期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
制备工艺对p型ZnO薄膜微观结构和电学特性的影响
被引量：
1
1
作者
丁瑞钦
陈毅湛
+6 位作者
朱慧群
黎扬钢
丁晓贵
杨柳
黄鑫钿
齐德备
谭军
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第5期1237-1241,1272,共6页
本文报道溅射工艺、退火工艺和冷却方式对磷扩散法制备的p型ZnO薄膜的微观结构和电学特性的影响的实验研究。研究结果表明,ZnO薄膜的表面形貌、结晶度、内应力以及电学特性均与制备工艺条件有密切的关系。文章对这些关系的机理做了探讨...
本文报道溅射工艺、退火工艺和冷却方式对磷扩散法制备的p型ZnO薄膜的微观结构和电学特性的影响的实验研究。研究结果表明,ZnO薄膜的表面形貌、结晶度、内应力以及电学特性均与制备工艺条件有密切的关系。文章对这些关系的机理做了探讨和分析。
展开更多
关键词
ZNO薄膜
工艺条件
微观结构
电学特性
在线阅读
下载PDF
职称材料
磷扩散法制备高掺磷p型ZnO薄膜的磁控溅射工艺的探索
2
作者
丁瑞钦
曾庆光
+3 位作者
陈毅湛
朱慧群
丁晓贵
齐德备
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期490-493,510,共5页
在前期通过n+-Si衬底中的磷向沉积于其上面的ZnO薄膜的扩散制备高掺磷p型ZnO薄膜的研究基础上,探索了较有普遍应用意义的扩散法制备p型ZnO薄膜的磁控溅射工艺。结果表明,当磁控溅射的氧氩质量流量比与衬底温度满足特定的低阶指数函数的...
在前期通过n+-Si衬底中的磷向沉积于其上面的ZnO薄膜的扩散制备高掺磷p型ZnO薄膜的研究基础上,探索了较有普遍应用意义的扩散法制备p型ZnO薄膜的磁控溅射工艺。结果表明,当磁控溅射的氧氩质量流量比与衬底温度满足特定的低阶指数函数的匹配关系时,所制备的ZnO薄膜为p型,而且薄膜中磷原子的深度分布是均匀的;另外,这种薄膜的厚度随着氧氩流量比的增加而减小,而薄膜中氧锌原子浓度比都大于1,比值大小与氧氩质量流量比和衬底温度有关。
展开更多
关键词
P型ZNO薄膜
磷扩散法
磁控溅射工艺
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
制备工艺对p型ZnO薄膜微观结构和电学特性的影响
被引量：
1
1
作者
丁瑞钦
陈毅湛
朱慧群
黎扬钢
丁晓贵
杨柳
黄鑫钿
齐德备
谭军
机构
五邑大学薄膜与纳米材料研究所
五邑大学数理系
五邑大学信息学院
五邑大学机电系
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第5期1237-1241,1272,共6页
基金
广东省自然科学基金(No.04011770)
江门市科技计划(江财企【2004】59号)
文摘
本文报道溅射工艺、退火工艺和冷却方式对磷扩散法制备的p型ZnO薄膜的微观结构和电学特性的影响的实验研究。研究结果表明,ZnO薄膜的表面形貌、结晶度、内应力以及电学特性均与制备工艺条件有密切的关系。文章对这些关系的机理做了探讨和分析。
关键词
ZNO薄膜
工艺条件
微观结构
电学特性
Keywords
p-ZnO films
preparation techniques
microstructure
electric characteristics
分类号
O484 [理学—固体物理]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
磷扩散法制备高掺磷p型ZnO薄膜的磁控溅射工艺的探索
2
作者
丁瑞钦
曾庆光
陈毅湛
朱慧群
丁晓贵
齐德备
机构
五邑大学薄膜与纳米材料研究所
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期490-493,510,共5页
基金
广东省自然科学基金(No.04011770)
文摘
在前期通过n+-Si衬底中的磷向沉积于其上面的ZnO薄膜的扩散制备高掺磷p型ZnO薄膜的研究基础上,探索了较有普遍应用意义的扩散法制备p型ZnO薄膜的磁控溅射工艺。结果表明,当磁控溅射的氧氩质量流量比与衬底温度满足特定的低阶指数函数的匹配关系时,所制备的ZnO薄膜为p型,而且薄膜中磷原子的深度分布是均匀的;另外,这种薄膜的厚度随着氧氩流量比的增加而减小,而薄膜中氧锌原子浓度比都大于1,比值大小与氧氩质量流量比和衬底温度有关。
关键词
P型ZNO薄膜
磷扩散法
磁控溅射工艺
Keywords
p-type ZnO thin films
phosphorous diffusion
magnetron sputtering technics
分类号
O411 [理学—理论物理]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
制备工艺对p型ZnO薄膜微观结构和电学特性的影响
丁瑞钦
陈毅湛
朱慧群
黎扬钢
丁晓贵
杨柳
黄鑫钿
齐德备
谭军
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
磷扩散法制备高掺磷p型ZnO薄膜的磁控溅射工艺的探索
丁瑞钦
曾庆光
陈毅湛
朱慧群
丁晓贵
齐德备
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
