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热丝CVD法制备大面积高质量金刚石薄膜
1
作者
程彬吉
杨国文
+2 位作者
陈继平
高德耀
袁凤池
《矿冶工程》
CAS
CSCD
北大核心
1999年第2期63-65,共3页
采用热丝ＣＶＤ设备与工艺，在直径为４１ｍｍ的单晶硅基体上，以丙酮为碳源，在高纯Ｈ２的作用下，成功地合成了（１１１）取向的高质量金刚石大膜。Ｘ射线、ＳＥＭ和拉曼光谱分析表明，所合成金刚石大膜的纯度高、厚度均匀、化学性能...
采用热丝ＣＶＤ设备与工艺，在直径为４１ｍｍ的单晶硅基体上，以丙酮为碳源，在高纯Ｈ２的作用下，成功地合成了（１１１）取向的高质量金刚石大膜。Ｘ射线、ＳＥＭ和拉曼光谱分析表明，所合成金刚石大膜的纯度高、厚度均匀、化学性能稳定，其结构和性能与天然金刚石的十分接近。
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关键词
金刚石薄膜
CVD
制备
薄膜
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职称材料
曹植的动物赋
被引量：
1
2
作者
高德耀
《文史哲》
CSSCI
北大核心
1990年第5期44-48,共5页
曹植描写动物的赋作主要包括《神龟赋》、《白鹤赋》、《蝉赋》、《鹦鹉赋》、《鹖赋》、《离缴雁赋》、《鹞雀赋》和《蝙蝠赋》等。
关键词
曹植
象征
喻依
拟人化
鹦鹉赋
动物
意念
咏物赋
作品
五官
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职称材料
题名
热丝CVD法制备大面积高质量金刚石薄膜
1
作者
程彬吉
杨国文
陈继平
高德耀
袁凤池
机构
长沙矿冶研究院材料研究所
出处
《矿冶工程》
CAS
CSCD
北大核心
1999年第2期63-65,共3页
文摘
采用热丝ＣＶＤ设备与工艺，在直径为４１ｍｍ的单晶硅基体上，以丙酮为碳源，在高纯Ｈ２的作用下，成功地合成了（１１１）取向的高质量金刚石大膜。Ｘ射线、ＳＥＭ和拉曼光谱分析表明，所合成金刚石大膜的纯度高、厚度均匀、化学性能稳定，其结构和性能与天然金刚石的十分接近。
关键词
金刚石薄膜
CVD
制备
薄膜
Keywords
chemical vapour deposition
hotfilament CVD
diamond films
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
曹植的动物赋
被引量：
1
2
作者
高德耀
出处
《文史哲》
CSSCI
北大核心
1990年第5期44-48,共5页
文摘
曹植描写动物的赋作主要包括《神龟赋》、《白鹤赋》、《蝉赋》、《鹦鹉赋》、《鹖赋》、《离缴雁赋》、《鹞雀赋》和《蝙蝠赋》等。
关键词
曹植
象征
喻依
拟人化
鹦鹉赋
动物
意念
咏物赋
作品
五官
分类号
C55 [社会学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
热丝CVD法制备大面积高质量金刚石薄膜
程彬吉
杨国文
陈继平
高德耀
袁凤池
《矿冶工程》
CAS
CSCD
北大核心
1999
0
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职称材料
2
曹植的动物赋
高德耀
《文史哲》
CSSCI
北大核心
1990
1
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职称材料
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