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MEMS F-P干涉型压力传感器
被引量：
15
1
作者
江小峰
林春
+2 位作者
谢海鹤
黄元庆
颜黄苹
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2014年第7期2257-2262,共6页
为了满足工业、航天、国防等领域对微型化压力传感器的需求，提出了基于微机电系统（MEMS，Micro electromechanical System）技术制作的非本征型光纤法布里-珀罗（F-P）压力传感器，该传感器传感头由全玻璃材料构成。主要研究了MEMS技...
为了满足工业、航天、国防等领域对微型化压力传感器的需求，提出了基于微机电系统（MEMS，Micro electromechanical System）技术制作的非本征型光纤法布里-珀罗（F-P）压力传感器，该传感器传感头由全玻璃材料构成。主要研究了MEMS技术制作全玻璃结构式压力传感器工艺，结合溅射、光刻、腐蚀等工艺在7740 wafer基底上制作出F-P腔体，利用低压化学气相沉积（LPCVD）的方法在基底上沉积一层40 nm的非晶硅作为中间层。通过阳极键合技术在温度400℃下完成玻璃与玻璃的键合，并搭建了该传感器的压力测量平台。实验结果表明：在压力线性范围0-400 kPa内传感器具有很高的重复性，达到0.3%。灵敏度达到1.764 nm/kPa；在传感器使用范围0-80℃内，热敏感系数为0.15 nm/℃。该传感器的研究对设计制作改善了该类传感器的热膨胀失配问题，对低温漂型压力传感器的研究有一定参考价值。
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关键词
光纤传感器
MEMS
全玻璃材料
F—P腔制作
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职称材料
激光加工中光束变换技术研究
被引量：
3
2
作者
叶瑞芳
黄元庆
+4 位作者
万瑾
胡天林
吴兆喜
颜黄苹
翁梓华
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2007年第z1期629-631,共3页
激光光束形状和能量分布直接限定了激光加工的应用。为满足不同的激光加工要求,必须对激光光束进行光束变换。应用旋转棱镜和组合光学系统能够实现实心和环状光束之间的相互变换。从几何光学角度对旋转棱镜组合光学系统进行了理论分析...
激光光束形状和能量分布直接限定了激光加工的应用。为满足不同的激光加工要求,必须对激光光束进行光束变换。应用旋转棱镜和组合光学系统能够实现实心和环状光束之间的相互变换。从几何光学角度对旋转棱镜组合光学系统进行了理论分析和实验。通过调整正负旋转棱镜的间距d,获取不同形状和能量分布的激光光束。实验结果表明,基于旋转棱镜组合光学系统的光束变换技术,有效地实现了多种形式的光束变换,提高了激光束的利用率,在激光加工领域中具有广泛的应用前景。
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关键词
光束变换
旋转棱镜
激光加工
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职称材料
光收发器中光电集成接收芯片的实现
3
作者
芦晶
程翔
+3 位作者
颜黄苹
李继芳
柯庆福
陈朝
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第3期291-294,共4页
针对应用于850nm光通信中的10/100Mbit/s收发器,提出采用0.5μm标准CMOS工艺对其光接收芯片实现Si基单片集成。整体芯片面积为0.6mm2,共集成了一个双光电二极管的(DPD)光电探测器和一个跨阻前置放大电路,功耗为100mW,并给出了具体的测...
针对应用于850nm光通信中的10/100Mbit/s收发器,提出采用0.5μm标准CMOS工艺对其光接收芯片实现Si基单片集成。整体芯片面积为0.6mm2,共集成了一个双光电二极管的(DPD)光电探测器和一个跨阻前置放大电路,功耗为100mW,并给出了具体的测试性能结果。结果表明,在850nm光照下,光接收芯片带宽达到53MHz,工作速率为72Mbit/s。重点介绍了DPD光电探测器的原理和结构,并给出了相应的制造过程和电路等效模型,对整个光接收芯片进行了多种实用性测试,可以满足系统的性能要求。
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关键词
单片集成
互补型金属氧化物晶体管
双光电二极管
光接收芯片
850
nm光通信
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职称材料
题名
MEMS F-P干涉型压力传感器
被引量：
15
1
作者
江小峰
林春
谢海鹤
黄元庆
颜黄苹
机构
厦门大学物理机电学院
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2014年第7期2257-2262,共6页
基金
福建省自然科学基金(2013J01251)
文摘
为了满足工业、航天、国防等领域对微型化压力传感器的需求，提出了基于微机电系统（MEMS，Micro electromechanical System）技术制作的非本征型光纤法布里-珀罗（F-P）压力传感器，该传感器传感头由全玻璃材料构成。主要研究了MEMS技术制作全玻璃结构式压力传感器工艺，结合溅射、光刻、腐蚀等工艺在7740 wafer基底上制作出F-P腔体，利用低压化学气相沉积（LPCVD）的方法在基底上沉积一层40 nm的非晶硅作为中间层。通过阳极键合技术在温度400℃下完成玻璃与玻璃的键合，并搭建了该传感器的压力测量平台。实验结果表明：在压力线性范围0-400 kPa内传感器具有很高的重复性，达到0.3%。灵敏度达到1.764 nm/kPa；在传感器使用范围0-80℃内，热敏感系数为0.15 nm/℃。该传感器的研究对设计制作改善了该类传感器的热膨胀失配问题，对低温漂型压力传感器的研究有一定参考价值。
关键词
光纤传感器
MEMS
全玻璃材料
F—P腔制作
Keywords
optical sensor
MEMS
all-glass material
fabrication of F-P cavity
分类号
TP394.1 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
TH691.9 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
激光加工中光束变换技术研究
被引量：
3
2
作者
叶瑞芳
黄元庆
万瑾
胡天林
吴兆喜
颜黄苹
翁梓华
机构
厦门大学机电工程系
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2007年第z1期629-631,共3页
基金
福建省科学技术厅资助项目(2005HZ1020)
文摘
激光光束形状和能量分布直接限定了激光加工的应用。为满足不同的激光加工要求,必须对激光光束进行光束变换。应用旋转棱镜和组合光学系统能够实现实心和环状光束之间的相互变换。从几何光学角度对旋转棱镜组合光学系统进行了理论分析和实验。通过调整正负旋转棱镜的间距d,获取不同形状和能量分布的激光光束。实验结果表明,基于旋转棱镜组合光学系统的光束变换技术,有效地实现了多种形式的光束变换,提高了激光束的利用率,在激光加工领域中具有广泛的应用前景。
关键词
光束变换
旋转棱镜
激光加工
Keywords
Beam transformation
Axicon
Laser processing
分类号
TN241 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
光收发器中光电集成接收芯片的实现
3
作者
芦晶
程翔
颜黄苹
李继芳
柯庆福
陈朝
机构
厦门大学物理与机电工程学院机电工程系
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第3期291-294,共4页
基金
厦门市科技计划项目(3502Z20063002)
文摘
针对应用于850nm光通信中的10/100Mbit/s收发器,提出采用0.5μm标准CMOS工艺对其光接收芯片实现Si基单片集成。整体芯片面积为0.6mm2,共集成了一个双光电二极管的(DPD)光电探测器和一个跨阻前置放大电路,功耗为100mW,并给出了具体的测试性能结果。结果表明,在850nm光照下,光接收芯片带宽达到53MHz,工作速率为72Mbit/s。重点介绍了DPD光电探测器的原理和结构,并给出了相应的制造过程和电路等效模型,对整个光接收芯片进行了多种实用性测试,可以满足系统的性能要求。
关键词
单片集成
互补型金属氧化物晶体管
双光电二极管
光接收芯片
850
nm光通信
Keywords
OEIC
CMOS
DPD
optical receiver chip
850 nm optical transceivers
分类号
TN491 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MEMS F-P干涉型压力传感器
江小峰
林春
谢海鹤
黄元庆
颜黄苹
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2014
15
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
激光加工中光束变换技术研究
叶瑞芳
黄元庆
万瑾
胡天林
吴兆喜
颜黄苹
翁梓华
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2007
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
光收发器中光电集成接收芯片的实现
芦晶
程翔
颜黄苹
李继芳
柯庆福
陈朝
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010
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职称材料
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