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基于SEM的土体微观结构三维分析与分维计算方法 被引量:1
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作者 张豫川 高旭龙 +1 位作者 刘东发 黄鸿伟 《长江科学院院报》 CSCD 北大核心 2024年第2期91-97,共7页
土体微观结构研究很早就建立了三维空间的分形模型,但分形维数计算所需参数很难由常规土工试验得到,限制了分形理论在土体研究中的应用。基于陕西定边与甘肃兰州原状土样的扫描电镜(SEM)试验,提出了三维化处理与三角形网格原理联合方法... 土体微观结构研究很早就建立了三维空间的分形模型,但分形维数计算所需参数很难由常规土工试验得到,限制了分形理论在土体研究中的应用。基于陕西定边与甘肃兰州原状土样的扫描电镜(SEM)试验,提出了三维化处理与三角形网格原理联合方法,可以得到土体颗粒(孔隙)不同测量尺度对应的表面积与体积计算值,由此实现分形维数的计算,并通过分形理论在土水特征中的应用验证了方法的有效性与可靠性。另外,三维化处理还可获取视孔隙率、比面等土体微观结构参数,可以作为土体微观结构定量分析研究的新途径。 展开更多
关键词 扫描电镜(sem) 微观结构 三维分析 分形维数
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Evolution of pore systems in low-maturity oil shales during thermal upgrading--Quantified by dynamic SEM and machine learning 被引量:2
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作者 Jun Liu Xue Bai Derek Elsworth 《Petroleum Science》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第3期1739-1750,共12页
In-situ upgrading by heating is feasible for low-maturity shale oil,where the pore space dynamically evolves.We characterize this response for a heated substrate concurrently imaged by SEM.We systematically follow the... In-situ upgrading by heating is feasible for low-maturity shale oil,where the pore space dynamically evolves.We characterize this response for a heated substrate concurrently imaged by SEM.We systematically follow the evolution of pore quantity,size(length,width and cross-sectional area),orientation,shape(aspect ratio,roundness and solidity)and their anisotropy—interpreted by machine learning.Results indicate that heating generates new pores in both organic matter and inorganic minerals.However,the newly formed pores are smaller than the original pores and thus reduce average lengths and widths of the bedding-parallel pore system.Conversely,the average pore lengths and widths are increased in the bedding-perpendicular direction.Besides,heating increases the cross-sectional area of pores in low-maturity oil shales,where this growth tendency fluctuates at<300℃ but becomes steady at>300℃.In addition,the orientation and shape of the newly-formed heating-induced pores follow the habit of the original pores and follow the initial probability distributions of pore orientation and shape.Herein,limited anisotropy is detected in pore direction and shape,indicating similar modes of evolution both bedding-parallel and bedding-normal.We propose a straightforward but robust model to describe evolution of pore system in low-maturity oil shales during heating. 展开更多
关键词 Low-maturity oil shale Pore elongation Organic matter pyrolysis In-situthermal upgrading scanning electron microscopy(sem) Machine learning
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离子磁控溅射方式对不同表面性质材料扫描电子显微镜(SEM)图像的影响
3
作者 李海霞 叶韫 +4 位作者 江煜堎 陶丽丽 杨亿斌 殷陶 孙志鹏 《材料保护》 CAS CSCD 2024年第12期107-113,共7页
旨在探讨离子磁控溅射仪的条件参数对不同表面性质非导电材料扫描电子显微镜(SEM)图像的影响,研究溅射靶材、溅射时间和溅射次数等不同离子磁控溅射条件的优缺点和使用范围。结果表明:黄金靶材连续性好,金晶粒成核性大,溅射动能较大,易... 旨在探讨离子磁控溅射仪的条件参数对不同表面性质非导电材料扫描电子显微镜(SEM)图像的影响,研究溅射靶材、溅射时间和溅射次数等不同离子磁控溅射条件的优缺点和使用范围。结果表明:黄金靶材连续性好,金晶粒成核性大,溅射动能较大,易造成样品表面热损耗,金晶粒贴附在样品表面,故黄金靶材适合低倍率SEM图像观察(<10000)以及样品表面具有一定硬度的材料;铂金靶材连续性差,铂晶粒成核小,溅射动能较小,易嵌入样品表面形成形貌骨架支撑,适合高倍率SEM图像观察(>30000)以及大部分非导电材料;采用少时多次离子磁控溅射方法,适当减少溅射次数不仅可以削弱金膜对材料形貌和结构的影响,而且还可以节约资源保护环境。该结果为科研工作者科学、真实地分析样品的SEM图像提供了试验指导意见。 展开更多
关键词 扫描电子显微镜 离子磁控溅射 非导电材料 表面性质 图像
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聚集离子束扫描电镜(FIB-SEM)在页岩纳米级孔隙结构研究中的应用 被引量:42
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作者 马勇 钟宁宁 +2 位作者 黄小艳 郭州平 姚立鹏 《电子显微学报》 CAS CSCD 2014年第3期251-256,共6页
页岩中大量发育的纳米级孔隙组成了页岩气储集的主要空间。聚集离子束扫描电镜(FIB-SEM)通过对页岩样品的连续切割和成像,能够在纳米尺度上三维重建页岩的空间分布。依据不同岩石组分灰度值的差异,可以将页岩内的孔隙、有机质、黄铁矿... 页岩中大量发育的纳米级孔隙组成了页岩气储集的主要空间。聚集离子束扫描电镜(FIB-SEM)通过对页岩样品的连续切割和成像,能够在纳米尺度上三维重建页岩的空间分布。依据不同岩石组分灰度值的差异,可以将页岩内的孔隙、有机质、黄铁矿等分割提取出来,不仅可以三维展示其空间分布形态,还可以对孔隙的分布特征和孔隙度等参数进行定量计算。聚集离子束扫描电镜在页岩纳米孔隙中的应用,将给页岩微观结构的深入研究提供新的研究手段。 展开更多
关键词 页岩气 聚焦离子束扫描电镜 FIB-sem 页岩纳米孔隙 三维重构
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基于SEM图片的钙质砂连通孔隙分析 被引量:35
5
作者 蒋明镜 吴迪 +1 位作者 曹培 丁志军 《岩土工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第S1期1-5,共5页
钙质砂是一种以碳酸钙为主要成分的特殊砂土,由于在形成过程中保留了原生物的骨架,故钙质砂颗粒不仅形状各异而且富含孔隙。颗粒孔隙的存在对钙质砂的压缩、剪切、强度和破碎性等力学性质有很大影响。针对这一问题,取南海一处岛礁建设... 钙质砂是一种以碳酸钙为主要成分的特殊砂土,由于在形成过程中保留了原生物的骨架,故钙质砂颗粒不仅形状各异而且富含孔隙。颗粒孔隙的存在对钙质砂的压缩、剪切、强度和破碎性等力学性质有很大影响。针对这一问题,取南海一处岛礁建设地基的钙质砂试样,根据粒径大小将其分为6个不同的粒组,在每个粒组中选出不同形状的代表性颗粒,对其进行电镜扫描试验。借助MATLAB图像处理程序,选取合适的阈值对扫描试验得到的图片进行二值化处理,对钙质砂的连通孔隙进行了分析,系统的研究了不同粒径和粒形钙质砂颗粒的表观孔隙率的分布规律。结果表明:对于粒径小于1 mm的颗粒,面孔隙度随着粒径的增大而增大,不同形状颗粒面孔隙度差别不大;粒径超过1 mm后,面孔隙度随着粒径的增大而减小;条状颗粒面孔隙度最大而片状颗粒的面孔隙度最小。 展开更多
关键词 电镜扫描试验 钙质砂 二值化图像 颗粒内孔隙
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聚酰亚胺/SiO_2纳米复合材料的摩擦学行为及SEM研究 被引量:8
6
作者 蔡辉 闫逢元 薛群基 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期420-425,共6页
用原位复合法制备了纳米SiO2 PI(热塑性)复合材料,研究了纳米SiO2含量对复合材料的减摩抗磨作用,考察了不同载荷与速度对摩擦学性能的影响,并利用扫描电子显微镜(SEM)对SiO2 PI复合材料的磨损表面和转移膜进行了观察和分析。结果表明:... 用原位复合法制备了纳米SiO2 PI(热塑性)复合材料,研究了纳米SiO2含量对复合材料的减摩抗磨作用,考察了不同载荷与速度对摩擦学性能的影响,并利用扫描电子显微镜(SEM)对SiO2 PI复合材料的磨损表面和转移膜进行了观察和分析。结果表明:在本文实验条件下,SiO2 PI复合材料中SiO2最佳含量为4 0~5 0wt.%;纳米SiO2能显著增强转移膜与偶件的结合强度,提高PI基复合材料的减摩抗磨性能;纯PI和SiO2 PI复合材料呈现不同的磨损机制。 展开更多
关键词 纳米SIO2 纳米复合材料 PI 聚酰亚胺 热塑性 增强 sem 含量 观察 影响
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SEM与数字图像法分析复合推进剂细观破坏 被引量:16
7
作者 李高春 刘著卿 +2 位作者 张璇 邱欣 隋玉堂 《含能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期330-333,共4页
对复合固体推进剂拉伸变形破坏过程进行了原位扫描电镜观察,采用数字图像相关方法分析了不同变形阶段电镜图片,得到了推进剂细观表面变形场,探讨其在拉伸过程中的细观破坏机理。研究结果表明,数字图像相关方法与扫描电镜相结合为复合固... 对复合固体推进剂拉伸变形破坏过程进行了原位扫描电镜观察,采用数字图像相关方法分析了不同变形阶段电镜图片,得到了推进剂细观表面变形场,探讨其在拉伸过程中的细观破坏机理。研究结果表明,数字图像相关方法与扫描电镜相结合为复合固体推进剂在细观尺度下的测量与破坏机理分析提供了新的途径,也为推进剂细观数值模拟提供了实验依据。 展开更多
关键词 物理化学 复合推进剂 扫描电镜试验 数字图像相关方法 细观破坏
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酸蚀剂浓度对牙本质粘接界面影响的SEM和TEM研究 被引量:3
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作者 李潇 戴威林 +2 位作者 段建民 伍葳 李洪涛 《口腔医学研究》 CAS CSCD 2004年第1期42-44,共3页
目的 :研究不同浓度的酸蚀剂对牙本质湿粘接界面的影响。方法 :选用 10 %、32 %和 37% 3种浓度的磷酸酸蚀剂处理牙本质粘结面 ,然后用四种牙本质湿粘接剂将复合树脂粘结在处理后的牙本质粘结面 ,在扫描电镜(SEM)和透射电镜 (TEM )下观... 目的 :研究不同浓度的酸蚀剂对牙本质湿粘接界面的影响。方法 :选用 10 %、32 %和 37% 3种浓度的磷酸酸蚀剂处理牙本质粘结面 ,然后用四种牙本质湿粘接剂将复合树脂粘结在处理后的牙本质粘结面 ,在扫描电镜(SEM)和透射电镜 (TEM )下观察粘接界面的微观形态。结果 :用不同浓度的酸蚀剂处理牙本质粘结表面时 ,4种粘接系统OptiBondSolo、SingleBond、GlumaOne-Bond和One-Step均可以观察到较为理想的渗透图像 ,同一粘接剂、不同浓度酸蚀剂处理后的界面超微结构之间没有明显区别。结论 :10 %、32 %和 37% 3种浓度的磷酸酸蚀剂处理牙本质后 。 展开更多
关键词 酸蚀剂 浓度 牙本质 粘接界面 sem TEM 研究 磷酸 混合层 扫描电镜 透射电镜
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高温下岩石SEM实时实验研究 被引量:12
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作者 赵鹏 谢卫红 +1 位作者 王习术 高峰 《力学与实践》 CSCD 北大核心 2006年第3期64-67,共4页
首次利用带扫描电镜的高温疲劳试验机等目前最先进的实验手段,高温下实时观测了温度变化对石灰岩微结构的影响,有效地避免了由于岩石的热膨胀是不可逆的,它会受加温历史的影响,加热时的特性和冷却后的特性差异较大的影响.发现试样在升... 首次利用带扫描电镜的高温疲劳试验机等目前最先进的实验手段,高温下实时观测了温度变化对石灰岩微结构的影响,有效地避免了由于岩石的热膨胀是不可逆的,它会受加温历史的影响,加热时的特性和冷却后的特性差异较大的影响.发现试样在升温过程很少发现热裂纹,但在冷却过程中反而易出现较多的微裂纹,认为是石灰岩在冷却过程中产生的残余应力所致. 展开更多
关键词 石灰岩 扫描电镜 高温疲劳试验机 微结构
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SEM/EDS分析纳米TiN颗粒在SiC陶瓷中的分布状况 被引量:3
10
作者 张玲洁 郭兴忠 +2 位作者 杨辉 朱潇怡 李海淼 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第6期834-836,共3页
采用水基喷雾造粒技术制备SiC/纳米TiN复合粉体,并借助二步成型和无压烧结技术制备SiC/纳米TiN复合陶瓷,利用场发射扫描电镜结合能谱分析(SEM/EDS)研究了纳米TiN颗粒在SiC/纳米TiN复合粉体、素坯及烧结体过程中的分布状态,借此评价制备... 采用水基喷雾造粒技术制备SiC/纳米TiN复合粉体,并借助二步成型和无压烧结技术制备SiC/纳米TiN复合陶瓷,利用场发射扫描电镜结合能谱分析(SEM/EDS)研究了纳米TiN颗粒在SiC/纳米TiN复合粉体、素坯及烧结体过程中的分布状态,借此评价制备工艺。 展开更多
关键词 物相分布 扫描电镜 能谱分析 SIC TIN
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桐油包膜肥料表面及界面微观形态结构的SEM研究 被引量:5
11
作者 唐辉 王亚明 +1 位作者 杨爱明 刘剑虹 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期229-233,共5页
以桐油为主要成膜材料制备了桐油包膜尿素和桐油包膜复合肥料。用扫描电子显微镜(SEM)对包膜肥料的表面、界面及养分溶解释放后的表面进行了微观形态结构研究。结果表明:桐油能很好地分散并渗入尿素和NPK复合肥料的多孔表面形成附着良... 以桐油为主要成膜材料制备了桐油包膜尿素和桐油包膜复合肥料。用扫描电子显微镜(SEM)对包膜肥料的表面、界面及养分溶解释放后的表面进行了微观形态结构研究。结果表明:桐油能很好地分散并渗入尿素和NPK复合肥料的多孔表面形成附着良好的包膜层,在包膜率小于10%时包膜层厚度介于50~150μm之间。桐油包膜层表面具有特征的波纹状形貌,养分溶解释放后在包膜肥料的包膜层表面留下了水和养分溶液进出的凹陷通道。 展开更多
关键词 扫描电子显微镜 桐油 包膜肥料 缓释性 微观结构形态 界面 包膜层
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ESEM在微注入条件下的湿环境研究及原位实验 被引量:3
12
作者 张隐奇 王丽 +3 位作者 卫斌 吉元 高景峰 郭建秋 《电子显微学报》 CAS CSCD 2008年第1期38-42,共5页
采用在环境扫描电镜(ESEM)中配置的微注入系统(MIS),原位观察了NaCl晶体的溶解和结晶过程,NH4VO3液体与Bi(NO3)3液体反应生成的BiVO4晶体,以及水处理微生物在"湿环境"中的真实形貌特征。注入的液滴量可通过调整脉冲宽度可变的... 采用在环境扫描电镜(ESEM)中配置的微注入系统(MIS),原位观察了NaCl晶体的溶解和结晶过程,NH4VO3液体与Bi(NO3)3液体反应生成的BiVO4晶体,以及水处理微生物在"湿环境"中的真实形貌特征。注入的液滴量可通过调整脉冲宽度可变的MIS微阀(开关时间为ms量级)及ESEM样品室的环境参数加以控制。在300Pa^750 Pa的样品室环境压力范围,水滴的直径约200μm^300 nm,水滴在样品表面的影响范围与液滴尺寸相当,约300μm。 展开更多
关键词 微注入 环境扫描电镜(Esem) 原位观察
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膨润土持水特性试验研究及其SEM微观定性分析 被引量:7
13
作者 姜彤 王兴翠 张俊然 《华北水利水电大学学报(自然科学版)》 2020年第1期90-96,共7页
膨润土作为缓冲或回填材料,具有吸水性极强、膨胀性较大、渗透性极低等特性。膨润土在饱和状态与非饱和状态之间转换时,因其湿胀干缩产生的裂缝会导致工程屏障受到破坏。因此,对具有高膨胀性的膨润土的持水特性及微观结构特征进行试验... 膨润土作为缓冲或回填材料,具有吸水性极强、膨胀性较大、渗透性极低等特性。膨润土在饱和状态与非饱和状态之间转换时,因其湿胀干缩产生的裂缝会导致工程屏障受到破坏。因此,对具有高膨胀性的膨润土的持水特性及微观结构特征进行试验研究显得非常必要。分别运用滤纸法和饱和盐溶液蒸汽平衡法对膨润土进行了持水特性试验研究,得到了不同吸力范围内膨润土的土-水特征曲线;联合用蒸汽平衡法和扫描电子显微镜(SEM)对特定吸力点(367.54、149.51、71.12、38.00 MPa)的膨润土试样进行扫描电镜试验研究。膨润土的持水特性试验结果表明,滤纸法和饱和盐溶液蒸汽平衡法测得的土-水特征曲线均随吸力的增大而减小。根据滤纸法量测的试验数据,运用origin软件获得了Fredlund and Xing(1994)提出的模型参数,通过建立模型参数与干密度之间的关系,给出了膨润土的土-水特征曲线的预测公式。膨润土的微观定性分析表明:随着吸力的增大,膨润土集聚体逐渐增大,膨润土颗粒之间也越紧密;孔隙数量随着吸力的增大而减少、孔径也随吸力的增大而减小。 展开更多
关键词 膨润土 滤纸法 蒸汽平衡法 持水特性 扫描电子显微镜
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SEM和EDS分析铜导线短路熔痕晶粒特征 被引量:5
14
作者 杜鑫 陈克 张健 《消防科学与技术》 CAS 北大核心 2017年第8期1171-1173,1178,共4页
通过定性模拟实验,制备交流220 V电路中铜导线一次短路熔痕和二次短路熔痕,应用SEM和EDS等方法研究铜导线一次短路熔痕与二次短路熔痕外表面晶粒的微观形貌特征以及化学元素变化规律。结果表明,短路方式是铜导线短路熔痕晶粒形貌特征的... 通过定性模拟实验,制备交流220 V电路中铜导线一次短路熔痕和二次短路熔痕,应用SEM和EDS等方法研究铜导线一次短路熔痕与二次短路熔痕外表面晶粒的微观形貌特征以及化学元素变化规律。结果表明,短路方式是铜导线短路熔痕晶粒形貌特征的决定因素。铜导线一次短路熔痕晶粒呈现胞状晶形貌特征,二次短路熔痕晶粒呈现柱状晶形貌特征,熔痕凝固及火灾过程中形成的氧化膜不会影响熔痕晶粒形貌特征。 展开更多
关键词 一次短路 二次短路 熔痕 晶粒 sem 火灾调查
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粘土固化浆液固结过程的SEM研究 被引量:35
15
作者 王星华 《岩土工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期34-40,共7页
分析了粘土固化浆液中各组分的水化反应过程以及固化剂的催化机理,用SEM方法研究了粘土固化浆液固结过程中的中间产物和反应产物的微观结构,证实了固化剂的催化机理。在此基础上,提出了粘土固化浆液的固结模型。
关键词 固结机理 粘土固化浆液 扫描电子显微镜
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核径迹膜断面SEM样品制备 被引量:1
16
作者 段敬来 刘杰 +5 位作者 宋银 姚会军 孙友梅 侯明东 莫丹 陈艳峰 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第B09期286-289,共4页
利用紫外光辐照结合液氮冷冻技术成功地制备了聚碳酸酯核径迹膜断面的扫描电子显微镜样品。结果表明,紫外光辐照引起了聚碳酸酯核径迹膜发生了光降解并使之脆化,导致其断裂伸长率大幅降低。经紫外光辐照过的核径迹膜在液氮中很容易被折... 利用紫外光辐照结合液氮冷冻技术成功地制备了聚碳酸酯核径迹膜断面的扫描电子显微镜样品。结果表明,紫外光辐照引起了聚碳酸酯核径迹膜发生了光降解并使之脆化,导致其断裂伸长率大幅降低。经紫外光辐照过的核径迹膜在液氮中很容易被折断形成断面。扫描电子显微镜观测结果表明,形成的断面不存在残余形变,从而准确地表达了孔道的面分布、尺寸和形状等信息。 展开更多
关键词 核径迹膜 紫外光辐照 扫描电子显微镜
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磷石膏压缩特性及微观孔隙结构试验研究
17
作者 张鹏泽 兰吉武 +3 位作者 胡杰 张帅 柯瀚 高旭 《地基处理》 2025年第1期25-35,共11页
本文钻取了某磷石膏库的原状磷石膏样,开展一维压缩试验和扫描电镜试验(SEM),利用图像处理技术提取表征孔隙尺寸、排列和形状的定量参数,研究原状磷石膏的压缩变形特性与微观结构演变规律。结果表明:原状磷石膏的e-lgp压缩曲线为非线性... 本文钻取了某磷石膏库的原状磷石膏样,开展一维压缩试验和扫描电镜试验(SEM),利用图像处理技术提取表征孔隙尺寸、排列和形状的定量参数,研究原状磷石膏的压缩变形特性与微观结构演变规律。结果表明:原状磷石膏的e-lgp压缩曲线为非线性,幂函数型压缩模型准确反映了磷石膏的应力-应变关系;随着深度增大,原状样的中、大孔隙面积明显减少,晶体破碎程度增大;深部样的团聚体和孔隙趋向于沿水平面排列,造成结构定向性增加;埋深增大使得中、大孔隙变得更细长和有棱角,但对微、小孔隙的形状特性影响较小;磷石膏的压缩变形是晶体结构破碎、断裂,中、大孔隙坍缩减少,骨架颗粒重排列以及碎屑物填充孔隙的过程。研究成果可为磷石膏库的设计、运营、维护提供参考。 展开更多
关键词 磷石膏 压缩性 扫描电镜 微观孔隙结构 各向异性
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SEM法测量T颗粒厚度 被引量:1
18
作者 刘素文 岳军 阎天堂 《感光科学与光化学》 CSCD 1993年第1期1-4,共4页
本文利用扫描电子显微镜(SEM)的二次电子影像富有很强的立体感这一特点,对卤化银T颗粒的厚度及宽厚比进行了测量和观察,介绍了这种电镜样品的制备技术,以及利用SEM的倾斜角效应拍摄能反映微粒空间立体形状和T颗粒厚度的方法。
关键词 T-颗粒 电子显微镜 厚度 感光材料
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基于FIB加工和SEM-EDS技术联用对共格BCC/B2高熵合金的元素分布表征分析 被引量:1
19
作者 史淑艳 王成林 +2 位作者 戚琳 马跃 邹龙江 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第3期258-264,共7页
BCC/B2高熵合金中体心立方结构(body centered cube, BCC)纳米粒子影响其软磁性能和高温力学性能。然而,扫描电子显微镜-能量色散谱仪(scanning electron microscopy-X-ray energy dispersive spectroscopy, SEM-EDS)难以表征BCC纳米粒... BCC/B2高熵合金中体心立方结构(body centered cube, BCC)纳米粒子影响其软磁性能和高温力学性能。然而,扫描电子显微镜-能量色散谱仪(scanning electron microscopy-X-ray energy dispersive spectroscopy, SEM-EDS)难以表征BCC纳米粒子的元素分布。本文利用聚焦离子束(focused ion beam, FIB)和SEM-EDS联用,制备BCC/B2高熵合金的纳米尺度薄片,并对其元素分布进行了研究。结果表明,AlCoFeCr高熵合金微观组织是由B2相与共格的BCC相构成,其中BCC粒子约为20~40 nm。对比SEM-EDS对块体试样和FIB制备的纳米尺度的薄片元素分布结果,FIB制备的纳米薄片提高了EDS的分辨率,BCC纳米粒子富集Cr元素,且B2基体相富集Al、Co和Fe元素。电子的加速电压和束流强度影响纳米薄片中BCC纳米粒子元素分布表征结果的准确性,其中30 kV 6.4 nA下元素分布表征结果的准确度最高。 展开更多
关键词 高熵合金 纳米颗粒 元素分布 聚焦离子束 扫描电子显微镜-能量色散谱仪
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基于SEM纳米级电子束曝光机的快速束闸设计 被引量:2
20
作者 刘俊标 方光荣 +3 位作者 靳鹏云 薛虹 张福安 顾文琪 《电子工业专用设备》 2008年第10期10-13,共4页
基于扫描电镜(SEM)的纳米级电子束曝光系统能够以较低成本满足科研单位对纳米加工设备的需求。在电子束曝光系统中,需要快速束闸控制电子束通断以实现纳米图像的多场曝光。从安装位置、机械结构和驱动器等方面讨论快速束闸的设计。
关键词 电子束曝光 束闸 扫描电子显微镜 图形发生器
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