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薄膜晶体管a－Si：H／a－SiN_x界面研究 被引量：3
1
作者 胡宇飞 孙剑 +2 位作者 钟伯强 黄慈祥 潘惠英 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1996年第1期183-187,共5页
对比ａ－Ｓｉ：Ｈ／ａ－ＳｉＮｘ界面附近ａ－Ｓｉ：Ｈ和体材料ａ－Ｓｉ：Ｈ的光致发光谱（ＰＬ）发现：随着ＳｉＮｘ中ｘ的增大，ＰＬ峰值向低能方向移动，相对发光强度减小。这是因为由于氮含量的增加，界面晶格不匹配加剧，导致悬挂... 对比ａ－Ｓｉ：Ｈ／ａ－ＳｉＮｘ界面附近ａ－Ｓｉ：Ｈ和体材料ａ－Ｓｉ：Ｈ的光致发光谱（ＰＬ）发现：随着ＳｉＮｘ中ｘ的增大，ＰＬ峰值向低能方向移动，相对发光强度减小。这是因为由于氮含量的增加，界面晶格不匹配加剧，导致悬挂键密度增多和深能级隙态密度增加。该观点得到Ｃ－Ｖ测试结果的证实。 展开更多
关键词 界面 薄膜晶体管 非晶硅 氮化硅
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a-Si∶H pin二极管的光敏特性
2
作者 吴道怀 陈志强 +2 位作者 蓬蓉 黄慈祥 仇萍生 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1991年第1期81-84,共4页
本文报道玻璃衬底 a-Si∶H pin 二极管的制备与光敏特性及其有关的测试装置和方法。该二极管在可见光区域响应度高、线性度好、响应速度快。该二极管配上滤色片能用作色敏二极管。这种 a-Si∶H pin 二极管能鉴别可见区域内光的强度与“... 本文报道玻璃衬底 a-Si∶H pin 二极管的制备与光敏特性及其有关的测试装置和方法。该二极管在可见光区域响应度高、线性度好、响应速度快。该二极管配上滤色片能用作色敏二极管。这种 a-Si∶H pin 二极管能鉴别可见区域内光的强度与“色”,是很有希望的光敏二极管。 展开更多
关键词 A-SI:H 光敏二极管 二极管 光敏性
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