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钨膜的激光化学气相沉积
被引量：
1
1
作者
周政卓
顾原岗
邱明新
《激光杂志》
CAS
1985年第4期211-213,184,共4页
本文报道用XeCl准分子激光分解W(CO)_6气体分子沉积钨膜,面积约2.6cm^2。测量了膜层的厚度,电学性质和光学性质,并用扫描电镜观察了膜层的微观结构和用x光电子能谱仪分析了膜层的组分。
关键词
激光化学气相沉积
钨膜
XECL准分子
X光电子能谱
扫描电镜观察
分子沉积
光学性质
电学性质
微观结构
光分解
在线阅读
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职称材料
题名
钨膜的激光化学气相沉积
被引量：
1
1
作者
周政卓
顾原岗
邱明新
机构
上海激光技术研究所
出处
《激光杂志》
CAS
1985年第4期211-213,184,共4页
文摘
本文报道用XeCl准分子激光分解W(CO)_6气体分子沉积钨膜,面积约2.6cm^2。测量了膜层的厚度,电学性质和光学性质,并用扫描电镜观察了膜层的微观结构和用x光电子能谱仪分析了膜层的组分。
关键词
激光化学气相沉积
钨膜
XECL准分子
X光电子能谱
扫描电镜观察
分子沉积
光学性质
电学性质
微观结构
光分解
分类号
O734.3 [理学—晶体学]
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
钨膜的激光化学气相沉积
周政卓
顾原岗
邱明新
《激光杂志》
CAS
1985
1
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