰信号与响应信号频率差... 远距离的声表面波传感系统具有广泛的应用前景。为增加查询距离,需提高接收通道回波信噪比。针对接收通道干扰信号与传感响应信号频率一致且难以消除等问题,提出了一种能够在接收期间通过调节发射信号频率改变干扰信号与响应信号频率差,以频率不同抑制干扰信号,进而提高信噪比的方法。设计并测试了实验系统。实验结果表明,该方法能有效提高回波信号信噪比10.68 dB,实测查询距离大于16 m。该方法为远程无源无线传感测量提供了保证,具有实际应用价值。 展开更多
关键词 声表面波 谐振器 无源无线传感
在线阅读 下载PDF
MWCNT-WO_3薄膜双声路SAW NO_2气体传感器 被引量:3
14
作者 文常保 朱长纯 +3 位作者 巨永锋 邱彦章 许宏科 刘君华 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1678-1681,共4页
以金属钨粉,H2O2,CH3OH和多壁碳纳米管(MWCNT)为原料,在双声路声表面波(SAW)器件的测量声路上制作了MWCNT-WO3薄膜,提出并实现了一种MWCNT-WO3薄膜双声路SAW NO2气体传感器。由于MWCNT和WO3对NO2气体都有敏感作用,而且碳纳米管的毛细作... 以金属钨粉,H2O2,CH3OH和多壁碳纳米管(MWCNT)为原料,在双声路声表面波(SAW)器件的测量声路上制作了MWCNT-WO3薄膜,提出并实现了一种MWCNT-WO3薄膜双声路SAW NO2气体传感器。由于MWCNT和WO3对NO2气体都有敏感作用,而且碳纳米管的毛细作用、以及MWCNT的加入都增加了气体的接触面积,提高了NO2气体的吸附和敏感作用。同时,SAW器件的双声路结构消除了由于外界测量条件改变引起的测量误差,也进一步提高了传感器的可靠性和准确性。实验结果表明,该传感器对各种浓度的NO2气体具有好的响应特性,在31.2×10-9到20×10-6范围内,传感器的响应灵敏度为9.8kHz/1×10-6,比单一MWCNT或WO3薄膜对NO2气体具有更好的灵敏度和线性特性。 展开更多
关键词 声表面波器件 MWCNT WO3 NO2气体 传感器
在线阅读 下载PDF
面向电网应用的SAW温度传感器设计 被引量:5
15
作者 王磊 刘文 卢小荣 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2012年第6期817-819,共3页
针对谐振型声表面波(SAW)传感器,研究了3种不同窗函数加权对SAW传感器谐振响应副瓣抑制的影响,仿真结果表明,凯瑟尔窗在旁瓣抑制上性能最优,阻带最小衰减达-120.2dB。同时制备了以LST切型石英为基片材料,凯瑟尔窗为加权函数的SAW温度传... 针对谐振型声表面波(SAW)传感器,研究了3种不同窗函数加权对SAW传感器谐振响应副瓣抑制的影响,仿真结果表明,凯瑟尔窗在旁瓣抑制上性能最优,阻带最小衰减达-120.2dB。同时制备了以LST切型石英为基片材料,凯瑟尔窗为加权函数的SAW温度传感器。测试和应用试验表明,所设计的传感器性能具有良好的一致性、温度频率特性和旁瓣抑制能力,能较好满足面向电网温度状态监测的应用。 展开更多
关键词 声表面波(saw) 温度传感器 谐振器 凯瑟尔窗 电网应用
在线阅读 下载PDF
SAW传感器对神经性毒剂及模拟剂的检测进展 被引量:3
16
作者 王华 杜晓松 +3 位作者 蒋亚东 谢光忠 应智花 何为 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2007年第4期7-10,共4页
基于压电效应和化学特异选择性的有机敏感材料的声表面波(SAW)传感器,因其具有体积小、响应时间快、选择性好、可集成度高等优点而成为对气体实时、在线检测的重要手段之一。介绍了SAW传感器在神经性毒剂及其模拟剂检测中的应用,重点从... 基于压电效应和化学特异选择性的有机敏感材料的声表面波(SAW)传感器,因其具有体积小、响应时间快、选择性好、可集成度高等优点而成为对气体实时、在线检测的重要手段之一。介绍了SAW传感器在神经性毒剂及其模拟剂检测中的应用,重点从SAW传感器测试电路、敏感膜材料、成膜方法及信号处理等方面介绍此领域的研究现状,并对发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 声表面波传感器 敏感膜 质量沉积效应 模式识别
在线阅读 下载PDF
SAW技术在有机硫化学战剂检测中的研究 被引量:8
17
作者 刘卫卫 余建华 +1 位作者 潘勇 黄启斌 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2006年第1期14-16,20,共4页
通过对目前世界各国声表面波(SAW)技术检测有机硫化学战剂研究发展状况的回顾,详细讲述了SAW传感器中膜材料的选择、镀膜方法、温湿度等因素对检测的影响,以及SAW技术在检测有机硫化学战剂的应用。并对其目前存在的问题及今后的发展前... 通过对目前世界各国声表面波(SAW)技术检测有机硫化学战剂研究发展状况的回顾,详细讲述了SAW传感器中膜材料的选择、镀膜方法、温湿度等因素对检测的影响,以及SAW技术在检测有机硫化学战剂的应用。并对其目前存在的问题及今后的发展前景提出了初步看法。 展开更多
关键词 声表面波 有机硫化学战剂 检测
在线阅读 下载PDF
用于室内有毒气体快速检测的便携式CC/SAW电子鼻 被引量:8
18
作者 郭希山 童基均 +1 位作者 陈裕泉 杨祥龙 《传感技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期68-73,共6页
开发了一种用于室内空气质量快速检测的便携式电子鼻气体分析仪。该仪器利用毛细管分离柱(CC)将混合气体选择性分离,实现对气体的分类识别,然后借助声表面波(SAW)传感器频率响应测量每种组分对应的浓度,实现对气体的量化。实验针对17种... 开发了一种用于室内空气质量快速检测的便携式电子鼻气体分析仪。该仪器利用毛细管分离柱(CC)将混合气体选择性分离,实现对气体的分类识别,然后借助声表面波(SAW)传感器频率响应测量每种组分对应的浓度,实现对气体的量化。实验针对17种有毒有害气体进行测试,结果表明该系统能对低浓度复杂混合气体进行快速检测,且具有较高的灵敏度,良好的选择性和重复性。这为不同应用场合下的痕量气体检测提供了一种可行的技术。 展开更多
关键词 毛细管分离柱 声表面波传感器 电子鼻 VOCS
在线阅读 下载PDF
X切LNOI谐振器的横模抑制方法研究
19
作者 王浩东 帅垚 +3 位作者 吴传贵 彭斌 潘忻强 张万里 《压电与声光》 北大核心 2025年第3期474-478,共5页
研究了基于X切LNOI(LiNbO_(3)on Insulator)衬底的声表面波谐振器。在保持谐振器品质因数(Q)值不变的情况下,采用电极假指长度加权的方法来抑制横向模态。设计并制备了不同结构的加权电极结构谐振器,系统地探讨了电极加权周期及幅值对... 研究了基于X切LNOI(LiNbO_(3)on Insulator)衬底的声表面波谐振器。在保持谐振器品质因数(Q)值不变的情况下,采用电极假指长度加权的方法来抑制横向模态。设计并制备了不同结构的加权电极结构谐振器,系统地探讨了电极加权周期及幅值对横向模态的影响规律。通过对比分析,确定了在频率2.5 GHz下X切LNOI结构的最佳加权电极结构。实验结果表明,调整加权电极的设计可以有效抑制因X切LN(LiNbO_(3))材料引发的横向模态,进而优化谐振器的性能。 展开更多
关键词 LNOI 声表面波 机电耦合系数 横向模态抑制 加权电极
在线阅读 下载PDF
ZnO/IDT/金刚石结构SAW滤波器的设计和制作 被引量:3
20
作者 陈颖慧 郑英彬 +3 位作者 席仕伟 唐彬 王旭光 张慧 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期443-447,478,共6页
传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f<500 MHz),但是无线通信频段逐渐向着高频化的方向发展,因此在SAW器件领域中引入高声速材料如金刚石以提高中心频率成为一种必然趋势。基于金刚石材料、采用ZnO/I... 传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f<500 MHz),但是无线通信频段逐渐向着高频化的方向发展,因此在SAW器件领域中引入高声速材料如金刚石以提高中心频率成为一种必然趋势。基于金刚石材料、采用ZnO/IDT/金刚石新型结构,设计了交错叉指结构和镜像阻抗连接结构的叉指换能器(IDT)参数。通过优化的工艺制备流程,获得了金刚石SAW滤波器样品。最后采用RF探针台对样品进行了性能测试和数据分析。测试结果表明制备的SAW滤波器样品的测试结果与理论值比较符合,交错叉指结构滤波器获得了很低的插损,镜像阻抗连接结构滤波器有效地提高了带外抑制度。样品IDT指宽2μm,SAW滤波器中心频率可达0.775 GHz。 展开更多
关键词 射频微机电系统(RFMEMS) 声表面波滤波器(saw) 金刚石 氧化锌薄膜 叉指换能器(IDT)
在线阅读 下载PDF
上一页 1 2 37 下一页 到第
使用帮助 返回顶部