基于DTW算法的sEMG手势识别控制系统设计

1

作者 韩团军 雷栋元 +1 位作者 黄朝军 卢超 《现代电子技术》 北大核心 2025年第2期131-136,共6页

人体在运动过程中会产生微弱的生物电信号,其中蕴含着大量的控制信息。为了使用生物电信号中的信息控制机械臂动作,提出一种基于DTW算法的sEMG手势识别控制系统,利用该系统对采集的原始信号进行滤波和放大。为了确定有效的sEMG,采用移... 人体在运动过程中会产生微弱的生物电信号,其中蕴含着大量的控制信息。为了使用生物电信号中的信息控制机械臂动作,提出一种基于DTW算法的sEMG手势识别控制系统,利用该系统对采集的原始信号进行滤波和放大。为了确定有效的sEMG,采用移动平均法对处理信号进行划分。使用平均绝对值从数据片段中提取有效段数据,应用DTW算法将3路表面肌电信号融合,计算样本与模型之间的相似度,实现手势识别;再将识别后的信号通过无线模块发送到控制指令,以控制机械臂的动作;最后,采用提出的算法并结合6种类型的手势分类模型创建最佳特征模型。实验测试结果表明,使用动态时间规整(DTW)算法进行手势识别的平均准确率为93.752%,6种手势的平均模型匹配率达到92%,实现了肌电信号对机械臂的精确控制。由此证明所提方法的手势识别比传统的阈值控制开关更准确。 展开更多

关键词 手势识别 DTW算法 表面肌电图(sEMG) 特征提取 机械臂 手势检测

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基于四电极多频率扫描的生物阻抗法人体成分测试仪设计

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作者 韩团军 黄朝军 +2 位作者 卢超 王桂宝 刘武 《现代电子技术》 北大核心 2024年第12期45-51,共7页

生物阻抗包含丰富的人体病理和生理电信号,可以作为医务人员准确判断病人症状和治疗疾病的主要依据。基于此,提出一种基于Cole-Cole理论的人体多种参数测量系统。构建人体阻抗模型,通过碳纳米材料电极对人体阻抗进行采集分析,得到人体... 生物阻抗包含丰富的人体病理和生理电信号,可以作为医务人员准确判断病人症状和治疗疾病的主要依据。基于此,提出一种基于Cole-Cole理论的人体多种参数测量系统。构建人体阻抗模型,通过碳纳米材料电极对人体阻抗进行采集分析,得到人体的各种成分参数。通过信号发生电路产生注入人体的低频信号,利用幅度检测电路检测流经人体电流产生的电压,采用分段检测法测得人体不同分段的阻抗信息;信号经放大电路输入RT1052微处理器,对数据和人体成分参数相关性进行分析,得到人体各种成分参数并显示测量结果。通过对系统进行测试分析,得出所设计系统能够准确地对人体蛋白质、脂肪等参数进行测量,误差范围可以控制在5%以内,具有很好的应用前景。 展开更多

关键词 生物阻抗法 人体电抗 分段检测法 信号采集 多频率扫描 RT1052微处理器

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目标表面遮蔽函数参数的反演与BRDF统计建模的优化 被引量：7

3

作者 黄朝军 刘亚锋 +2 位作者 尹继武 孙彦清 龙姝明 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2010年第5期883-886,891,共5页

遮蔽函数是目标表面双向反射分布函数(BRDF)统计建模中的一个重要因子,工程应用中常将遮蔽函数中的参数取一组不变的经验值,这种近似具有一定优越性,适合一般工程应用。但对于不同材料,这种做法缺乏理论依据,不能准确反映材料表面的散... 遮蔽函数是目标表面双向反射分布函数(BRDF)统计建模中的一个重要因子,工程应用中常将遮蔽函数中的参数取一组不变的经验值,这种近似具有一定优越性,适合一般工程应用。但对于不同材料,这种做法缺乏理论依据,不能准确反映材料表面的散射特性,会给计算结果带来较大误差。利用目标表面CCD图像灰度图,结合图像处理,计算了像素的灰度梯度。通过遗传模拟退火算法反演出BRDF中遮蔽函数的参数,用反演得到的参数替换遮蔽函数中的经验参数计算水泥板表面的BRDF,并将拟合值和BRDF的实验值相比较,结果表明:随入射角增大,遮蔽函数参数取反演值时的BRDF比取经验值时的BRDF精度更高,为目标表面BRDF统计建模的优化提供了一种方法。 展开更多

关键词 遮蔽函数 BRDF 灰度梯度 反演

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利用DDA方法计算大气气溶胶粒子光学特性 被引量：10

4

作者 黄朝军 刘亚锋 +1 位作者 孙彦清 蒲忠虹 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第5期945-949,共5页

大气气溶胶是大气的重要组成部分,其光学特性是研究大气辐射传输特性的重要参量.本文基于DDA方法,对不同形状气溶胶粒子的光学特性进行计算,得到气溶胶粒子的消光因子、吸收因子随波长变化的数值结果.结合Muller散射矩阵,给出了气溶胶... 大气气溶胶是大气的重要组成部分,其光学特性是研究大气辐射传输特性的重要参量.本文基于DDA方法,对不同形状气溶胶粒子的光学特性进行计算,得到气溶胶粒子的消光因子、吸收因子随波长变化的数值结果.结合Muller散射矩阵,给出了气溶胶粒子散射强度和极化度的角分布,为研究大气辐射传输提供了有效的方法. 展开更多

关键词 大气气溶肢 光学特性 散射强度 极化度 DDA

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大气气溶胶粒子散射相函数的数值计算 被引量：11

5

作者 黄朝军 吴振森 +3 位作者 刘亚锋 史平 熊晓军 井敏英 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第3期580-585,共6页

大气气溶胶粒子作为大气电磁环境的重要组成成分之一,在紫外、可见到红外波段内严重影响电磁波的传输特性。散射相函数是研究气溶胶中电磁波传输特性的一个重要参量,依据粒子电磁散射理论,数值计算了球形和椭球形气溶胶粒子在红外波段... 大气气溶胶粒子作为大气电磁环境的重要组成成分之一,在紫外、可见到红外波段内严重影响电磁波的传输特性。散射相函数是研究气溶胶中电磁波传输特性的一个重要参量,依据粒子电磁散射理论,数值计算了球形和椭球形气溶胶粒子在红外波段给定波长入射时散射角余弦的一阶矩,给出了气溶胶粒子HG相函数和改进HG*相函数的数值结果,并将球形气溶胶粒子的这两种相函数和Mie散射相函数进行了对比。结果表明:随着波长的增加及气溶胶粒子尺寸参数的减小,HG*相函数能更好地体现红外波段气溶胶粒子的散射特性。相函数的准确计算可为研究气溶胶中红外激光的传输特性奠定基础。 展开更多

关键词 散射相函数 大气气溶胶 数值计算

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1.06μm激光气溶胶凝聚粒子散射特性 被引量：8

6

作者 黄朝军 吴振森 刘亚锋 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2013年第9期2353-2357,共5页

气溶胶是大气电磁环境中的重要组成部分,气溶胶粒子严重影响1.06μm激光的传输特性。单次散射反照率和不对称因子是研究气溶胶中激光传输特性的一个重要参量。基于CCA模型,模拟了由64个球形原始微粒凝聚而成的四种取向气溶胶凝聚粒子。... 气溶胶是大气电磁环境中的重要组成部分,气溶胶粒子严重影响1.06μm激光的传输特性。单次散射反照率和不对称因子是研究气溶胶中激光传输特性的一个重要参量。基于CCA模型,模拟了由64个球形原始微粒凝聚而成的四种取向气溶胶凝聚粒子。利用离散偶极子近似方法,数值计算了1.06μm激光入射情况下四种形状气溶胶凝聚粒子的单次散射反照率和不对称因子随入射角变化的值;并分析了尺寸参数对单次散射反照率和不对称因子的影响。结果显示:对于相同数目原始微粒的气溶胶凝聚粒子,其单次散射反照率和不对称因子明显依赖于入射光的入射角度和气溶胶凝聚粒子的形状;对于不同尺寸参数的气溶胶凝聚粒子,其单次散射反照率和不对称因子随尺寸参数的增大而增大,当尺寸参数大于3时,气溶胶凝聚粒子的散射主要集中于前向散射。 展开更多

关键词 气溶胶凝聚粒子 散射特性 单次散射反照率 不对称因子

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复合气溶胶粒子光学特性的数值计算 被引量：3

7

作者 黄朝军 吴振森 刘亚锋 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期1077-1081,共5页

大气气溶胶是地—气系统中的重要组成部分.气溶胶的光学参量是评估大气环境、研究气溶胶辐射气候效应的重要影响因子,也是研究大气激光传输特性的重要参量.根据物质的电结构,将复合气溶胶粒子离散为一系列偶极子,结合离散偶极子近似方法... 大气气溶胶是地—气系统中的重要组成部分.气溶胶的光学参量是评估大气环境、研究气溶胶辐射气候效应的重要影响因子,也是研究大气激光传输特性的重要参量.根据物质的电结构,将复合气溶胶粒子离散为一系列偶极子,结合离散偶极子近似方法,在获得每一个偶极子的电偶极矩之后,数值计算了球形、椭球形以及层状复合气溶胶粒子的消光截面、吸收截面和不对称因子等光学参量随波长变化的数值结果,并对比分析了椭球形状单一和复合气溶胶粒子光学参量的值.结果显示,入射光波长、气溶胶粒子的形状以及气溶胶粒子的成分都将影响气溶胶粒子的光学特性.研究结果可为大气光学、气溶胶气候辐射强迫效应、大气激光传输等与气溶胶粒子相关领域提供一种有效的研究方法和基础. 展开更多

关键词 复合气溶胶粒子 光学特性 数值计算

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随机取向气溶胶凝聚粒子光学特性研究 被引量：2

8

作者 黄朝军 刘亚锋 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第5期833-837,共5页

利用Cluster-cluster aggregation(CCA)模型,模拟了由64个球形原始微粒凝聚而成的四种随机取向气溶胶凝聚粒子.结合离散偶极子近似方法,分别得到了不同入射角和不同尺寸参数情况下气溶胶凝聚粒子的吸收、散射、消光效率因子和不对称因... 利用Cluster-cluster aggregation(CCA)模型,模拟了由64个球形原始微粒凝聚而成的四种随机取向气溶胶凝聚粒子.结合离散偶极子近似方法,分别得到了不同入射角和不同尺寸参数情况下气溶胶凝聚粒子的吸收、散射、消光效率因子和不对称因子的数值结果,并比较分析了四种形状气溶胶凝聚粒子吸收、散射、消光效率因子和不对称因子的差异.结果显示:对于相同数目原始微粒的气溶胶凝聚粒子,其光学特性明显依赖于入射光的入射角度和气溶胶凝聚粒子的形状;对于不同尺寸参数的气溶胶凝聚粒子,当入射光波长给定时,吸收、散射和消光效率因子最初随尺寸参数增大而快速增大,随后又随尺寸参数增大缓慢变小,但在尺寸参数变化过程中存在一个极大值;不对称因子则随尺寸参数的增大一直呈增大趋势,且随尺寸参数的增大趋近于1. 展开更多

关键词 气溶胶 凝聚粒子 效率因子 离散偶极子近似方法

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水泥板表面BRDF统计建模的优化与实现 被引量：2

9

作者 黄朝军 刘利梅 +2 位作者 王凤华 刘海波 刘全一 《陕西理工学院学报（自然科学版）》 2010年第1期71-74,共4页

分析了水泥板表面光散射的特点,结合图像处理方法计算了水泥板表面CCD图像像素的灰度梯度。通过遗传模拟退火算法反演出双向反射分布函数(BRDF)中遮蔽函数的参数,将反演的参数替换遮蔽函数中的经验参数计算水泥板表面的BRDF,并将拟合值... 分析了水泥板表面光散射的特点,结合图像处理方法计算了水泥板表面CCD图像像素的灰度梯度。通过遗传模拟退火算法反演出双向反射分布函数(BRDF)中遮蔽函数的参数,将反演的参数替换遮蔽函数中的经验参数计算水泥板表面的BRDF,并将拟合值和BRDF的实验值相比较,结果显示,随入射角增大遮蔽函数参数取反演值时的BRDF比取经验值时的BRDF精度更高,为目标表面BRDF统计建模的优化提供一种方法。 展开更多

关键词 双向反射分布函数 统计建模 灰度梯度 遗传模拟退火算法

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分形烟尘簇团粒子的消光特性研究 被引量：1

10

作者 黄朝军 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第1期143-148,共6页

根据物质的电结构,将烟尘簇团粒子离散为一系列的偶极子,利用离散偶极子近似方法,获得了不同波长电磁波入射情况下分形烟尘簇团粒子不对称因子、吸收和散射效率因子的值.结合偶极子在电磁场中的力学性质,分析了烟尘簇团粒子在外加电磁... 根据物质的电结构,将烟尘簇团粒子离散为一系列的偶极子,利用离散偶极子近似方法,获得了不同波长电磁波入射情况下分形烟尘簇团粒子不对称因子、吸收和散射效率因子的值.结合偶极子在电磁场中的力学性质,分析了烟尘簇团粒子在外加电磁场中所受的力和力矩,给出三种分形结构烟尘簇团粒子的电磁辐射压力及电磁辐射力矩效率因子随入射波波长变化的数值结果,分析了烟尘粒子对电磁能量吸收的宏观表现和微观机理.结果显示:入射波长、烟尘簇团粒子的分形维数及所含原始微粒数目都将影响烟尘粒子的消光特性. 展开更多

关键词 烟尘簇团粒子 消光特性 效率因子 电磁辐射

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目标探测中烟尘粒子对电磁信号的消光特性研究 被引量：1

11

作者 黄朝军 《装备环境工程》 CAS 2008年第2期12-15,共4页

基于离散偶极子近似方法,计算了烟尘粒子的光学特性,得到了烟尘粒子的光学截面随入射角的变化关系,结合Muller散射矩阵,给出了不同入射角情况下烟尘粒子散射强度和极化度的角分布,为研究电磁信号在烟尘中的传输提供了一种理论方法。

关键词 烟尘粒子 光学截面 散射强度 DDA

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多分散气溶胶凝聚粒子散射特性的数值计算

12

作者 黄朝军 吴振森 刘亚锋 《电波科学学报》 EI CSCD 北大核心 2014年第5期870-873,921,共5页

基于簇团-簇团(Cluster-Cluster Aggregation,CCA)模型,结合气溶胶谱分布函数,模拟了多分散气溶胶凝聚粒子.利用离散偶极子近似方法,数值计算了多分散气溶胶凝聚粒子散射强度的角分布,对比分析了多分散和单分散气溶胶凝聚粒子散射特性... 基于簇团-簇团(Cluster-Cluster Aggregation,CCA)模型,结合气溶胶谱分布函数,模拟了多分散气溶胶凝聚粒子.利用离散偶极子近似方法,数值计算了多分散气溶胶凝聚粒子散射强度的角分布,对比分析了多分散和单分散气溶胶凝聚粒子散射特性的差别,并讨论了散射强度随入射波波长和入射角变化的规律.结果显示:多分散和单分散气溶胶凝聚粒子的散射特性截然不同,凝聚粒子中原始微粒的粒径、入射波长、入射波的入射角等因素都将影响气溶胶粒子的散射特性.多分散凝聚粒子模型更接近实际气溶胶粒子,结果可为全面理解和研究气溶胶粒子散射特性提供参考和有效的计算方法. 展开更多

关键词 气溶胶凝聚粒子 散射特性 数值计算

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自适应局部邻域特征点提取和匹配的点云配准 被引量：27

13

作者 王明军 易芳 +1 位作者 李乐 黄朝军 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第5期421-430,共10页

点云配准是三维重建的关键技术之一。针对点云匹配中迭代最近点算法(ICP)速率低、对初始位置要求高的问题,提出了一种基于自适应局部邻域特征点提取和匹配的点云配准方法。首先根据局部表面变化因子与平均变化因子的大小关系,自适应地... 点云配准是三维重建的关键技术之一。针对点云匹配中迭代最近点算法(ICP)速率低、对初始位置要求高的问题,提出了一种基于自适应局部邻域特征点提取和匹配的点云配准方法。首先根据局部表面变化因子与平均变化因子的大小关系,自适应地提取特征点;其次利用快速点特征直方图(FPFH)综合描述每个特征点的局部信息,结合随机抽样一致性(RANSAC)算法实现粗配准;最后根据得到的初始变换矩阵和基于特征点的ICP算法实现精配准。对斯坦福数据集、含噪声的点云以及场景点云进行配准实验,实验结果表明:所提出的特征点提取算法能高效地提取点云的特征;相比于其他特征点检测方法,所提方法在粗配准中的配准精度和配准速度更高,且抗噪性能更好;与ICP算法相比,基于文中特征点的ICP算法在斯坦福数据集和场景点云中的配准速度提升了约10倍,在含噪声的点云中,能根据所提取的特征点高效地进行配准。该研究为提高三维重建和目标识别的匹配效率提供了一种高效的方法。 展开更多

关键词 三维重建 点云配准 迭代最近点算法 快速点特征直方图 自适应局部特征

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空间探测激光距离多普勒雷达系统原理设计 被引量：8

14

作者 姚进斌 王明军 +2 位作者 吴振森 黄朝军 王云强 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2006年第4期445-448,共4页

以激光距离多普勒成像雷达系统(LRDIR)能够提取空间目标激光散射信号特征,判断空间目标在轨运行姿态为应用背景,给出了激光距离多普勒成像激光雷达系统设计的一般原理,并指出系统重要组成部件,在信号检测过程中所起的作用。结合相关实... 以激光距离多普勒成像雷达系统(LRDIR)能够提取空间目标激光散射信号特征,判断空间目标在轨运行姿态为应用背景,给出了激光距离多普勒成像激光雷达系统设计的一般原理,并指出系统重要组成部件,在信号检测过程中所起的作用。结合相关实际测量材料的试验数据和器件性能参数,分析系统性能和各种干扰噪声,并计算系统在探测单元和探测阵列两种情况下,信噪比随探测距离和接收器口径的变化规律,为具体工程应用提供可靠的依据。 展开更多

关键词 激光散射特征 距离多普勒成像 激光雷达

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红外波段气溶胶粒子光学特性的数值计算 被引量：9

15

作者 刘亚锋 黄朝军 娄本浊 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第6期1605-1609,共5页

气溶胶是大气电磁环境中的重要组成部分,气溶胶粒子的光学特性是研究红外遥感、目标探测等激光传输特性的一个关键问题。依据粒子电磁散射理论,利用离散偶极子近似方法对不同形状、不同成分气溶胶粒子的光学特性进行计算,得到气溶胶粒... 气溶胶是大气电磁环境中的重要组成部分,气溶胶粒子的光学特性是研究红外遥感、目标探测等激光传输特性的一个关键问题。依据粒子电磁散射理论,利用离散偶极子近似方法对不同形状、不同成分气溶胶粒子的光学特性进行计算,得到气溶胶粒子散射截面、吸收截面及不对称因子等光学特征量在0.71～11μm波段的数值结果。结果显示:入射光波长、气溶胶粒子折射率及气溶胶粒子形状是影响气溶胶粒子光学特性的主要因素。散射截面、吸收截面及不对称因子等光学特征量的数值结果也为研究气溶胶中红外激光的传输特性提供了参考依据和计算方法。 展开更多

关键词 大气气溶胶 光学特性 离散偶极子近似方法 数值计算

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基于电离层暴时f0F2经验模型Kalman滤波短期预报 被引量：4

16

作者 徐彤 吴健 +3 位作者 吴振森 黄朝军 韦国晖 冯健 《空间科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期202-207,共6页

利用时间累积地磁指数ap(T),建立了强地磁扰动条件下电离层f_0F_2与月中值相对偏差经验模型.该经验模型只在春秋季节和夏季特强地磁扰动条件ap(T)>100,即时间累积地磁指数大于100时达到理想精度.尝试利用气象预报中常用的Kalman滤波... 利用时间累积地磁指数ap(T),建立了强地磁扰动条件下电离层f_0F_2与月中值相对偏差经验模型.该经验模型只在春秋季节和夏季特强地磁扰动条件ap(T)>100,即时间累积地磁指数大于100时达到理想精度.尝试利用气象预报中常用的Kalman滤波方法对模型的系数进行实时修正,以提高预报精度,并对长春站1986—1995年近一个太阳周f_0F_2数据进行提前一小时预报试验.冬季预报均方根误差为0.76 MHz,春秋季节为0.68MHz,夏季为0.61 MHz.在特强地磁扰动条件下,预测误差在0.87～1.43MHz之间.该预报方法同时与包含暴时修正模型STORM的国际参考电离层IRI2001进行了比较,展示了Kalman滤波方法实时修正模型系数的能力和良好的应用前景. 展开更多

关键词 电离层暴 磁暴 KALMAN滤波 短期预报

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串联锂电池组的分断式均衡与充电控制 被引量：2

17

作者 黄朝军 何志毅 《电子技术应用》 北大核心 2014年第5期55-58,共4页

针对串联锂电池组各串容量可能不一致的问题,提出一种对容量较低一串电池分断的方式来达到电量均衡,以克服常用的电量转移方式中各串电池之间充放电所带来的能量损耗和电池寿命损失。工作过程中单片机通过分压电阻网络检测各串电池电压... 针对串联锂电池组各串容量可能不一致的问题,提出一种对容量较低一串电池分断的方式来达到电量均衡,以克服常用的电量转移方式中各串电池之间充放电所带来的能量损耗和电池寿命损失。工作过程中单片机通过分压电阻网络检测各串电池电压以判断其容量并进行相应的控制。充电过程中对某串电池分断或重新串接时,借助现有的DC电源线向充电器发送脉冲电流调制信号,调节充电器的输出电压以适应锂电池串接数目的改变。 展开更多

关键词 锂电池组 串联 均衡 电源管理 智能充电

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紫外光表面处理对ZnO纳米粒子的晶体结构与光学性质的影响 被引量：5

18

作者 付奎 娄本浊 +2 位作者 孙彦清 黄朝军 徐晖 《原子与分子物理学报》 北大核心 2017年第2期334-338,共5页

利用溶胶凝胶法制备了ZnO纳米粒子,用紫外光照射对其进行表面处理.探讨了表面处理对ZnO纳米粒子晶体结构与光学性质的影响.结果显示:在晶体结构方面,紫外光照射会降低ZnO纳米粒子的团聚现象,缩短晶格常数,使其所受应力由压缩应力释放变... 利用溶胶凝胶法制备了ZnO纳米粒子,用紫外光照射对其进行表面处理.探讨了表面处理对ZnO纳米粒子晶体结构与光学性质的影响.结果显示:在晶体结构方面,紫外光照射会降低ZnO纳米粒子的团聚现象,缩短晶格常数,使其所受应力由压缩应力释放变为伸张应力,增大表面能,使能量最佳化并稳定而导致ZnO纳米粒子形成再构.在光学性质方面,紫外光照射会使ZnO纳米粒子表面产生较多的氧空位,而氧空位又会使其表面容易吸附羟基,使得ZnO纳米粒子变得更加亲水. 展开更多

关键词 ZNO纳米粒子 紫外光表面处理 晶体结构 光学性质 溶胶凝胶法

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均匀微弱电场对带电费米子体系热容量和化学势的影响 被引量：2

19

作者 孙彦清 龙姝明 +1 位作者 黄朝军 娄本浊 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第6期1200-1204,共5页

从统计物理半经典(Thomas-Fermi)近似方法出发,研究均匀微弱电场中带电费米子体系的热力学性质,推导出了带电费米子体系的热容量和化学势随外电场场强的变化关系,给出了体系的热容量和化学势在高温和低温近似下的解析表达式,进而分析了... 从统计物理半经典(Thomas-Fermi)近似方法出发,研究均匀微弱电场中带电费米子体系的热力学性质,推导出了带电费米子体系的热容量和化学势随外电场场强的变化关系,给出了体系的热容量和化学势在高温和低温近似下的解析表达式,进而分析了均匀微弱电场对带电费米子体系热容量和化学势的影响. 展开更多

关键词 带电费米子 热容量 化学势 均匀弱电场

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磁控溅镀法制备Al掺杂ZnO薄膜的特性分析 被引量：2

20

作者 孙彦清 娄本浊 黄朝军 《原子与分子物理学报》 CAS 北大核心 2019年第3期485-490,共6页

以射频磁控溅镀法在柔性聚碳酸酯基板上成长Al掺杂ZnO薄膜,利用XRD、AES、霍尔效应测试仪及单色分光计测量分析Al靶功率对薄膜光电特性的影响.XRD分析表明所有薄膜的衍射峰皆以(002)面为主,Al靶功率为25 W时(002)面衍射峰强度最大,此时... 以射频磁控溅镀法在柔性聚碳酸酯基板上成长Al掺杂ZnO薄膜,利用XRD、AES、霍尔效应测试仪及单色分光计测量分析Al靶功率对薄膜光电特性的影响.XRD分析表明所有薄膜的衍射峰皆以(002)面为主,Al靶功率为25 W时(002)面衍射峰强度最大,此时薄膜结晶性最佳;AES分析表明随着Al靶功率的增大,Al含量由0 at.%增至18.01 at.%,Zn含量则由72.51 at.%降至38.39 at.%,而O含量没有太大变化,这说明Al可以取代ZnO中Zn的位置;霍尔效应测量表明Al靶功率为25 W时电阻率最小,约为7.75×10^-4Ω·cm,而载子浓度及其迁移率则达到最大,分别约为9.35×10^20 cm^-3与8.64 cm^2/(V·s);分光计测量表明薄膜在可见光区的平均透射率可约达90%以上,说明本研究制备的Al掺杂ZnO薄膜是具有高透射率的透明导电薄膜. 展开更多

关键词 透明导电薄膜 ZNO薄膜 AL掺杂 柔性基板 射频磁控溅镀 光电特性

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