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题名单压电执行器阵列驱动的变形镜的制备与表征
被引量：2
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作者
钟贵明
韩小帅
张昕
娄军强
马剑强
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机构
宁波大学机械工程与力学学院
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期338-345,共8页
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基金
国家自然科学基金(No.51805280)
工业控制技术国家重点实验室开放课题(No.ICT2021B44)
浙江省省属高校基本科研业务费专项资金(No.SJLY2020002)。
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文摘
为降低压电执行器阵列式变形镜的成本,提出了一种由单压电执行器阵列驱动的低成本变形镜。制备了19单元50 mm口径的变形镜样机,建立了基于Shack-Hartmann传感器的自适应光学测试系统,并对单个执行器性能、校正性能、镜面校平性能、变形镜频率响应特性进行了表征。测试结果显示,制备的变形镜单个执行器在50 V电压下波前变形量可达10μm,可精确重构前14项Zernike多项式像差,校平后远场光斑接近艾里斑,变形镜一阶固有频率约为1.8 kHz。提出的单压电执行器阵列驱动的变形镜具有比较好的性能,在低成本自适应光学系统中具有应用前景。
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关键词
变形镜
单压电执行器
自适应光学
波前像差
像差校正
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Keywords
Deformable mirror
Piezoelectric unimorph actuator
Adaptive optics
Wavefront aberration
Aberration correction
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分类号
TN384
[电子电信—物理电子学]
O438
[机械工程—光学工程]
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题名边缘驱动双腔可变形透镜的设计及制备
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作者
张昕
韩小帅
鲍凯业
俞历程
马剑强
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机构
宁波大学机械工程与力学学院
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出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2023年第2期190-194,共5页
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基金
浙江省基础公益研究计划基金资助项目(LGG22E050002)
浙江省省属高校基本科研业务费专项基金资金资助(SJLY2020002)。
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文摘
针对基于边缘驱动的可变形透镜无法进行球差像差的问题,该文提出了一种边缘驱动双腔可变形透镜结构。上腔体压电圆环32个致动器,校正除球差外的其余低阶像差,主要包括离焦、像散及慧差的校正。下腔体压电圆环1个致动器,通过与上腔致动器的相互作用,实现球差的校正。搭建了可变形透镜性能测试平台并进行了实验。实验结果表明,该可变形透镜能重构前4阶Zernike像差。
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关键词
边缘驱动
可变形透镜
像差校正
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Keywords
edge drive
deformable lens
aberration correction
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分类号
TN384
[电子电信—物理电子学]
TN256
[电子电信—物理电子学]
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