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电沉积镍薄膜微观结构的动力学Monte Carlo模拟
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作者 黄跃宇 周益春 潘勇 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第14期71-74,共4页
采用动力学MonteCarlo方法模拟动力学控制条件下电沉积多晶镍薄膜的生长。研究了表面扩散对电镀薄膜微观结构的影响。模拟结果显示,溶液温度和沉积速率是2个非常重要的参数,它们能改变吸附原子的扩散能力,因而对薄膜的晶粒尺寸、相对密... 采用动力学MonteCarlo方法模拟动力学控制条件下电沉积多晶镍薄膜的生长。研究了表面扩散对电镀薄膜微观结构的影响。模拟结果显示,溶液温度和沉积速率是2个非常重要的参数,它们能改变吸附原子的扩散能力,因而对薄膜的晶粒尺寸、相对密度、表面粗糙度等微观结构产生显著影响。此外,还得到该模式下薄膜的生长因子,大约为0.46。 展开更多
关键词 动力学Monte CARLO模拟 电沉积 镍薄膜 微观结构
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