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题名基于磁致伸缩多层膜的磁声表面波传感器
被引量：2
- 1
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作者
刘力
刘国
刘婉
鲁亚巍
白飞明
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机构
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
电子信息控制重点实验室
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出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2019年第3期335-339,343,共6页
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基金
国家自然科学基金资助项目(61871081)
电子信息控制重点实验室基金资助项目
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文摘
研究了一种基于FeCoSiB/SiO 2多层膜的磁声表面波(MSAW)传感器,其中FeCoSiB/SiO 2 多层膜制备在石英声表面波(SAW)谐振器上。在外加磁场发生变化时,FeCoSiB/SiO 2 多层膜通过巨杨氏模量效应影响压电衬底表层的相速度,进而改变SAW的谐振频率。通过设计和优化磁致伸缩多薄膜的结构和软磁性能,不仅获得磁致伸缩层总厚度与谐振器品质因数的关系,而且成功使磁敏传感器的灵敏度(Δ f/H ,即施加单位磁场时的谐振频率的变化量)提升了2个数量级,达到419 Hz/μT。在此基础下,探讨了Δ f - H 曲线在难、易轴方向表现出蝴蝶型和回线型特性的机理。由于该传感器具有很高的磁场灵敏度和良好的方向选择性,在微弱磁场(如地磁场)检测领域将具有极高的实用价值。
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关键词
磁传感器
软磁薄膜
杨氏模量效应
各向异性
声表面传感器
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Keywords
magnetic sensor
soft magnetic film
Young’s modulus effect
anisotropy
surface acoustic wave sensor
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分类号
TN65
[电子电信—电路与系统]
TN384
[电子电信—物理电子学]
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题名基于柔性衬底的磁声表面波谐振器
被引量：1
- 2
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作者
刘婉
鲁亚巍
胡文彬
白飞明
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机构
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2020年第4期439-443,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(61871081)。
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文摘
针对在柔性衬底上制备非晶软磁薄膜的技术难题,该文研究并制作了一种基于柔性聚酰亚胺(PI)衬底的磁声表面波(MSAW)谐振器。通过在柔性PI衬底上溅射沉积了非晶FeCoSiB磁致伸缩薄膜和ScAlN压电薄膜,光刻制备了叉指电极,并形成IDT/ScAlN/FeCoSiB/PI层状结构,成功获得了柔性MSAW谐振器。采用X线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)分析了薄膜的结构和表面形貌及利用振动样品磁强计(VSM)和短路微带线法测试了FeCoSiB薄膜的静态磁性和高频磁谱特性,最后在探针台上利用矢量网络分析仪对器件进行测试,并与COMSOL仿真结果进行对比。实验结果表明,该MSAW器件有两个谐振峰,其中瑞利波出现在28.32 MHz,兰姆波出现在93.69 MHz。
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关键词
柔性电子
声表面波
磁电复合薄膜
磁场传感器
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Keywords
flexible electronics
acoustic surface wave
magnetoelectric composite film
magnetic field sensor
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分类号
TN65
[电子电信—电路与系统]
TN384
[电子电信—物理电子学]
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