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机械刻划长焦距凹面金属光栅的研制被引量：18: 1; 作者巴音贺希格高键翔齐向东《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期391-395,共5页; 对大曲率半径(即长焦距)金属基底凹面光栅的机械刻划技术做了研究。为了刻制长焦距凹面光栅,设计和研制了弹性顶针式光栅刻划刀刀架,它具有适用于刻划平面光栅和长焦距凹面光栅的双重功能。给出了描述光栅刻划刀圆弧形刀刃曲率半径与凹... 展开更多; 关键词红外激光凹面光栅光栅刻划刀刀架结构; 在线阅读下载PDF 职称材料

大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计被引量：5: 2; 作者糜小涛于宏柱 +3 位作者高键翔于海利张善文齐向东《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期473-480,共8页; 针对衍射光栅刻划机开环控制的定位精度不能满足指标要求的问题,在刻划机已有的状态和结构下,设计了微定位系统的控制器。首先,介绍了衍射光栅刻划机,分析了微定位系统及其定位精度指标。然后,运用系统辨识的方法,设计了微定位系统的扫... 展开更多; 关键词微定位系统控制器设计数学模型定位精度; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于单压电执行器的光栅刻线摆角修正被引量：3: 3; 作者李晓天齐向东 +3 位作者于海利高键翔冯树龙巴音贺希格《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第8期2039-2046,共8页; 考虑机械刻划光栅刻线摆角对平面光栅衍射波前质量的影响,本文根据光栅机械刻划过程的特点,提出了一种单压电执行器调节方法。该方法可通过不断调节微定位工作台位移,实时修正工作台摆角导致的光栅刻线摆角误差。首先,推导出了微定位工... 展开更多; 关键词平面光栅光栅刻线摆角修正衍射波前压电执行器; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于精密刻划及薄膜沉积技术的光盘分束光栅研制: 4; 作者吴娜张善文 +3 位作者宋可平巴音贺希格齐向东高键翔《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第7期1497-1501,共5页; 给出了采用光栅刻划和镀膜技术相结合研制光盘分束光栅的方法。采用光栅刻划机在金属膜上刻制占宽比为0.5的黑白光栅,并由黑白光栅翻制出制作光盘分束光栅的掩模版。通过掩模版对涂覆在K9玻璃基底上的光刻胶实施曝光和显影形成光刻胶矩... 展开更多; 关键词光学头分束光栅精密刻划镀膜技术加工工艺; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名机械刻划长焦距凹面金属光栅的研制被引量：18: 1; 作者巴音贺希格高键翔齐向东; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期391-395,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(No.60478034); 文摘对大曲率半径(即长焦距)金属基底凹面光栅的机械刻划技术做了研究。为了刻制长焦距凹面光栅,设计和研制了弹性顶针式光栅刻划刀刀架,它具有适用于刻划平面光栅和长焦距凹面光栅的双重功能。给出了描述光栅刻划刀圆弧形刀刃曲率半径与凹面光栅曲率半径、光栅口径、金刚石刀头横向尺寸之间关系的数学表达式,理论分析了光栅刻划刀圆弧形刀刃曲率半径的取值范围,研制了10.6μm激光系统用曲率半径为30 m的凹面金属光栅。检验结果表明,光栅的槽形质量较好,光栅的衍射效率可达96.8%以上。; 关键词红外激光凹面光栅光栅刻划刀刀架结构; Keywords IR laser concave grating ruling tool for grating cutter frame structure; 分类号 O436.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计被引量：5: 2; 作者糜小涛于宏柱高键翔于海利张善文齐向东; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期473-480,共8页; 基金国家重大科研装备研制项目(ZBY2008-1) 国家重点基础研究发展计划项目(2014CB049500) +1 种基金长春市科技计划项目(Y3B43HU140)资助; 文摘针对衍射光栅刻划机开环控制的定位精度不能满足指标要求的问题,在刻划机已有的状态和结构下,设计了微定位系统的控制器。首先,介绍了衍射光栅刻划机,分析了微定位系统及其定位精度指标。然后,运用系统辨识的方法,设计了微定位系统的扫频实验,建立其数学模型。接着,提出了在已有数学模型的基础上,运用实际测量数据和MATLAB/Simulink软件仿真试凑来设计控制器的方法,并设计了满足精度指标要求的控制器。最后,将设计的控制器应用于微定位系统并进行模拟刻划实验,实验结果可知:所设计的微定位系统控制器定位精度基本满足指标要求,其中峰-峰值小于40 nm,RSM值总体略大于2.8 nm。; 关键词微定位系统控制器设计数学模型定位精度; Keywords micro-positioning system controller design mathematical model positioning accuracy; 分类号 TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TH113.2 [机械工程—机械设计及理论]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于单压电执行器的光栅刻线摆角修正被引量：3: 3; 作者李晓天齐向东于海利高键翔冯树龙巴音贺希格; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第8期2039-2046,共8页; 基金国家自然科学基金资助项目(No.60478034) 国家创新方法工作专项资助项目(No.2008IM040700) +2 种基金吉林省重大科技攻关项目(No.09ZDGG005); 文摘考虑机械刻划光栅刻线摆角对平面光栅衍射波前质量的影响,本文根据光栅机械刻划过程的特点,提出了一种单压电执行器调节方法。该方法可通过不断调节微定位工作台位移,实时修正工作台摆角导致的光栅刻线摆角误差。首先,推导出了微定位工作台位移实时修正公式。接着,采用三路干涉仪实现了微定位工作台摆角测量及其主要成分分析。最后,进行了光栅刻线摆角放大和校正实验。结果显示,摆角放大和摆角校正实验已基本达到了预期的效果,对光栅宽度为10.4mm且刻线密度为600line/mm的光栅进行修正后,光栅刻线摆角比校正前降低了64%以上。这些结果表明:采用单压电执行器方法对光栅刻线摆角进行实时修正可有效降低光栅刻线摆角,提高光栅质量;该方法可应用于大面积机械刻划光栅刻线摆角的修正。; 关键词平面光栅光栅刻线摆角修正衍射波前压电执行器; Keywords plane grating grating line yaw-angle correction diffraction wavefront piezoelectric actuator; 分类号 O436.1 [机械工程—光学工程] TN305.7 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于精密刻划及薄膜沉积技术的光盘分束光栅研制: 4; 作者吴娜张善文宋可平巴音贺希格齐向东高键翔; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院研究生院清华大学精密仪器与机械学院; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第7期1497-1501,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(No.60478034) "十一五"国家科技支撑计划重大项目(No.2006BAK03A02) +4 种基金 No.20086013); 文摘给出了采用光栅刻划和镀膜技术相结合研制光盘分束光栅的方法。采用光栅刻划机在金属膜上刻制占宽比为0.5的黑白光栅,并由黑白光栅翻制出制作光盘分束光栅的掩模版。通过掩模版对涂覆在K9玻璃基底上的光刻胶实施曝光和显影形成光刻胶矩形浮雕光栅,在理论设计的误差允许范围内,对此浮雕光栅沉积SiO2薄膜,去除残余光刻胶后得到SiO2矩形光栅母版,再经复制工艺制作了环氧树脂光盘分束光栅。测试结果表明,利用光盘分束光栅的纵向和横向加工误差的互补性,可以将光栅辅助光束与读写主光束强度之比的误差控制在±0.03之内。; 关键词光学头分束光栅精密刻划镀膜技术加工工艺; Keywords optical pick-up head light splitting grating precision ruling thin film deposition technol ogy manufacturing technology; 分类号 O436.1 [机械工程—光学工程] TN305.7 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	机械刻划长焦距凹面金属光栅的研制	巴音贺希格高键翔齐向东	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2006	18	在线阅读下载PDF 职称材料
2	大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计	糜小涛于宏柱高键翔于海利张善文齐向东	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2015	5	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于单压电执行器的光栅刻线摆角修正	李晓天齐向东于海利高键翔冯树龙巴音贺希格	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2014	3	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于精密刻划及薄膜沉积技术的光盘分束光栅研制	吴娜张善文宋可平巴音贺希格齐向东高键翔	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	0	在线阅读下载PDF 职称材料