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晶圆级芯片表面电沉积镍钨合金初期探索性研究
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作者 吴王平 安宇澳 +2 位作者 黎鑫 汪涛 焦严涛 《电镀与精饰》 北大核心 2025年第3期26-33,共8页
针对晶圆级芯片表面电沉积钨合金技术展开探索性研究,旨在改善电沉积过程中镀层质量差、钨含量低等问题,以提升其在高性能半导体器件中的应用潜力。研究以镍钨合金为对象,因其优异的高温稳定性和机械性能,被认为是芯片制造中互连层与阻... 针对晶圆级芯片表面电沉积钨合金技术展开探索性研究,旨在改善电沉积过程中镀层质量差、钨含量低等问题,以提升其在高性能半导体器件中的应用潜力。研究以镍钨合金为对象,因其优异的高温稳定性和机械性能,被认为是芯片制造中互连层与阻挡层材料的潜在选择。然而,现有技术在芯片表面形成高质量镀层时存在诸多限制。本研究通过调整电解液配方、电流密度和温度等参数,系统研究这些工艺参数对沉积层质量的影响。采用扫描电子显微镜(SEM)和X射线能谱(EDS)对沉积层的表面形貌和元素组成进行表征,以评估其微观结构质量和成分比例,并通过X射线衍射(XRD)分析晶体结构。同时,通过显微硬度测试不同参数下沉积层的硬度,从而评价其机械性能。结果表明,电沉积参数显著影响镍钨合金沉积层的质量;合理调整工艺参数可获得表面平整、致密且硬度高的沉积层,并有效提升钨的含量。本研究为优化电沉积镍钨合金工艺、制备高性能芯片互连层和阻挡层材料提供了重要参考。 展开更多
关键词 电沉积 钨合金 晶圆级芯片
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某单相断路器连杆的断裂原因 被引量:3
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作者 王亮兵 吴王平 +2 位作者 徐飞 杨维华 马天彪 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2018年第11期79-81,86,共4页
某批单相断路器4Cr13钢连杆在调试试验中发生断裂,结合连杆的加工过程,用光学显微镜、扫描电子显微镜和维氏硬度计对其断裂原因进行了分析。结果表明:4Cr13钢连杆在90°弯角内侧发生脆性过载断裂,断裂形式为准解理断裂;4Cr13钢连杆... 某批单相断路器4Cr13钢连杆在调试试验中发生断裂,结合连杆的加工过程,用光学显微镜、扫描电子显微镜和维氏硬度计对其断裂原因进行了分析。结果表明:4Cr13钢连杆在90°弯角内侧发生脆性过载断裂,断裂形式为准解理断裂;4Cr13钢连杆在90°弯角内侧的硬度偏高,同时倒角圆弧半径偏小,使其在弯型过程中于90°弯角内侧发生应力集中而形成微裂纹,并最终导致4Cr13钢连杆在调试过程中因受力而发生断裂;合理设计连杆结构,并在弯型工序前控制退火过程中的加热速率,可避免4Cr13钢连杆发生断裂。 展开更多
关键词 4CR13钢 连杆 断裂 微裂纹
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机械和超声波分散对纳米Al_(2)O_(3)颗粒在聚酯树脂中的分散及涂层性能的影响 被引量:3
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作者 苗乃明 蒋雨生 +4 位作者 张澳 黄佳琪 吴王平 宋新隆 刘坤明 《涂料工业》 CAS CSCD 北大核心 2023年第8期47-54,共8页
将纳米Al_(2)O_(3)颗粒分别通过机械和超声波分散工艺分散到聚酯树脂中,研究了机械分散转速和分散方式对纳米Al_(2)O_(3)/聚酯树脂复合涂层性能及纳米Al_(2)O_(3)在聚酯树脂中的分散性的影响;通过研究复合涂层的耐盐雾性、硬度、耐磨性... 将纳米Al_(2)O_(3)颗粒分别通过机械和超声波分散工艺分散到聚酯树脂中,研究了机械分散转速和分散方式对纳米Al_(2)O_(3)/聚酯树脂复合涂层性能及纳米Al_(2)O_(3)在聚酯树脂中的分散性的影响;通过研究复合涂层的耐盐雾性、硬度、耐磨性等,确定了最佳分散工艺。结果表明:纳米Al_(2)O_(3)颗粒可在1500 r/min的机械分散下形成均匀分散体系,再用超声波分散可进一步提升分散效果和涂料的稳定性,有效减少纳米Al_(2)O_(3)在水性聚酯树脂中的团聚,在提高所得复合涂层硬度、耐磨性的同时,增强其耐腐蚀性。 展开更多
关键词 纳米Al_(2)O_(3) 机械分散 超声分散 聚酯复合涂层 防腐性能
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Ir-Re合金涂层的研究进展
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作者 吴王平 邢正杰 林胜 《贵金属》 CAS 北大核心 2023年第4期85-90,共6页
铼-铱合金涂层具有优异的抗氧化性和耐冲刷性,可作为保护涂层应用于航空航天及工业领域。铱-铼合金涂层同时还具有优异耐高温、抗氧化等,在航天器等高温热防护方面有着重要的应用。本文主要介绍铱-铼合金涂层的性能、制备方法及其应用,... 铼-铱合金涂层具有优异的抗氧化性和耐冲刷性,可作为保护涂层应用于航空航天及工业领域。铱-铼合金涂层同时还具有优异耐高温、抗氧化等,在航天器等高温热防护方面有着重要的应用。本文主要介绍铱-铼合金涂层的性能、制备方法及其应用,同时展望铱-铼合金涂层的发展趋势。 展开更多
关键词 铼-铱 合金 涂层
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Platinum and Iridium Coatings Obtained by Double Glow Plasma Technology 被引量:1
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作者 wu wangping CHEN Zhaofeng +2 位作者 CHEN Zhou CONG Xiangna QIU Jinlian 《贵金属》 CAS CSCD 北大核心 2012年第A01期146-153,共8页
Pt and Ir coatings were produced by double glow plasma technology on the surface of Ti alloy substrates. The chemical compositions of the coatings were determined by X-ray diffraction and X-ray photoelectron spectrosc... Pt and Ir coatings were produced by double glow plasma technology on the surface of Ti alloy substrates. The chemical compositions of the coatings were determined by X-ray diffraction and X-ray photoelectron spectroscopy. The microstructure and morphology of the coatings were observed by scanning electron microscopy. The hardness and elastic modulus of the coatings were estimated by nanoindentation. The measurements of adhesive forces of the coatings were performed with scratch tester. The results indicated that the Pt and Ir coatings displayed the preferred (220) orientation due to the initial nuclei with preferred growth on the surface of the substrates. The interface between the Pt coating and substrate exhibited no evidence of delamination. The Ir coating was composed of irregular columnar grains with many nanovoids at the interface between the coating and substrate. The mean values of hardness for Pt and Ir coatings were 0.9 GPa and 9 GPa, respectively. The elastic modulus of Pt and Ir coatings were 178 GPa and 339 GPa, respectively. The adhesive forces of the Pt and Ir coatings were about 66.4 N and 55 N, respectively. The Pt and Ir coatings adhered well to the Ti alloy substrates. 展开更多
关键词 noble metal COATING PLATINUM IRIDIUM double glow plasma
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电沉积铱镍薄膜电催化剂及其析氢性能
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作者 张美霞 吴王平 王芹芹 《电镀与精饰》 CAS 北大核心 2024年第12期136-144,共9页
采用电沉积技术在泡沫铜上制备了铱镍(Ir-Ni)合金薄膜,并利用泡沫铜(CF)的三维多孔结构和Ir-Ni合金的优良催化及抗腐蚀性来提升薄膜的电催化析氢反应(HER)性能。本文在恒电流条件下通过电沉积技术在泡沫铜上制备了Ir-Ni薄膜,并与泡沫铜... 采用电沉积技术在泡沫铜上制备了铱镍(Ir-Ni)合金薄膜,并利用泡沫铜(CF)的三维多孔结构和Ir-Ni合金的优良催化及抗腐蚀性来提升薄膜的电催化析氢反应(HER)性能。本文在恒电流条件下通过电沉积技术在泡沫铜上制备了Ir-Ni薄膜,并与泡沫铜上电沉积制备的纯Ir和纯Ni薄膜进行了比较。通过扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)和X射线光电子能谱仪(XPS)分析了薄膜的表面形貌和化学成分,采用线性扫描伏安法(LSV)测试了其电催化性能。结果表明:Ir-Ni薄膜成功附着在具有多孔结构和空心形貌的泡沫铜上,其表面比纯Ni薄膜粗糙。薄膜主要由金属态Ir组成,含量为(80.0±1.2)at.%。Ir-Ni/CF表现出出色的HER性能,仅需要60 mV的过电位就能获得10 mA·cm^(–2)电流密度,塔菲尔斜率(Tafel)低至40 mV·dec^(–1),交换电流密度j0为0.657 mA·cm^(–2),达到了商用Pt/C催化剂的87.6%。并且在碱性溶液中,长时间的析氢实验显示Ir-Ni/CF具有良好的电催化稳定性。相比于Ir/CF和Ni/CF,Ir-Ni/CF的电催化活性显著提升,这主要归因于两方面的因素:一方面是薄膜相对粗糙的表面增加了活性中心的表面积,另一方面是Ir与Ni在析氢反应中的协同效应。 展开更多
关键词 铱镍薄膜 电沉积 电催化剂 析氢反应 泡沫铜
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基于相间短路故障电流的同步发电机参数辨识方法
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作者 葛馨远 饶毅 +3 位作者 谢睿 孙峥 吴汪平 周念成 《电工电能新技术》 CSCD 北大核心 2024年第5期50-57,共8页
同步发电机的精确参数辨识是保证电力系统暂稳态分析的重要基础。本文首先在同步发电机等效数学模型、序网图、等效电路的基础上,推导了其通过外部阻抗相间短路故障情况下的暂态电流表达式;然后以短路试验与辨识得到参数计算的短路电流... 同步发电机的精确参数辨识是保证电力系统暂稳态分析的重要基础。本文首先在同步发电机等效数学模型、序网图、等效电路的基础上,推导了其通过外部阻抗相间短路故障情况下的暂态电流表达式;然后以短路试验与辨识得到参数计算的短路电流间标准化误差平方和最小目标函数,采用增加权重系数的改进鲸鱼优化算法,提出基于相间短路故障电流的同步发电机参数辨识方法;最后在某实际同步发电机上进行短路试验,验证了所提方法的正确性与有效性。本文方法通过增大同步发电机的激励能量,采用大扰动过程中的故障电流作为原始数据,以提高辨识的准确性;同时结合短路电流模型非线性特点,对鲸鱼优化算法进行改进,能更好地适应非线性参数辨识。 展开更多
关键词 同步发电机 短路电流 参数辨识 鲸鱼优化算法
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视觉图像与三维点云融合的障碍物主动识别与距离感知研究
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作者 孙峥 林国成 +4 位作者 谢睿 朱俊鹏 周煜 吴汪平 许阔 《机床与液压》 北大核心 2024年第16期80-86,共7页
针对无人机配电线自动巡检及绝缘层涂覆维护过程中障碍物主动识别和距离感知的问题,提出视觉图像与三维点云相结合的障碍物识别方法。对图像进行增广预处理来丰富数据集,引入基于特征提取的深度学习进行模型训练,获取障碍物目标的类别... 针对无人机配电线自动巡检及绝缘层涂覆维护过程中障碍物主动识别和距离感知的问题,提出视觉图像与三维点云相结合的障碍物识别方法。对图像进行增广预处理来丰富数据集,引入基于特征提取的深度学习进行模型训练,获取障碍物目标的类别和方位,结合三维点云信息得到目标的距离信息。实验结果表明:三维点云与视觉图像融合的障碍物主动识别与距离感知算法可以兼顾实时与精准测距的需求,提高了系统预警的精确度,最大识别误差为2.356%,有助于提高无人机及线缆涂覆机器人的障碍感知能力,保障作业安全。 展开更多
关键词 障碍物主动识别和距离感知算法 视觉图像 三维点云 融合算法 目标检测
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