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基于激光干涉仪同步测量的动态校准装置 被引量：1
1
作者 任瑜 胡晓磊 +2 位作者 郭志敏 傅云霞 张丰 《计量学报》 CSCD 北大核心 2024年第3期349-355,共7页
为满足时变几何量的瞬时动态测试需求,研制了一种基于激光干涉仪同步测量的动态校准装置。该装置采用直线运动导轨和运动发生器、长度标准器激光干涉仪,以基于GNSS驯服时钟的同步触发器实现同步测量并确保时间准确稳定,并使用动态校准... 为满足时变几何量的瞬时动态测试需求,研制了一种基于激光干涉仪同步测量的动态校准装置。该装置采用直线运动导轨和运动发生器、长度标准器激光干涉仪,以基于GNSS驯服时钟的同步触发器实现同步测量并确保时间准确稳定,并使用动态校准软件实现控制一体化。经综合分析激光干涉仪的最大允许误差、直线运动导轨的直线度、环境因素、触发信号间时延及激光干涉仪测量时延等因素,该装置的长度示值的测量不确定度为Q[1.8μm,3×10^(-7)L](k=2)。与同型号激光干涉仪的比对实验和激光跟踪仪瞬时长度测试实验,证明了不确定度评定的合理性以及该装置在瞬时动态准确度测试中的可行性。 展开更多
关键词 几何量计量 动态校准 激光干涉仪 同步测量 大尺寸测量 时变几何量
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海面溢油激光探测系统及相关算法的研究 被引量：1
2
作者 吴培良 王智伟 +2 位作者 孔德明 崔永强 马勤勇 《计量学报》 CSCD 北大核心 2024年第2期170-177,共8页
激光诱导荧光(LIF)技术是目前较为有效的海面溢油探测技术之一,但基于该技术的油膜厚度反演算法不适用于评估厚油膜(>800μm)。激光方向性强且能量集中,研究已表明其具备评估海面油膜的能力,然而现有探测系统将激光信号作为干扰信号... 激光诱导荧光(LIF)技术是目前较为有效的海面溢油探测技术之一,但基于该技术的油膜厚度反演算法不适用于评估厚油膜(>800μm)。激光方向性强且能量集中,研究已表明其具备评估海面油膜的能力,然而现有探测系统将激光信号作为干扰信号加以抑制或去除。为了重新找回该信号以实现探测海面厚油膜的目的,研究了一种海面溢油激光探测系统并对其协调控制方法进行了探讨,另外,基于此系统建立了一种利用激光反射信号评估海面厚油膜的模型。通过选用原油和白油的混合油(1:50)作为实验油,验证了海面溢油激光探测系统的可行性和油膜厚度评估算法的有效性。 展开更多
关键词 几何量计量 激光探测系统 激光诱导荧光 海面溢油 油膜厚度
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海面溢油激光探测系统接收装置的研究
3
作者 吴培良 王智伟 +2 位作者 孔德明 马勤勇 崔永强 《计量学报》 CSCD 北大核心 2024年第9期1281-1290,共10页
提出一款适用于海面溢油激光探测系统的接收装置,通过对该装置中的平行光管、光学天线以及积分球等光学部件进行研究,分析了激光在装置中的能量传输变换等系列问题。然后,以不同油膜厚度对应的激光反射信号强度作为仿真参数,在不同海况... 提出一款适用于海面溢油激光探测系统的接收装置,通过对该装置中的平行光管、光学天线以及积分球等光学部件进行研究,分析了激光在装置中的能量传输变换等系列问题。然后,以不同油膜厚度对应的激光反射信号强度作为仿真参数,在不同海况下验证了接收装置的有效性。结果表明,同一油膜厚度下,经过接收装置的激光强度远小于未经过接收装置的激光强度,此外,在平静海面或风速为0.3、0.5和0.8 m/s的微浪海面下,使用经过接收装置后的激光强度可以有效反演海面油膜厚度。 展开更多
关键词 几何量计量 海面溢油 激光探测系统 激光接收装置 油膜厚度
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基于PSD的分离式长导轨直线度测量方法研究
4
作者 金挺 朱进 +5 位作者 陈挺 郭斌 沈斌 孔明 程银宝 王瑛辉 《计量学报》 CSCD 北大核心 2024年第3期425-432,共8页
利用分段拼接测量方法能够将PSD激光准直测量系统测量范围扩大,相较于传统长导轨直线度测量方法,该方法可同时适用于连续型导轨和分离式超长导轨的直线度测量。首先,在(-5~+5) mm测量范围内,通过激光干涉仪分别测得激光准直测量系统的... 利用分段拼接测量方法能够将PSD激光准直测量系统测量范围扩大,相较于传统长导轨直线度测量方法,该方法可同时适用于连续型导轨和分离式超长导轨的直线度测量。首先,在(-5~+5) mm测量范围内,通过激光干涉仪分别测得激光准直测量系统的接收靶在水平和竖直方向上的位移,误差均优于±(1μm+1%H)。然后,在40 m范围内与激光准直测量系统的直线度测量精度进行对比,二者水平方向直线度误差相差0.06 mm,竖直方向直线度误差相差0.13 mm。最后,在70 m分离式超长导轨上,测得水平方向直线度为0.50 mm,竖直方向直线度为0.53 mm。该方法可迅速定位和调整直线度误差极值点位置,能够较为有效地解决分离式超长导轨的直线度装配调试问题。 展开更多
关键词 几何量计量 超长导轨 直线度 拼接方法 最小二乘
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应用激光跟踪仪和单目视觉检测三维水模体定位精度方法研究
5
作者 韩连福 褚芃 +3 位作者 罗明哲 白娴靓 李加福 朱小平 《中国测试》 CAS 北大核心 2024年第2期14-21,共8页
针对三维水模体检测方法较少、检测过程复杂等问题,提出基于激光跟踪仪和单目视觉的三维水模体定位精度检测方法。激光跟踪仪三维水模体定位精度检测对比实验验证三维水模体在有水和无水的情况下定位精度一致。单目视觉三维水模体定位... 针对三维水模体检测方法较少、检测过程复杂等问题,提出基于激光跟踪仪和单目视觉的三维水模体定位精度检测方法。激光跟踪仪三维水模体定位精度检测对比实验验证三维水模体在有水和无水的情况下定位精度一致。单目视觉三维水模体定位精度检测实验结果表明:X轴、Y轴、Z轴和空间对角线的定位误差均在0.050 mm以内,重复性分别为0.030 mm,0.064 mm,0.056 mm,0.140 mm,X轴和Y轴的垂直度为0.800 mm,Y轴和Z轴的垂直度为0.761 mm,X轴和Z轴的垂直度为0.503 mm,与激光跟踪仪的测量精度在一个量级。最后,经不确定度分析得到相邻点距离测量误差的标准差为0.0187 mm,满足检测要求。两种方法都能实现非接触测量,简化冗杂的检测过程,可满足医院对医用直线加速器的日常检测需求。 展开更多
关键词 三维水模体 激光跟踪仪 单目视觉 定位精度
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矿用通风机叶片线激光测量数据优化方法研究
6
作者 李学哲 申瑶 +3 位作者 曹艾 王彦昕 花忠旭 田文宇 《计量学报》 CSCD 北大核心 2024年第3期440-446,共7页
测量模型的提取是矿用通风机叶片几何变形检测的关键,为了提高叶片测量模型的精度,提出一种基于最小二乘准则的线激光测量数据优化方法。首先,利用卡尔曼滤波算法实时处理线激光传感器原始测量数据,提高坐标测量精度,为后续模型构建提... 测量模型的提取是矿用通风机叶片几何变形检测的关键,为了提高叶片测量模型的精度,提出一种基于最小二乘准则的线激光测量数据优化方法。首先,利用卡尔曼滤波算法实时处理线激光传感器原始测量数据,提高坐标测量精度,为后续模型构建提供精准数据;然后,采用三次多项式法、三次B样条法、高阶贝塞尔法分别拟合求解三个测量模型,并基于最小二乘准则评价各模型的显著性水平,从而优选出适合通风机叶片几何特征的测量模型;最后,进行了实验研究。结果表明,采用三次B样条函数构建叶片测量模型可以获得最佳的拟合效果,其显著性评价因子最小(小于0.05),本方法通过数据优化有效提高了叶片测量模型的精度,为后续通风机叶片几何评价提供一种有效的技术解决方案。 展开更多
关键词 几何量计量 矿用通风机 叶片测量 线激光 数据优化 最小二乘法
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Si/SiO_(2)多层膜线宽关键参数精细化表征技术研究 被引量：1
7
作者 褚小要 沈瑶琼 +7 位作者 刘丽琴 邹文哲 管钰晴 郭创为 张玉杰 梁利杰 孔明 雷李华 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第1期151-161,共11页
线边缘粗糙度(LER)和线宽粗糙度(LWR)是衡量线宽标准样片质量的重要指标。文中基于自溯源光栅标准物质的自溯源、高精密尺寸结构特性,提出了一种直接溯源型精确校准SEM放大倍率的方法,以实现SEM对线宽标准样片关键参数的测量与表征。利... 线边缘粗糙度(LER)和线宽粗糙度(LWR)是衡量线宽标准样片质量的重要指标。文中基于自溯源光栅标准物质的自溯源、高精密尺寸结构特性,提出了一种直接溯源型精确校准SEM放大倍率的方法,以实现SEM对线宽标准样片关键参数的测量与表征。利用校准后的SEM,对利用Si/SiO_(2)多层膜沉积技术制备的线宽名义值为500、200、100 nm样片进行关键参数的测量,采用幅值量化参数的均方根粗糙度RMS描述线边缘粗糙度与线宽粗糙度,并通过图像处理技术确定线边缘位置,对线宽边缘特性进行了精确表征。实验结果表明,名义值为500、200、100 nm对的线宽样片,其实测值分别为459.5、191.0、99.5 nm,σLER分别为2.70、2.35、2.30 nm,σLWR分别为3.90、3.30、2.80 nm,说明了多层膜线宽标准样片线边缘较为平整、线宽变化小、具有良好的均匀性与一致性。基于自溯源标准物质校准SEM的方法缩短了溯源链,提高了SEM的测量精度,实现了线宽及其边缘特性的精确表征,为高精度纳米尺度测量和微电子制造领域提供了计量支持。 展开更多
关键词 自溯源标准物质 SEM放大倍率 线边缘粗糙度 线宽粗糙度 多层膜线宽
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光谱共焦传感器多参数高准确度校准 被引量：1
8
作者 杨品澒 唐波 +3 位作者 崔建军 陈恺 宋佩颉 彭璐 《计量学报》 CSCD 北大核心 2024年第3期412-418,共7页
针对高准确度光谱共焦传感器缺乏相应校准装置及方法的问题,提出了一种基于激光干涉测量的校准方法,并研制了相应的校准装置。一方面,提出了一种波长倍数间隔测量法,通过位移反馈控制将位移间隔设置为激光波长的整数倍,以减小激光干涉... 针对高准确度光谱共焦传感器缺乏相应校准装置及方法的问题,提出了一种基于激光干涉测量的校准方法,并研制了相应的校准装置。一方面,提出了一种波长倍数间隔测量法,通过位移反馈控制将位移间隔设置为激光波长的整数倍,以减小激光干涉仪非线性误差对测量的影响;另一方面,提出了测点修正算法,消除了受检点处位移标准值因校准装置定位准确度限制不重合对测量的影响。实验结果表明:在0~100μm的测量范围内,示值误差为±23 nm,重复性为5 nm,示值误差测量结果的扩展不确定度U_(2)=7.0 nm(k=2)。构建的校准装置在0~50 mm的测量范围内的示值误差测量结果不确定度为U_(1)=3.0 nm+2×10^(-7)L(k=2)。 展开更多
关键词 几何量计量 光谱共焦传感器 干涉仪非线性 测点修正算法 测量不确定度
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一种新的大行程垂直纳米运动工作台设计与控制研究
9
作者 张帆 黄强先 +3 位作者 程荣俊 张连生 李红莉 李瑞君 《计量学报》 CSCD 北大核心 2024年第3期318-324,共7页
在大行程高精度垂直运动中,工作台的设计及稳定控制是关键因素。因此设计一种新型的具有平衡机构的工作台,以实现垂直方向上大行程纳米稳定运动。所研究工作台采用N331压电直线电机独立驱动,通过空气静态导轨悬浮,设计Z轴平衡系统降低... 在大行程高精度垂直运动中,工作台的设计及稳定控制是关键因素。因此设计一种新型的具有平衡机构的工作台,以实现垂直方向上大行程纳米稳定运动。所研究工作台采用N331压电直线电机独立驱动,通过空气静态导轨悬浮,设计Z轴平衡系统降低垂直向电机驱动负载。利用步进控制方式完成大行程驱动,模拟方式实现微位移精密驱动控制。所提出的驱动与控制策略,可实现100 mm垂直方向上高精度快速精密驱动。另Z向也可实现纳米步进模式与模拟模式的复合控制。在全行程100 mm的范围内定位波动可限制在±9 nm内。通过验证实验,本运动工作台可适用于微纳米三坐标测量机、微光刻和微加工应用的驱动与控制任务。 展开更多
关键词 几何量计量 纳米运动工作台 垂直运动 大行程 纳米步进 模拟模式
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基于量子技术的原子沉积光栅的研究进展与典型应用
10
作者 雷李华 梁利杰 邓晓 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第11期224-234,共11页
基于量子基准的精密测量技术建立在量子力学原理上,以超越经典方法的测量精度,成为现代科技发展的重要推动力。铬原子光刻光栅基于冷原子量子态的操控技术而制备,是精密测量领域的关键元件,其制备技术与应用研究备受关注。其可作为纳米... 基于量子基准的精密测量技术建立在量子力学原理上,以超越经典方法的测量精度,成为现代科技发展的重要推动力。铬原子光刻光栅基于冷原子量子态的操控技术而制备,是精密测量领域的关键元件,其制备技术与应用研究备受关注。其可作为纳米级长度标准物质,实现微纳尺度高精密量检设备的长度溯源。文中分析了铬原子光刻光栅的制备原理;综述了国内外原子光刻光栅的研究现状及其在几何量精密测量中的应用,并探讨了未来的发展方向,以提升铬原子光刻光栅在计量领域的应用水平。 展开更多
关键词 光栅标准物质 原子光刻 原子跃迁频率 量子基准
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基于贝叶斯动态模型的激光干涉仪漂移误差预测
11
作者 刘丽颖 程真英 +1 位作者 陈旭 李瑞君 《计量学报》 CSCD 北大核心 2024年第3期332-339,共8页
针对长时间测量时激光干涉仪产生的漂移问题,提出了一种基于贝叶斯动态模型的漂移误差预测方法。通过采集非测量阶段的漂移误差序列,分析了数据特征并据此建立了贝叶斯动态模型。然后,利用无信息先验分布法获取了递推所需的初始信息,运... 针对长时间测量时激光干涉仪产生的漂移问题,提出了一种基于贝叶斯动态模型的漂移误差预测方法。通过采集非测量阶段的漂移误差序列,分析了数据特征并据此建立了贝叶斯动态模型。然后,利用无信息先验分布法获取了递推所需的初始信息,运用贝叶斯递推算法训练并估计了模型状态参数。最后,基于实验室自制的迈克尔逊激光干涉仪对漂移误差预测效果进行了实验验证。结果表明:与常用的最小二乘拟合法和神经网络建模法相比,基于该方法预测补偿后的残余漂移误差的均方差分别减小了67.85%和99.08%;由重复实验的预测效果可知,残余漂移误差的均方差较补偿前都减小了82%以上。验证了提出的基于贝叶斯动态模型的漂移误差预测方法的有效性和稳健性。 展开更多
关键词 几何量计量 漂移误差 误差预测 贝叶斯动态模型 激光干涉仪
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光纤长度标准装置及其结果修正研究
12
作者 袁伟炳 孟飞 +3 位作者 林百科 杨凯 陈亮 方占军 《计量学报》 CSCD 北大核心 2024年第12期1745-1752,共8页
为了更好地满足国内光时域反射计(OTDR)的长度量值计量需求,研制了一套基于调制相移法原理的光纤长度标准。装置采用模块化设计,实现了激光器驱动、信号调制、光电转换及频率变换等主要系统单元,并增加了1550 nm窗口的长度测量能力。通... 为了更好地满足国内光时域反射计(OTDR)的长度量值计量需求,研制了一套基于调制相移法原理的光纤长度标准。装置采用模块化设计,实现了激光器驱动、信号调制、光电转换及频率变换等主要系统单元,并增加了1550 nm窗口的长度测量能力。通过独立测量光纤温度修正系数及波长修正系数,在国内已报道的光纤长度标准研究结果中实现对温度及通信窗口测试光源波长不同而引起长度量值变化的归一化修正,并给出完整的不确定度评估结果,为面向OTDR检定领域的光纤长度量值溯源提供了实验依据及新的思路和方法。实验结果表明,光纤长度测量结果不确定度在1310 nm窗口和1550 nm窗口下分别为U=(0.016+7.2×10^(-6)L)m(k=2)和U=(0.028+7.2×10^(-6)L)m(k=2)。使用该标准标定OTDR传递标准用14 km光纤,不确定度为0.13 m(k=2),相较于现行标准指标提升近1倍。 展开更多
关键词 几何量计量 光纤长度 光时域反射计 温度修正 波长修正
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非匀速条件下车辆底盘超近距成像测量方法
13
作者 张月莹 殷其昊 +2 位作者 荆根强 颜露新 王相勋 《计量学报》 CSCD 北大核心 2024年第2期178-185,共8页
针对车辆非匀速条件下轴距视觉测量及轴型识别所面临的超近距、大幅面、低畸变成像及视觉测量问题,提出一种适用于非匀速条件下的车辆底盘结构超近距成像测量方法。利用鱼眼相机采集运动车辆底盘的超广角图像序列,通过一种改进的多采样... 针对车辆非匀速条件下轴距视觉测量及轴型识别所面临的超近距、大幅面、低畸变成像及视觉测量问题,提出一种适用于非匀速条件下的车辆底盘结构超近距成像测量方法。利用鱼眼相机采集运动车辆底盘的超广角图像序列,通过一种改进的多采样点圆拟合方法实现图像感兴趣区域的提取。建立三维等距成像模型对鱼眼图像进行畸变校正。针对车辆非匀速行驶带来的视频帧重叠度差异,采用基于图像内容的重叠度分析技术,实现了多步分层的关键帧提取,有效避免了车速不稳定对车辆底盘结构测量的影响。现场实验结果表明:该方法可在非匀速条件下,以20~50 cm的成像距离获得清晰、低畸变的完整车辆底盘图像,车辆轴距测量误差均值约为5%。 展开更多
关键词 几何量计量 车辆底盘测量 非匀速 机器视觉 图像拼接 视频关键帧 鱼眼成像校正
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热障涂层厚度的脉冲涡流检测反演方法
14
作者 范文茹 昌勇 《计量学报》 CSCD 北大核心 2024年第6期819-826,共8页
针对热障涂层厚度的高精度测量,提出一种脉冲涡流检测反演方法。该方法提出两阶段处理技术对脉冲涡流检测信号进行预处理,采用主成分分析法提取预处理信号的主成分分量,最后构建BP神经网络实现涂层厚度预测。通过COMSOL建模仿真实验证... 针对热障涂层厚度的高精度测量,提出一种脉冲涡流检测反演方法。该方法提出两阶段处理技术对脉冲涡流检测信号进行预处理,采用主成分分析法提取预处理信号的主成分分量,最后构建BP神经网络实现涂层厚度预测。通过COMSOL建模仿真实验证明两阶段处理方法可有效地减小提离效应并区分厚度特征的变化,基于主成分分析的特征提取方法能够对陶瓷层和粘结层厚度变化进行分类识别。结果显示该方法对陶瓷层厚度计算的平均相对误差约为0.4%,对粘结层厚度计算的平均相对误差约为2.6%。可见,该方法对热障涂层厚度的反演精度较高。 展开更多
关键词 厚度计量 热障涂层 脉冲涡流 两阶段处理法 主成分分析 BP神经网络
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多通道抗串扰式光谱共焦位移测量方法
15
作者 孙振国 李加福 +2 位作者 罗明哲 李轶凡 胡佳成 《计量学报》 CSCD 北大核心 2024年第4期489-495,共7页
提出一种位移测量方法,解决扫描光谱共焦测量系统存在不同共焦点之间的相互干扰问题。通过光纤束保持多个测量通道之间的独立性,并利用光开关切换测量通道来防止干扰。该系统的7个共焦点构成一个等边六边形,其中6个点分别位于六边形的... 提出一种位移测量方法,解决扫描光谱共焦测量系统存在不同共焦点之间的相互干扰问题。通过光纤束保持多个测量通道之间的独立性,并利用光开关切换测量通道来防止干扰。该系统的7个共焦点构成一个等边六边形,其中6个点分别位于六边形的各顶点处,1个共焦点位于六边形的中心,六边形的边长为43.27μm。通过位移测量实验得出,位移测量系统各测量通道的绝对误差小于0.15μm,范围为0~90μm。在测量台阶高度的实验中,2个高度差为30μm的台阶面,误差最大者为0.16μm;在球径测量实验中,无需移动测量系统或被测物体便可完成7路通道的测量;通过对数据进行拟合得到半径为5 mm的球体近似值,最大误差为80.92μm。对比传统方法,该方法展现了较高的精度和分辨率。 展开更多
关键词 几何量测量 光谱共焦 多通道 位移测量 共焦位移
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基于距离精度的测量机器人标定模型及算法 被引量：35
16
作者 任永杰 邾继贵 +1 位作者 杨学友 叶声华 《计量学报》 EI CSCD 北大核心 2008年第3期198-202,共5页
对机器人绝对位置误差进行检测和补偿时,通常要涉及到测量系统坐标系与机器人基础坐标系间的坐标变换,由于这个变换很难精确测定,从而导致测量机器人的绝对位置精度降低。为了克服这一情况,可改用空间两点间的距离精度来衡量机器人的绝... 对机器人绝对位置误差进行检测和补偿时,通常要涉及到测量系统坐标系与机器人基础坐标系间的坐标变换,由于这个变换很难精确测定,从而导致测量机器人的绝对位置精度降低。为了克服这一情况,可改用空间两点间的距离精度来衡量机器人的绝对位置精度,这样可简化测量过程。利用距离精度的定义,建立了机器人的距离误差模型,该模型可以避免坐标转换带来的误差,降低对测量系统的精度要求。同时,激光跟踪仪测试技术的应用,使得机器人的位姿测量变得非常容易。最后给出了此模型及算法在IRB2400机器人上的应用实例。 展开更多
关键词 计量学 测量机器人 绝对位置误差 距离精度 激光跟踪仪
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正切法莫尔条纹信号幅值分割细分的误差分析 被引量：13
17
作者 唐小琦 刘世峰 +2 位作者 王平江 唐玉枝 罗春槐 《计量学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第3期220-223,共4页
提出一种在使用正切法对莫尔条纹信号进行幅值分割细分时的误差计算方法。分析了在信号中含有直流分量、二次谐波噪声及幅值不等、相位不正交误差时,所构造的正切函数相位变化情况。先判断出正切函数相位变化关键点,分别计算其相位改变... 提出一种在使用正切法对莫尔条纹信号进行幅值分割细分时的误差计算方法。分析了在信号中含有直流分量、二次谐波噪声及幅值不等、相位不正交误差时,所构造的正切函数相位变化情况。先判断出正切函数相位变化关键点,分别计算其相位改变最大值,以此确定对细分精度影响最大的噪声及误差种类,便于在实际应用中有针对性地对信号进行降噪处理,并计算出细分误差。同时应用MATLAB在理想信号中加入上述噪声及误差,精确仿真非理想信号对细分的影响,绘制出相关图形。 展开更多
关键词 计量学 细分误差 正切法 莫尔条纹 降噪处理 幅值分割
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碳/碳复合材料切削表面粗糙度的评定方法及评定参数研究 被引量：15
18
作者 赵福令 艾传智 +3 位作者 杨东军 杨志翔 王金明 敖明 《计量学报》 EI CSCD 北大核心 2006年第3期206-211,共6页
通过对航空航天领域应用的碳/碳(C/C)复合材料和硬铝材料切削表面进行三维表面粗糙度测量实验,研究了C/C复合材料切削表面粗糙度的二维评定与三维评定方法、幅度表征参数及分形表征。结果表明:对于C/C一类的复合材料需选用三维评定参数... 通过对航空航天领域应用的碳/碳(C/C)复合材料和硬铝材料切削表面进行三维表面粗糙度测量实验,研究了C/C复合材料切削表面粗糙度的二维评定与三维评定方法、幅度表征参数及分形表征。结果表明:对于C/C一类的复合材料需选用三维评定参数才能准确表达其切削表面粗糙度的真实特征;表面均方根偏差比表面算术平均偏差更适合作为C/C复合材料切削表面粗糙度的幅度评定参数,表面粗糙度的三维标准应优先选用表面均方根偏差作为评定参数;表面分形维数可作为C/C复合材料切削表面粗糙度的表征参数之一。 展开更多
关键词 计量学 碳/碳复合材料 表面粗糙度 评定参数 分形
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纳米台阶标准样板的制备和表征 被引量：14
19
作者 雷李华 邹子英 +2 位作者 李源 王丽华 李东升 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2011年第9期600-605,共6页
介绍了纳米标准样板在纳米量值溯源体系中的重要作用和制备纳米标准样板的基本要求,设计了适用于多用途的标准值为100nm纳米台阶标准样板的特征结构和制备工艺流程,阐述了纳米测量装置的工作原理以及原子力测头(AFM)、激光聚焦式测头(L... 介绍了纳米标准样板在纳米量值溯源体系中的重要作用和制备纳米标准样板的基本要求,设计了适用于多用途的标准值为100nm纳米台阶标准样板的特征结构和制备工艺流程,阐述了纳米测量装置的工作原理以及原子力测头(AFM)、激光聚焦式测头(LFS)、扫描白光干涉测头(SWLIS)的参数指标和适用范围。分别利用纳米测量机(NMM)的多种测头对纳米标准样板进行表征,对SIMT100纳米标准样板A区域开展重复性实验、区域均匀性实验和长时间稳定性实验。结果表明,设计与制备的SIMT100纳米标准样板A区域的高度值具有较好的量值传递特性。台阶标准片的测量重复性、区域均匀性和稳定性的标准偏差均小于1nm。 展开更多
关键词 纳米量值溯源体系 纳米台阶标准样板 制备工艺 纳米测量装置 量值传递特性
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大长度激光测量中阿贝误差消除方法的研究 被引量：20
20
作者 缪东晶 李建双 +5 位作者 李连福 赫明钊 邓向瑞 蒋远林 康瑶 张京燕 《计量学报》 CSCD 北大核心 2015年第6期570-574,共5页
提出一种基于3路独立激光干涉仪消除大长度激光测量中的阿贝误差的方法，3路干涉仪的安装位置可布置成任意三角形。通过3路干涉仪的测量结果及被测仪器与3路干涉仪安装位置的几何关系，构造一路与被测仪器同光路的虚拟干涉仪，推导虚拟... 提出一种基于3路独立激光干涉仪消除大长度激光测量中的阿贝误差的方法，3路干涉仪的安装位置可布置成任意三角形。通过3路干涉仪的测量结果及被测仪器与3路干涉仪安装位置的几何关系，构造一路与被测仪器同光路的虚拟干涉仪，推导虚拟干涉仪的测长公式。该算法对于涉仪的安装位置无特殊要求，在实践中易于实现。为验证算法的有效性，依托于室内80in大长度标准装置，通过改变被测仪器安装位置，在45m范围内进行了3组不同的验证实验。实验结果显示消除阿贝误差后，残余的其它误差的最大值仅为1．10μm，该算法可有效地消除阿贝误差。 展开更多
关键词 计量学 大长度 阿贝误差 激光干涉仪
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