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溶胶凝胶法制备以Al_2O_3为界面修饰层的铪铟锌氧薄膜晶体管
被引量：
3
1
作者
高娅娜
许云龙
+1 位作者
张建华
李喜峰
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第1期50-55,共6页
利用溶液法制备了以HfSiOx为绝缘层、HfInZnO为有源层、Al_2O_3为界面修饰层的TFT器件。HfSiOx薄膜经Al_2O_3薄膜修饰后,薄膜表面粗糙度从0.24nm降低至0.16nm。Al2O3薄膜与HfSiOx薄膜之间的界面接触良好,以Al_2O_3为界面修饰层的TFT器...
利用溶液法制备了以HfSiOx为绝缘层、HfInZnO为有源层、Al_2O_3为界面修饰层的TFT器件。HfSiOx薄膜经Al_2O_3薄膜修饰后,薄膜表面粗糙度从0.24nm降低至0.16nm。Al2O3薄膜与HfSiOx薄膜之间的界面接触良好,以Al_2O_3为界面修饰层的TFT器件整体性能得到提升,具体表现为:栅极电压正向和反向扫描过程中产生的阈值电压漂移显著减小,器件的阈值电压和亚阈值摆幅降低,迁移率与开关比增大。研究证明,溶液法制备Al_2O_3薄膜适合作为改善器件性能的界面修饰层。
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关键词
溶液法
薄膜晶体管
界面修饰层Al2O3
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职称材料
粗糙阴极气体火花开关性能的理论研究
被引量：
1
2
作者
吕志忠
吕治辉
+2 位作者
高娅娜
钟功祥
蒋发光
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期1359-1363,共5页
提出了粗糙阴极的气体火花开关击穿模型,通过粗糙层厚度和场强增强系数对阴极粗糙度进行了描述,利用概率论研究开关的击穿情况,分析了气体压强对粗糙阴极气体火花开关稳定性、击穿场强随气压的变化曲线以及开关绝缘恢复速度的影响,研究...
提出了粗糙阴极的气体火花开关击穿模型,通过粗糙层厚度和场强增强系数对阴极粗糙度进行了描述,利用概率论研究开关的击穿情况,分析了气体压强对粗糙阴极气体火花开关稳定性、击穿场强随气压的变化曲线以及开关绝缘恢复速度的影响,研究发现当阴极相对于电子平均自由程足够粗糙时,开关具有最佳的稳定性,当阴极粗糙结构尺度与电子平均自由程相当时,开关具有最佳的绝缘恢复特性。
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关键词
气体火花开关
粗糙度
击穿概率
稳定性
重复频率特性
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职称材料
题名
溶胶凝胶法制备以Al_2O_3为界面修饰层的铪铟锌氧薄膜晶体管
被引量：
3
1
作者
高娅娜
许云龙
张建华
李喜峰
机构
上海大学材料科学与工程学院
上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室
出处
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第1期50-55,共6页
基金
国家高技术研究发展计划(863)(2015AA033406)
广东省省级科技计划(2015B090915001)
上海科学技术委员会项目(13520500200)资助
文摘
利用溶液法制备了以HfSiOx为绝缘层、HfInZnO为有源层、Al_2O_3为界面修饰层的TFT器件。HfSiOx薄膜经Al_2O_3薄膜修饰后,薄膜表面粗糙度从0.24nm降低至0.16nm。Al2O3薄膜与HfSiOx薄膜之间的界面接触良好,以Al_2O_3为界面修饰层的TFT器件整体性能得到提升,具体表现为:栅极电压正向和反向扫描过程中产生的阈值电压漂移显著减小,器件的阈值电压和亚阈值摆幅降低,迁移率与开关比增大。研究证明,溶液法制备Al_2O_3薄膜适合作为改善器件性能的界面修饰层。
关键词
溶液法
薄膜晶体管
界面修饰层Al2O3
Keywords
solution process
thin film transistors
modification layer Al2O3
分类号
TN321.5 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
粗糙阴极气体火花开关性能的理论研究
被引量：
1
2
作者
吕志忠
吕治辉
高娅娜
钟功祥
蒋发光
机构
西南石油大学机电学院
国防科学技术大学理学院
湖南稀土金属材料研究院
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期1359-1363,共5页
基金
西南石油大学"石油天然气装备"教育部重点实验室基金资助课题
文摘
提出了粗糙阴极的气体火花开关击穿模型,通过粗糙层厚度和场强增强系数对阴极粗糙度进行了描述,利用概率论研究开关的击穿情况,分析了气体压强对粗糙阴极气体火花开关稳定性、击穿场强随气压的变化曲线以及开关绝缘恢复速度的影响,研究发现当阴极相对于电子平均自由程足够粗糙时,开关具有最佳的稳定性,当阴极粗糙结构尺度与电子平均自由程相当时,开关具有最佳的绝缘恢复特性。
关键词
气体火花开关
粗糙度
击穿概率
稳定性
重复频率特性
Keywords
spark gap switch
roughness
breakdown probability
stability
repetition property
分类号
TN242 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
溶胶凝胶法制备以Al_2O_3为界面修饰层的铪铟锌氧薄膜晶体管
高娅娜
许云龙
张建华
李喜峰
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
3
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职称材料
2
粗糙阴极气体火花开关性能的理论研究
吕志忠
吕治辉
高娅娜
钟功祥
蒋发光
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
1
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职称材料
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