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(111)取向0.7PMN-0.3PT薄膜机电耦合性能
被引量：
1
1
作者
李强
张培芝
+3 位作者
吕锦彬
章庆勇
刘莉
叶洋
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2022年第1期112-119,共8页
铁电薄膜由于其优异物理性能,而被广泛应用于微电子、光电子、微机电领域。在铁电薄膜理论研究方面,热力学理论可以有效地预测铁电薄膜的相结构、极化特性和机电性能等,且已在(001)取向铁电薄膜的研究中取得了较好的应用,而对于(111)取...
铁电薄膜由于其优异物理性能,而被广泛应用于微电子、光电子、微机电领域。在铁电薄膜理论研究方面,热力学理论可以有效地预测铁电薄膜的相结构、极化特性和机电性能等,且已在(001)取向铁电薄膜的研究中取得了较好的应用,而对于(111)取向铁电薄膜的研究报道非常少。因此,本文通过对序参量坐标转换的方法,构建了(111)取向薄膜的热力学势能函数及其机电性能计算方法。基于此,研究了(111)取向0.7PMN-0.3PT铁电薄膜的相结构及其机电性能。研究结果表明,(111)取向0.7PMN-0.3PT铁电薄膜的相结构主要存在沿晶轴方向三个极化可互换的对称相:顺电相PE、菱方相R和单斜相M_(A)(或M_(B))。在应变和外电场的调控下,(111)取向0.7PMN-0.3PT薄膜展现出优良的机电性能,在R和M_(A)相变点处,介电常数ε_(11)、ε_(22)、ε_(33)和面外压电系数d_(33)取得了极大值。在外电场E 3分别为0、50 kV/cm、100 kV/cm和200 kV/cm时,面外介电常数ε_(33)的峰值分别为4382、2646、2102和1600,面外压电系数d_(33)的峰值分别为303.8 pm/V、241.9 pm/V、219.7 pm/V和195.1 pm/V。应变和外电场能够较好地调控薄膜的机电耦合性能,可为优异机电耦合性能的器件制备提供参考。
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关键词
铌镁钛酸铅
铁电薄膜
(
111
)
取向
相结构
热力学理论
压电系数
介电常数
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职称材料
题名
(111)取向0.7PMN-0.3PT薄膜机电耦合性能
被引量：
1
1
作者
李强
张培芝
吕锦彬
章庆勇
刘莉
叶洋
机构
新疆第二医学院
出处
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2022年第1期112-119,共8页
基金
2020年新疆维吾尔自治区大学生创新创业训练计划(S202013560009)。
文摘
铁电薄膜由于其优异物理性能,而被广泛应用于微电子、光电子、微机电领域。在铁电薄膜理论研究方面,热力学理论可以有效地预测铁电薄膜的相结构、极化特性和机电性能等,且已在(001)取向铁电薄膜的研究中取得了较好的应用,而对于(111)取向铁电薄膜的研究报道非常少。因此,本文通过对序参量坐标转换的方法,构建了(111)取向薄膜的热力学势能函数及其机电性能计算方法。基于此,研究了(111)取向0.7PMN-0.3PT铁电薄膜的相结构及其机电性能。研究结果表明,(111)取向0.7PMN-0.3PT铁电薄膜的相结构主要存在沿晶轴方向三个极化可互换的对称相:顺电相PE、菱方相R和单斜相M_(A)(或M_(B))。在应变和外电场的调控下,(111)取向0.7PMN-0.3PT薄膜展现出优良的机电性能,在R和M_(A)相变点处,介电常数ε_(11)、ε_(22)、ε_(33)和面外压电系数d_(33)取得了极大值。在外电场E 3分别为0、50 kV/cm、100 kV/cm和200 kV/cm时,面外介电常数ε_(33)的峰值分别为4382、2646、2102和1600,面外压电系数d_(33)的峰值分别为303.8 pm/V、241.9 pm/V、219.7 pm/V和195.1 pm/V。应变和外电场能够较好地调控薄膜的机电耦合性能,可为优异机电耦合性能的器件制备提供参考。
关键词
铌镁钛酸铅
铁电薄膜
(
111
)
取向
相结构
热力学理论
压电系数
介电常数
Keywords
lead magnesium niobium titanate
ferroelectric thin film
(
111
)-orientation
phase structure
thermodynamic theory
piezoelectric coefficient
dielectric constant
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
(111)取向0.7PMN-0.3PT薄膜机电耦合性能
李强
张培芝
吕锦彬
章庆勇
刘莉
叶洋
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2022
1
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