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电介质表面金属功能图案激光加工技术研究进展
1
作者
肖荣诗
魏佳硕
+1 位作者
崔梦雅
黄婷
《航空制造技术》
北大核心
2025年第1期22-35,共14页
电介质表面金属功能图案在航空航天、消费电子、柔性传感等领域的需求日益增长。激光加工作为一种无需掩膜的柔性制造技术,具有加工精度高、非接触式加工、制造效率高等优点,可以在多种电介质表面实现金属功能图案的直接制造,近年来发...
电介质表面金属功能图案在航空航天、消费电子、柔性传感等领域的需求日益增长。激光加工作为一种无需掩膜的柔性制造技术,具有加工精度高、非接触式加工、制造效率高等优点,可以在多种电介质表面实现金属功能图案的直接制造,近年来发展迅速。按照自上而下和自下而上的技术路线,分别概述激光刻蚀、选择性激光烧结、脉冲激光沉积、激光诱导化学液相沉积、激光诱导化学气相沉积、激光辅助化学镀6种激光加工技术的原理和优势,及它们在电介质表面加工金属功能图案的最新研究进展,并总结相应的技术瓶颈和未来发展趋势。
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关键词
激光加工
金属功能图案
激光刻蚀
选择性激光烧结(SLS)
脉冲激光沉积(PLD)
激光诱导化学液相沉积(LCLD)
激光诱导化学气相沉积(LCVD)
激光辅助化学镀(LEP)
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职称材料
题名
电介质表面金属功能图案激光加工技术研究进展
1
作者
肖荣诗
魏佳硕
崔梦雅
黄婷
机构
北京工业大学材料科学与工程学院
北京工业大学物理与光电工程学院
出处
《航空制造技术》
北大核心
2025年第1期22-35,共14页
基金
国家重点研发计划(2022YFB4602700)
北京市自然科学基金青年项目(2244087)。
文摘
电介质表面金属功能图案在航空航天、消费电子、柔性传感等领域的需求日益增长。激光加工作为一种无需掩膜的柔性制造技术,具有加工精度高、非接触式加工、制造效率高等优点,可以在多种电介质表面实现金属功能图案的直接制造,近年来发展迅速。按照自上而下和自下而上的技术路线,分别概述激光刻蚀、选择性激光烧结、脉冲激光沉积、激光诱导化学液相沉积、激光诱导化学气相沉积、激光辅助化学镀6种激光加工技术的原理和优势,及它们在电介质表面加工金属功能图案的最新研究进展,并总结相应的技术瓶颈和未来发展趋势。
关键词
激光加工
金属功能图案
激光刻蚀
选择性激光烧结(SLS)
脉冲激光沉积(PLD)
激光诱导化学液相沉积(LCLD)
激光诱导化学气相沉积(LCVD)
激光辅助化学镀(LEP)
Keywords
Laser processing
Functional metal patterning
Laser ablation,Selective laser sintering(SLS)
Pulsed laser deposition(PLD)
Laser-induced chemical liquid deposition(LCLD)
Laser-induced chemical vapor deposition(LCVD)
Laser-assisted electroless plating(LEP)
分类号
TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电介质表面金属功能图案激光加工技术研究进展
肖荣诗
魏佳硕
崔梦雅
黄婷
《航空制造技术》
北大核心
2025
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