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基于软件无线电方案无线无源SAW温度阅读器设计 被引量:1
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作者 王其豪 曹俊豪 +1 位作者 张光祖 罗为 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第1期22-25,共4页
目前谐振型声表面波(SAW)阅读器射频电路大多采取分立器件设计,针对系统整体工作频段受限,硬件设计繁琐的问题,该文提出了一种软件无线电方案。软件无线电系统主体由ZYNQ和AD9361组成,射频收发端口添加LNA、PA进行信号功率放大,使用射... 目前谐振型声表面波(SAW)阅读器射频电路大多采取分立器件设计,针对系统整体工作频段受限,硬件设计繁琐的问题,该文提出了一种软件无线电方案。软件无线电系统主体由ZYNQ和AD9361组成,射频收发端口添加LNA、PA进行信号功率放大,使用射频开关隔离收发。通过发射步进频率5 kHz、带宽1 MHz扫频信号,并对回波进行频谱分析求取最大值,最终得到谐振频率。针对SAW传感器回波持续时间较短而导致FFT计算分辨率的不足,使用重复采集增加数据长度,将阅读器的分辨率提高到468.75 Hz。实验结果表明,该阅读器能够正确探测传感器温度变化。 展开更多
关键词 声表面波 saw谐振器 AD9361 软件无线电 ZYNQ
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基于谐振型SAW传感器的呼吸检测系统设计 被引量:11
2
作者 王乐 王镝 +3 位作者 於锦 王平 胡燕婕 应可净 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期498-502,共5页
人呼吸中VOCs的种类及含量与人的身体状况有关,对其的检测可用于疾病的诊断。本研究利用谐振型声表面波传感器,开发出一套可用于对人呼吸中VOCs进行检测的系统。本文首先介绍了该系统的组成及原理,并对系统的关键环节进行了测试。在此... 人呼吸中VOCs的种类及含量与人的身体状况有关,对其的检测可用于疾病的诊断。本研究利用谐振型声表面波传感器,开发出一套可用于对人呼吸中VOCs进行检测的系统。本文首先介绍了该系统的组成及原理,并对系统的关键环节进行了测试。在此基础上,系统对多组测试样本进行了实验,实验结果初步表明,本系统可对×10-9(ppb)级的VOCs测试样本进行直接检测,已经具备对人呼吸中VOCs的检测条件。 展开更多
关键词 谐振型声表面波传感器 呼吸检测 可挥发性有机化合物(VOCs)
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谐振型SAW无线无源传感器的测试系统研究 被引量:7
3
作者 王睿 张万里 +3 位作者 彭斌 邓森洋 邓言文 姜建英 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第4期566-569,共4页
采用一种低成本、高效率的电路系统实现对谐振型无线无源声表面波(SAW)传感器的测试。该电路利用直接数字频率合成(DDS)技术产生不同频率的射频信号用以激励SAW传感器。在接收端采用功率探测器检测回波信号的包络,通过包络的变化得到待... 采用一种低成本、高效率的电路系统实现对谐振型无线无源声表面波(SAW)传感器的测试。该电路利用直接数字频率合成(DDS)技术产生不同频率的射频信号用以激励SAW传感器。在接收端采用功率探测器检测回波信号的包络,通过包络的变化得到待测物理化学参量的变化。该测试系统产生的激励信号功率最高可达10dBm,测试时间约为0.5s,与矢网测试结果相比,其测试相对误差仅为0.002 4%。实验结果表明,该系统能够稳定、可靠地实现谐振型SAW传感器的快速检测。 展开更多
关键词 谐振型声表面波(saw)传感器 无线无源 直接数字频率合成 功率探测器
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基于温度调制的声表面波传感器结构设计与实验研究
4
作者 王德钊 郭亮 杨威 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第7期28-31,共4页
基于声表面波(SAW)传感器的气体检测方法集成了气敏薄膜的高特异性和SAW的高敏感性,成为当前气体检测领域的新兴发展方向。但是,由于传统气敏薄膜选择性差,限制了SAW气体传感器的应用范围,因此提出了一种基于温度调制的SAW传感器的实验... 基于声表面波(SAW)传感器的气体检测方法集成了气敏薄膜的高特异性和SAW的高敏感性,成为当前气体检测领域的新兴发展方向。但是,由于传统气敏薄膜选择性差,限制了SAW气体传感器的应用范围,因此提出了一种基于温度调制的SAW传感器的实验研究方法,并通过模拟仿真得出不同气体的灵敏度响应。为满足SAW大范围的温度调制,提出了一种微热板+叉指电极的层叠结构,并完成了这种新型结构下的电、热、声联合仿真。结果表明,气敏薄膜在不同温度下对不同气体的吸附能力各异,可根据温度曲线分辨不同气体,为SAW传感器件的优化设计提供参考。 展开更多
关键词 声表面波 温度调制 COMSOL 灵敏度 谐振频率
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谐振式SAW压力传感器敏感元件研究与设计 被引量:9
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作者 何鹏举 戴冠中 +1 位作者 陈明 徐苛杰 《传感技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期374-378,共5页
量程和温度特性是传感器的两个主要指标,SAW压力传感器的量程由基片材料的结构尺寸决定,温度效应一般采用双端对谐振器来消除,目前关于两个谐振器的位置确定还没有一个确定的方法。通过力学分析得出了圆形石英膜片的半径、厚度、和最大... 量程和温度特性是传感器的两个主要指标,SAW压力传感器的量程由基片材料的结构尺寸决定,温度效应一般采用双端对谐振器来消除,目前关于两个谐振器的位置确定还没有一个确定的方法。通过力学分析得出了圆形石英膜片的半径、厚度、和最大载荷的关系;对石英圆形膜片的应力应变关系进行了有限元数值计算,得出了正负应力在圆形石英膜片的分界点,为设计SAW谐振式压力传感器的物理结构和合理的安排谐振器的位置提供了依据。 展开更多
关键词 saw压力传感器 敏感片结构 谐振器位置 有限元
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用于N77频段的高优值S_(0)兰姆波声表面波谐振器仿真与制备
6
作者 蔡乔 帅垚 +3 位作者 彭斌 吴传贵 潘忻强 张万里 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期209-214,共6页
N77频段对声表面波滤波器提出了大带宽、低损耗等要求,但使用低声速声学模态以及单层功能层衬底结构的谐振器无法同时实现高频、宽带的目标,因此提出了基于X-37°Y铌酸锂薄膜与SiO_(2)/Ta_(2)O_(5)布喇格反射层设计,并制备了固态装... N77频段对声表面波滤波器提出了大带宽、低损耗等要求,但使用低声速声学模态以及单层功能层衬底结构的谐振器无法同时实现高频、宽带的目标,因此提出了基于X-37°Y铌酸锂薄膜与SiO_(2)/Ta_(2)O_(5)布喇格反射层设计,并制备了固态装配型的声表面波谐振器。首先确定谐振器的工作模态为高相速度S_(0)兰姆波,通过仿真各层薄膜厚度对器件性能的影响,确定了谐振器中各层薄膜材料的厚度;然后基于该器件结构参数,针对N77频段制备了一组电极周期为1.40~1.86μm的谐振器并对其性能进行测试。结果表明,实测结果与仿真基本一致,实测谐振器具有大机电耦合系数(k^(2)>22%)和高品质因子(Q_(max)>900)的特性,且优值因子超过200,性能优于采用同种声学模式的其他谐振器,有望应用于N77等5G频段的滤波器。 展开更多
关键词 S_(0)兰姆波 声表面波谐振器 布喇格反射层 N77频段 高优值因子
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无线通信用SAW滤波器的分析与设计 被引量:3
7
作者 肖尚辉 徐继麟 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期452-455,共4页
针对声表面波滤波器基本理论及其频域传输函数,应用电网络分析与综合理论作出等效电路,并对梯型结构声表面波滤波器中单端对谐振器的特性进行了分析。根据理论分析设计出单端对谐振器,运用该结构设计了无线通信系统中移动电话用声表面... 针对声表面波滤波器基本理论及其频域传输函数,应用电网络分析与综合理论作出等效电路,并对梯型结构声表面波滤波器中单端对谐振器的特性进行了分析。根据理论分析设计出单端对谐振器,运用该结构设计了无线通信系统中移动电话用声表面波滤波器,并给出了设计结果。 展开更多
关键词 无线通信 saw滤波器 声表面波 单端对声表面波谐振器 移动通信
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编码式谐振SAW无源无线温度传感阵列系统 被引量:3
8
作者 李平 文玉梅 +2 位作者 刘双临 王军峰 黄尚廉 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期551-554,共4页
提出了一种新型编码式谐振声表面波无源无线温度传感系统。该传感系统采用间歇正弦脉冲串信号作为无线激励信号 ,而经谐振式声表面波器件延迟后的反射波是一瞬时变化的振荡波形 ,该反射信号的频率与声表面波器件固有频率相关。温度改变 ... 提出了一种新型编码式谐振声表面波无源无线温度传感系统。该传感系统采用间歇正弦脉冲串信号作为无线激励信号 ,而经谐振式声表面波器件延迟后的反射波是一瞬时变化的振荡波形 ,该反射信号的频率与声表面波器件固有频率相关。温度改变 ,其反射信号的频率也发生变化。该传感阵列系统利用不同延迟线构成编码器 ,可实现大规模的传感器构造。该方法不仅有谐振式无源无线传感器距离远的优点 ,而且 ,还具有延迟型大规模编码的优点。 展开更多
关键词 声表面波谐振器 无源无线编码传感器阵列 遥感测量 延迟线 目标识别 温度传感器
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面向电网应用的SAW温度传感器设计 被引量:5
9
作者 王磊 刘文 卢小荣 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2012年第6期817-819,共3页
针对谐振型声表面波(SAW)传感器,研究了3种不同窗函数加权对SAW传感器谐振响应副瓣抑制的影响,仿真结果表明,凯瑟尔窗在旁瓣抑制上性能最优,阻带最小衰减达-120.2dB。同时制备了以LST切型石英为基片材料,凯瑟尔窗为加权函数的SAW温度传... 针对谐振型声表面波(SAW)传感器,研究了3种不同窗函数加权对SAW传感器谐振响应副瓣抑制的影响,仿真结果表明,凯瑟尔窗在旁瓣抑制上性能最优,阻带最小衰减达-120.2dB。同时制备了以LST切型石英为基片材料,凯瑟尔窗为加权函数的SAW温度传感器。测试和应用试验表明,所设计的传感器性能具有良好的一致性、温度频率特性和旁瓣抑制能力,能较好满足面向电网温度状态监测的应用。 展开更多
关键词 声表面波(saw) 温度传感器 谐振器 凯瑟尔窗 电网应用
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以Li_2B_4O_7为基片150MHzSAWF的设计与研制 被引量:1
10
作者 周亚栋 何先莉 +3 位作者 周毅 马初剑 张芦 张杰 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1996年第4期231-234,共4页
介绍了以Li2B4O7为基片,150MHz声表面波窄带滤波器的设计与制作。在设计中采用了波导耦合谐振器的结构形式,按新研究的光刻腐蚀方法[1],成功地制作出了150MHz的窄带滤波器。验证了波导耦合谐振滤波的理论.证... 介绍了以Li2B4O7为基片,150MHz声表面波窄带滤波器的设计与制作。在设计中采用了波导耦合谐振器的结构形式,按新研究的光刻腐蚀方法[1],成功地制作出了150MHz的窄带滤波器。验证了波导耦合谐振滤波的理论.证实了Li2B4O7确实是较好的声表面波基片材料。 展开更多
关键词 声表面波滤波器 波导 耦合谐振滤波器
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高频低温漂TC-SAW滤波器的设计 被引量:2
11
作者 王巍 滕洪菠 +3 位作者 王方 张迎 袁军 宋小瑛 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第4期544-548,553,共6页
该文设计了一款温度补偿型声表面波(TC-SAW)滤波器,建立了弹性材料及压电材料温度方程,对滤波器的温度场进行仿真分析。通过在压电材料(128°YX-LiNbO3)上沉积SiO2作为温度补偿层,降低了滤波器的频率温度系数。为了解决在沉积SiO2... 该文设计了一款温度补偿型声表面波(TC-SAW)滤波器,建立了弹性材料及压电材料温度方程,对滤波器的温度场进行仿真分析。通过在压电材料(128°YX-LiNbO3)上沉积SiO2作为温度补偿层,降低了滤波器的频率温度系数。为了解决在沉积SiO2温度补偿层后,谐振器的反谐振频率处出现杂散响应,通过增加电极厚度,降低了谐振器杂散响应对滤波器性能的影响。采用四阶级联提高滤波器的带外抑制。仿真结果表明,设计的TC-SAW滤波器中心频率为2497 MHz,频率温度系数为-9.89×10^(-6)/℃,-30~85℃工作温度范围内的带内最大插损为1.95 dB,带外抑制大于30 dB,-3 dB损耗带宽大于97 MHz。 展开更多
关键词 TC-saw滤波器 谐振器 频率温度系数 电极厚度 SiO2温度补偿层
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MEMS-SAW陀螺仪研究
12
作者 李泉溪 银兵 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第11期61-63,66,共4页
采用耦合模(COM)理论对声表面波(SAW)谐振器进行数字模拟,并采用梅森(Mason)正交场模型对陀螺仪和传感器进行模拟设计,最后对SAW谐振器和SAW传感器进行实验评价。这种陀螺仪具有额外的能力,可以作为无线陀螺仪和集成在SAW加速度传感器上。
关键词 微机电系统 声表面波 陀螺仪 saw谐振器 saw传感器
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基于DSP的SAW温度检测系统的设计
13
作者 余翔 刘礼跃 漆晶 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期454-457,共4页
介绍了基于谐振器型声表面波(SAW)传感器的温度检测系统的工作原理及组成结构,详细说明了系统中读写器设计过程中的关键技术,重点说明了读写器中射频前端电路的设计,包括锁相环(PLL)频率合成器模块、发射电路和接收电路的硬件设计,... 介绍了基于谐振器型声表面波(SAW)传感器的温度检测系统的工作原理及组成结构,详细说明了系统中读写器设计过程中的关键技术,重点说明了读写器中射频前端电路的设计,包括锁相环(PLL)频率合成器模块、发射电路和接收电路的硬件设计,同时给出了数字信号处理(DSP)基带主控模块的设计框图和工作流程。对传感器在0~100℃的环境下测试数据进行了详细分析,测量温度的精度可达±1℃,在良好电磁环境下,最大测温距离可达5m。 展开更多
关键词 读写器 谐振器 声表面波 温度检测系统
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考虑封装的SAW谐振式传感器仿真研究 被引量:3
14
作者 蔡飞达 李红浪 +2 位作者 柯亚兵 田亚会 卢孜筱 《压电与声光》 CAS 北大核心 2019年第1期9-11,16,共4页
针对小体积射频声表面波(SAW)传感器性能受封装影响大的问题,该文提出了耦合模(COM)模型与三维电磁分析结合的仿真方法。利用COM模型计算出芯片的单端口S参数;使用三维电磁场仿真软件HFSS对表面贴装的陶瓷封装结构进行建模,仿真计算出... 针对小体积射频声表面波(SAW)传感器性能受封装影响大的问题,该文提出了耦合模(COM)模型与三维电磁分析结合的仿真方法。利用COM模型计算出芯片的单端口S参数;使用三维电磁场仿真软件HFSS对表面贴装的陶瓷封装结构进行建模,仿真计算出封装的S参数;对芯片及封装结构S参数在电路仿真软件ADS中进行结合,得出考虑封装的SAW谐振式传感器仿真结果。实验制作了工作在428.5 MHz的SAW单端谐振传感器,采用该文所述方法仿真的理论结果与实验测量结果更接近,验证了上述方法的可行性。 展开更多
关键词 声表面波 谐振式传感器 传感器封装 电磁仿真
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一种基于奇异值分解的SAW传感器频率估计算法 被引量:3
15
作者 肖学蕊 李红浪 +4 位作者 陈淑芬 蔡飞达 柯亚兵 田亚会 邹正峰 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2017年第4期487-489,共3页
在声表面波(SAW)谐振式无线传感器的频率估计中,该文提出了一种奇异值分解(SVD)与快速傅里叶变换(FFT)相结合的频率估计算法。首先采用重复采样的方法对无线SAW谐振器回波信号进行提取,然后在FFT之前利用SVD法去除回波信号中的白噪声,... 在声表面波(SAW)谐振式无线传感器的频率估计中,该文提出了一种奇异值分解(SVD)与快速傅里叶变换(FFT)相结合的频率估计算法。首先采用重复采样的方法对无线SAW谐振器回波信号进行提取,然后在FFT之前利用SVD法去除回波信号中的白噪声,最后通过高斯曲线拟合法对FFT算出的频率进行校正。运用该算法得到的频率均方误差为1.53×103,而直接用FFT算法均方误差为2.38×10~3,均方误差减小了55%。可见,利用该SVD与FFT相结合的频率估计算法在准确度、稳定性方面都有很大改善,且该算法操作简单,易于实现。 展开更多
关键词 声表面波(saw) 谐振器 频率估计 傅里叶变换(FFT) 奇异值分解(SVD)
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Terfenol-D/SAW谐振器/Terfenol-D复合磁传感器 被引量:3
16
作者 肖庭富 文玉梅 +1 位作者 李平 郑敏 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第6期924-928,共5页
设计了一种由超磁致伸缩材料Terfenol-D和SAW谐振器构成的复合磁传感器,在磁场作用下,Terfenol-D沿长度方向伸缩,并将应力应变传递至SAW谐振器,使其产生应变,造成谐振频率改变,通过测量SAW谐振器谐振频率的变化来测量磁场强度。分析了... 设计了一种由超磁致伸缩材料Terfenol-D和SAW谐振器构成的复合磁传感器,在磁场作用下,Terfenol-D沿长度方向伸缩,并将应力应变传递至SAW谐振器,使其产生应变,造成谐振频率改变,通过测量SAW谐振器谐振频率的变化来测量磁场强度。分析了该磁传感器的传感原理,建立了该复合磁传感器的静态模型,对弹性敏感元件进行了受力分析,根据压磁方程和受力平衡得到该磁传感器的静态特性。实验结果表明:该复合磁传感器灵敏度可达341.6Hz/Oe,较Terfenol-D/SAW谐振器结构灵敏度提高了3倍;测量谐振频率的分辨率为1Hz,SAW谐振器频率稳定度为0.1×10-6时,该磁传感器对磁场的分辨率为10-6T。 展开更多
关键词 超磁致伸缩材料 声表面波谐振器 磁传感器 静态特性
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Cu/15°YX-LiNbO_(3)SAW谐振器的横向模抑制研究 被引量:3
17
作者 肖强 董加和 +5 位作者 白涛 陈彦光 陈尚权 李桦林 陈正林 马晋毅 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期202-204,共3页
Cu/15°YX-LiNbO_(3)声表面波(SAW)谐振器作为宽带SAW滤波器的核心单元,其横向模式的存在极大地影响了SAW滤波器的通带性能,将引起带内波纹,增大器件插损,从而降低系统信噪比,引起信号误读。该文基于Piston技术抑制Cu/15°YX-Li... Cu/15°YX-LiNbO_(3)声表面波(SAW)谐振器作为宽带SAW滤波器的核心单元,其横向模式的存在极大地影响了SAW滤波器的通带性能,将引起带内波纹,增大器件插损,从而降低系统信噪比,引起信号误读。该文基于Piston技术抑制Cu/15°YX-LiNbO_(3) SAW谐振器的横向模式,利用有限元仿真优化了指条末端尺寸。仿真结果表明,慢速区域尺寸占空比为0.692,长度约为0.65λ(λ为波长)时,主模附近的横向模得到完全抑制,并通过实验验证了其有效性。这为Piston技术应用于Cu/15°YX-LiNbO_(3)宽带SAW滤波器的横向模抑制提供了指导。 展开更多
关键词 声表面波(saw)谐振器 宽带声表面波(saw)滤波器 横向模式 Piston技术
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基片表面力负载对SAW谐振器的特性影响研究 被引量:1
18
作者 孙雪梅 李平 +2 位作者 文玉梅 陈雨 郑敏 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期753-756,共4页
分析了SAW谐振器表面力负载对谐振器谐振频率和机械损耗产生的影响。进行了两种表面力加载方式的实验研究,对比实验结果表明:基片底面固定时,表面力负载对SAW谐振器谐振频率的影响主要与负载在基片表面产生的应力大小有关,而谐振器的机... 分析了SAW谐振器表面力负载对谐振器谐振频率和机械损耗产生的影响。进行了两种表面力加载方式的实验研究,对比实验结果表明:基片底面固定时,表面力负载对SAW谐振器谐振频率的影响主要与负载在基片表面产生的应力大小有关,而谐振器的机械损耗主要与力在基片表面的分布有关。实验结果为SAW力传感器的结构设计提供了参考。 展开更多
关键词 saw谐振器 表面力负载 谐振频率 机械损耗
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改进型3IDT-LCR结构的低损耗小矩形系数SAW滤波器 被引量:1
19
作者 陈华志 罗文汀 +3 位作者 马晋毅 陈彦光 伍平 董加和 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第3期335-337,共3页
通过理论仿真,该文研制了一种改进型的3IDT-LCR结构,并基于该结构在42°Y-X LiTaO_(3)压电基片上研制出一种低损耗、小矩形系数的SAW滤波器。滤波器标称频率为253.75 MHz,实测插入损耗1.05 dB,低端带外抑制接近80 dB,高端带外抑制接... 通过理论仿真,该文研制了一种改进型的3IDT-LCR结构,并基于该结构在42°Y-X LiTaO_(3)压电基片上研制出一种低损耗、小矩形系数的SAW滤波器。滤波器标称频率为253.75 MHz,实测插入损耗1.05 dB,低端带外抑制接近80 dB,高端带外抑制接近65 dB,-1 dB带宽10.52 MHz,-3 dB带宽12.54 MHz,-40 dB带宽16.68 MHz,矩形系数1.33。实测结果表明,该改进型3IDT-LCR结构的SAW滤波器具备低插入损耗、小矩形系数和高带外抑制的特点。 展开更多
关键词 声表面波滤波器 纵向耦合谐振器 三换能器
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基于SAW谐振器无源无线传感器编码方法研究 被引量:1
20
作者 崔宏杰 张向文 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2014年第5期705-708,共4页
为简化声表面波(SAW)传感器的编码过程,提出了一种基于SAW谐振器的编码方法,通过多个不同中心谐振频率的SAW谐振器分别连接不同的负载阻抗进行传感器的编码。设计了传感器的具体结构,建立了传感器的等效电路模型,利用ADS仿真软件对中... 为简化声表面波(SAW)传感器的编码过程,提出了一种基于SAW谐振器的编码方法,通过多个不同中心谐振频率的SAW谐振器分别连接不同的负载阻抗进行传感器的编码。设计了传感器的具体结构,建立了传感器的等效电路模型,利用ADS仿真软件对中心谐振频率分别为868MHz和915MHz的2个SAW谐振器组成的传感器进行仿真,结果表明,SAW谐振器外接1pF与4pF的阻抗,其谐振频率差可达200~300kHz。根据仿真结果,设计制作了不同编码的2个传感器,一个不外接阻抗,一个外接10pF的阻抗,测试谐振频率差别可达39.75~40.2kHz,因此,SAW谐振器外接不同阻抗时谐振频率的差异明显,基于SAW谐振器与外接阻抗的传感器编码方法是可行的。 展开更多
关键词 声表面波(saw)谐振器 无源无线 传感器 编码 外接阻抗
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