期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到10篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
加速度计标定中静态半径误差项的消除技术 被引量：5
1
作者 黄钦文 杨少华 +1 位作者 董显山 王蕴辉 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2018年第1期122-126,共5页
基于离心机对线加速度计进行标定时,首先需确定加速度计有效质量中心到离心机旋转中心的距离,即静态半径。目前相关的确定方法较为繁琐,实际中难以操作。提出一种直接消除双离心机静态半径误差的测试分析方法,该方法基于加速度计在双离... 基于离心机对线加速度计进行标定时,首先需确定加速度计有效质量中心到离心机旋转中心的距离,即静态半径。目前相关的确定方法较为繁琐,实际中难以操作。提出一种直接消除双离心机静态半径误差的测试分析方法,该方法基于加速度计在双离心机上测试标定时在正向输入和反向输入条件下其安装位置误差的对称性,将安装位置误差项引入加速度计的静态模型方程中。通过对模型方程的处理,消除了结果数据中的安装误差项,获得了不含安装误差项的加速度计标度因数计算方法,并且基于所获得的标度因数,可以计算获得安装位置误差值。对比测试验证结果表明,同个加速度计在正常安装((35)R/R_1约0.37%)和人为增大安装位置误差((35)R/R_1约5.22%)的情况下,经过消除安装位置误差项的处理,所获得的标度因数仅相差约0.036%,证明了该方法的有效性。该方法有效消除了安装位置误差对标度因数的影响,提高了标定精度,同时简化了加速度计的标定步骤。 展开更多
关键词 双离心机 加速度计 静态半径 安装位置误差 标度因数
在线阅读 下载PDF
氧气吸附对碳纳米管电子特性的影响 被引量：1
2
作者 黄钦文 吴军 +2 位作者 陈大鹏 陈永胜 叶甜春 《电子器件》 CAS 2007年第6期1981-1984,共4页
碳纳米管暴露在空气中会引起其电子特性的改变.使用微电子工艺在硅衬底上制备出生长碳纳米管的阵列图形,使用热CVD法实现碳纳米管在硅平面上的定点生长.研究了不同温度下空气氛围对多壁碳纳米管电子特性的影响.实验结果表明,空气中的水... 碳纳米管暴露在空气中会引起其电子特性的改变.使用微电子工艺在硅衬底上制备出生长碳纳米管的阵列图形,使用热CVD法实现碳纳米管在硅平面上的定点生长.研究了不同温度下空气氛围对多壁碳纳米管电子特性的影响.实验结果表明,空气中的水分子和氧气都会影响碳纳米管的电子特性.在室温环境中,水分子对碳纳米管电子特性的影响起主要作用,随着环境温度的升高,氧气对碳纳米管电学性质的变化起主要作用. 展开更多
关键词 碳纳米管 吸附 氧化 气体传感器 化学气相淀积
在线阅读 下载PDF
真空退火对碳纳米管电子特性的影响 被引量：1
3
作者 黄钦文 吴军 +2 位作者 陈大鹏 陈永胜 叶甜春 《电子器件》 CAS 2008年第2期428-431,共4页
以Al/Fe为催化剂,使用热CVD法在硅片表面垂直生长碳纳米管。研究了不同温度下,未经高温真空退火的碳纳米管吸附和解吸乙醇蒸汽时,碳纳米管电学特性的变化规律。把碳纳米管在真空下(<1Pa)进行高温(150℃)退火,对经过退火的碳纳米管在... 以Al/Fe为催化剂,使用热CVD法在硅片表面垂直生长碳纳米管。研究了不同温度下,未经高温真空退火的碳纳米管吸附和解吸乙醇蒸汽时,碳纳米管电学特性的变化规律。把碳纳米管在真空下(<1Pa)进行高温(150℃)退火,对经过退火的碳纳米管在不同温度下,吸附和解吸乙醇蒸汽后电学特性的变化规律进行研究。实验结果表明,未经高温真空退火的碳纳米管电学特性表现出p型半导体特性,经过高温真空退火后,碳纳米管的电学特性变为n型半导体特性。 展开更多
关键词 碳纳米管 吸附 气体传感器 CVD
在线阅读 下载PDF
基于微悬臂梁结构的生化传感器 被引量：3
4
作者 黄钦文 陈大鹏 +3 位作者 叶甜春 欧毅 张青川 李凯 《电子工业专用设备》 2006年第1期36-38,共3页
微悬臂梁是一种结构简单、易于进行微加工以及大量生产的传感器结构。当分子吸附在微悬臂梁表面之后,微悬臂来的弯曲以及振荡频率都会发生变化,这使微悬臂梁在化学和生物的实时探测方面非常具有吸引力。采用光学方法探测微悬臂梁的偏转... 微悬臂梁是一种结构简单、易于进行微加工以及大量生产的传感器结构。当分子吸附在微悬臂梁表面之后,微悬臂来的弯曲以及振荡频率都会发生变化,这使微悬臂梁在化学和生物的实时探测方面非常具有吸引力。采用光学方法探测微悬臂梁的偏转;比较了不同的悬臂梁结构在流体中的稳定性以及不同结构的反光部分的反光效果,并将悬臂梁用于研究PNIPAM分子构象随温度的转变. 展开更多
关键词 微悬臂梁 传感器 表面应力
在线阅读 下载PDF
日本近年RF MEMS开关研究的进展 被引量：4
5
作者 景玉鹏 黄钦文 +7 位作者 石莎莉 焦斌斌 李超波 董立军 杨清华 欧毅 陈大鹏 叶甜春 《电子工业专用设备》 2006年第1期43-45,共3页
RFMEMS是射频表面微机械系统简称。射频表面微机械系统现在包括滤波器和微型电器元件,如开关,微可变电容和微可变电感。射频开关按驱动原理分有静电,压电,电磁以及热驱动。由于这一研究的高频化和高精度的特点,目前开关的研究集中在静... RFMEMS是射频表面微机械系统简称。射频表面微机械系统现在包括滤波器和微型电器元件,如开关,微可变电容和微可变电感。射频开关按驱动原理分有静电,压电,电磁以及热驱动。由于这一研究的高频化和高精度的特点,目前开关的研究集中在静电驱动的方式的研究上,从上市的产品来看,静电驱动是最有希望的RFMEMS的执行机构。静电执行器驱动的RFMEMS开关成为下一代高频通讯中的关键部件。 展开更多
关键词 射频表面微机械系统 高频开关 高频继电器
在线阅读 下载PDF
基于单晶硅梁的静电RF MEMS开关 被引量：3
6
作者 刘茂哲 景玉鹏 +6 位作者 李全宝 焦斌斌 黄钦文 李超波 欧毅 陈大鹏 叶甜春 《电子工业专用设备》 2007年第1期15-17,61,共4页
RFMEMS开关是低功耗、低损耗高频通讯电路和系统的关键部件,静电驱动RFMEMS开关因具有零直流功耗、开关时间短、结构简单、易集成的优点而成为研究热点,但是驱动电压高、薄膜应力变形严重、寿命短等问题制约了其发展,提出了一种基于单... RFMEMS开关是低功耗、低损耗高频通讯电路和系统的关键部件,静电驱动RFMEMS开关因具有零直流功耗、开关时间短、结构简单、易集成的优点而成为研究热点,但是驱动电压高、薄膜应力变形严重、寿命短等问题制约了其发展,提出了一种基于单晶硅梁的推拉式静电RFMEMS开关结构,能够解决静电RFMEMS现有的缺陷。 展开更多
关键词 射频微机械开关 单晶硅梁 静电驱动
在线阅读 下载PDF
MEMS中的薄膜制造技术 被引量：1
7
作者 董立军 陈大鹏 +6 位作者 欧毅 黄钦文 石莎莉 焦斌斌 李超波 杨清华 叶甜春 《电子工业专用设备》 2006年第1期39-42,共4页
追述了薄膜淀积技术的历史,按照制备手段对MEMS制造中使用的各种薄膜制造技术进行了大致的分类和对比,介绍了相应的理论研究概况,除了电镀技术之外,MEMS技术基本来自传统的IC制造工艺。
关键词 微机电系统 薄膜淀积 PVD CVD 电镀 物理淀积
在线阅读 下载PDF
微悬臂梁传感器及其在生化领域的应用 被引量：1
8
作者 朱清溢 李志刚 +2 位作者 欧毅 黄钦文 陈大鹏 《电子工业专用设备》 2008年第6期10-14,共5页
微悬臂梁传感器以其体积小、成本低、灵敏度高等优点在生物化学领域获得了广泛的研究和初步应用。详细阐述了微悬臂梁传感器的工作原理,包括其工作模式、读出技术、设计与制造等内容,并在此基础上对微悬臂梁传感器在生物化学领域的应用... 微悬臂梁传感器以其体积小、成本低、灵敏度高等优点在生物化学领域获得了广泛的研究和初步应用。详细阐述了微悬臂梁传感器的工作原理,包括其工作模式、读出技术、设计与制造等内容,并在此基础上对微悬臂梁传感器在生物化学领域的应用作了介绍。 展开更多
关键词 微悬臂梁 传感器 读出技术
在线阅读 下载PDF
应用于流动控制的MEMS传感器和执行器 被引量：2
9
作者 欧毅 白宏磊 +8 位作者 石莎莉 焦斌斌 李超波 黄钦文 董立军 景玉鹏 陈大鹏 叶甜春 申功 《电子工业专用设备》 2006年第1期25-27,62,共4页
出现于20世纪80年代后期的微机械技术可以制作出微米尺度的传感器和执行器。这些微器件与信号调节和处理电路集成后,组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统(MEMS)。这种性能为流动控制研究开辟了一个崭新的研究领域。利用MEMS技... 出现于20世纪80年代后期的微机械技术可以制作出微米尺度的传感器和执行器。这些微器件与信号调节和处理电路集成后,组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统(MEMS)。这种性能为流动控制研究开辟了一个崭新的研究领域。利用MEMS技术设计和制作了一种传感器和一种执行器。实验证明,采用体硅腐蚀的工艺制作微流体器件是可行的,同时可以避免牺牲层腐蚀和释放的复杂工艺。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 剪切应力传感器 射流执行器 流体
在线阅读 下载PDF
LNG燃料动力船舶发展前景 被引量：12
10
作者 罗明汉 莫斌珍 黄钦文 《中国船检》 2019年第1期58-62,共5页
目前,各国航运业纷纷探寻替代能源,LNG作为清洁低碳能源,显然可以在能源替代方面赢得先机,并在满足国际公约、国内标准要求的形势下迎来LNG燃料动力应用发展的新机遇。
关键词 LNG 发展前景 燃料 船舶 替代能源 能源替代 国际公约 国内标准
在线阅读 下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
关于我们 | 版权声明 | 联系我们 | 帮助中心| 意见反馈
主办单位：上海市教育委员会
技术支持：重庆维普资讯有限公司
渝公网安备 50019002500403号
使用帮助 返回顶部