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采用微机械加工技术的微光学加速度计
被引量：
3
1
作者
郑露滴
A.Asundi
+2 位作者
N.C.Tien
z.chen
A.Q.Liu
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第2期162-164,共3页
表面微机械加工技术是实现单片集成微光学系统的一种新方法。本文介绍一种新型的采用微机械加工技术的微型光学加速度计 ,包括设计、关键器件的加工和测试 ,它是基于光线和光闸相互作用引起通光量变化的工作原理。这一微光学加速度计包...
表面微机械加工技术是实现单片集成微光学系统的一种新方法。本文介绍一种新型的采用微机械加工技术的微型光学加速度计 ,包括设计、关键器件的加工和测试 ,它是基于光线和光闸相互作用引起通光量变化的工作原理。这一微光学加速度计包含一个 2 μm厚的多晶硅光闸 ,光闸采用微弹簧支撑在基片上 ,微弹簧是长度为 2 0 0 μm的多晶硅褶曲梁 ,硅基片和微结构之间所夹的牺牲层采用氢氟酸湿法刻蚀去除。光闸设计为一个质量弹簧系统 ,对加速度力产生响应。
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关键词
微光学加速度计
微机械加工
微机电系统
单片集成微光学系统
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职称材料
题名
采用微机械加工技术的微光学加速度计
被引量：
3
1
作者
郑露滴
A.Asundi
N.C.Tien
z.chen
A.Q.Liu
机构
朗讯贝尔实验室
Nanyang Technological University
Cornell University
Institute of Materials Research and Engineering
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第2期162-164,共3页
文摘
表面微机械加工技术是实现单片集成微光学系统的一种新方法。本文介绍一种新型的采用微机械加工技术的微型光学加速度计 ,包括设计、关键器件的加工和测试 ,它是基于光线和光闸相互作用引起通光量变化的工作原理。这一微光学加速度计包含一个 2 μm厚的多晶硅光闸 ,光闸采用微弹簧支撑在基片上 ,微弹簧是长度为 2 0 0 μm的多晶硅褶曲梁 ,硅基片和微结构之间所夹的牺牲层采用氢氟酸湿法刻蚀去除。光闸设计为一个质量弹簧系统 ,对加速度力产生响应。
关键词
微光学加速度计
微机械加工
微机电系统
单片集成微光学系统
Keywords
Optical accelerometer Micromachining MEMS
分类号
TH824.4 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
采用微机械加工技术的微光学加速度计
郑露滴
A.Asundi
N.C.Tien
z.chen
A.Q.Liu
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
3
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