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基于DOE策略的多层薄膜残余应力对太赫兹微桥形变的影响
被引量：
1
1
作者
郑兴
刘子骥
+4 位作者
顾德恩
苟君
马家锋
黎威志
吴志明
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第3期326-331,共6页
桥面多层膜系残余应力匹配是消除太赫兹微测辐射热计微桥结构形变的重要手段.仿真建立了像元尺寸为35μm×35μm微桥单元有限元模型.基于实验设计(DOE)正交法,采用IntelliSuite软件进行应力仿真,获得支撑层、钝化层、电极层、热敏...
桥面多层膜系残余应力匹配是消除太赫兹微测辐射热计微桥结构形变的重要手段.仿真建立了像元尺寸为35μm×35μm微桥单元有限元模型.基于实验设计(DOE)正交法,采用IntelliSuite软件进行应力仿真,获得支撑层、钝化层、电极层、热敏层、吸收层应力分别为+200 Mpa、+200 Mpa、+200 Mpa、0 Mpa、-400 Mpa的最佳应力组合,最小微桥单元形变(0.0385μm).通过各膜层残余应力控制,制备出基于该优化微桥单元结构的320×240太赫兹焦平面阵列,获得与仿真结果相符的极小形变微桥.
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关键词
太赫兹微测热辐射计
力学仿真
残余应力
正交实验设计
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职称材料
题名
基于DOE策略的多层薄膜残余应力对太赫兹微桥形变的影响
被引量：
1
1
作者
郑兴
刘子骥
顾德恩
苟君
马家锋
黎威志
吴志明
机构
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第3期326-331,共6页
基金
国家自然科学基金创新研究群体科学基金(61421002)
国家自然科学基金(61235006、61501092)
中央高校基本科研业务费项目(ZYGX2015KYQD016)~~
文摘
桥面多层膜系残余应力匹配是消除太赫兹微测辐射热计微桥结构形变的重要手段.仿真建立了像元尺寸为35μm×35μm微桥单元有限元模型.基于实验设计(DOE)正交法,采用IntelliSuite软件进行应力仿真,获得支撑层、钝化层、电极层、热敏层、吸收层应力分别为+200 Mpa、+200 Mpa、+200 Mpa、0 Mpa、-400 Mpa的最佳应力组合,最小微桥单元形变(0.0385μm).通过各膜层残余应力控制,制备出基于该优化微桥单元结构的320×240太赫兹焦平面阵列,获得与仿真结果相符的极小形变微桥.
关键词
太赫兹微测热辐射计
力学仿真
残余应力
正交实验设计
Keywords
THz microbolometer
mechanical simulation
residual stress
orthogonal design of experiment
分类号
O441 [理学—电磁学]
O451 [理学—无线电物理]
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出处
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被引量
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1
基于DOE策略的多层薄膜残余应力对太赫兹微桥形变的影响
郑兴
刘子骥
顾德恩
苟君
马家锋
黎威志
吴志明
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
1
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