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有机/无机叠层高阻隔膜性能研究
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作者 董茂进 王毅 +3 位作者 秦丽丽 冯尔鹏 韩仙虎 李中华 《真空与低温》 2025年第1期18-22,共5页
柔性电子封装用阻隔膜需具备水氧高阻隔性、光学高透明性,膜层结合牢固等特性。采用有机/无机叠层技术开发高阻隔膜,通过PECVD制备无机SiO_(x)C_(y)H_(z)膜层,真空蒸发制备丙烯酸酯有机膜层。对有机膜层、无机膜层及叠层的膜厚、膜层表... 柔性电子封装用阻隔膜需具备水氧高阻隔性、光学高透明性,膜层结合牢固等特性。采用有机/无机叠层技术开发高阻隔膜,通过PECVD制备无机SiO_(x)C_(y)H_(z)膜层,真空蒸发制备丙烯酸酯有机膜层。对有机膜层、无机膜层及叠层的膜厚、膜层表面形貌、光谱进行测试,同时对阻隔膜层的阻隔性展开测试,并针对叠层应力性能进行研究。所制备的结构为“PET/无机层/有机层/无机层”的叠层膜透水率达到0.03 g/(m^(2)·d),透光率89.2%,得到高透光率、高阻隔性柔性薄膜材料。并分别测试了叠层结构中有机膜层、无机膜层的应力,通过有机层/无机层厚度匹配,抑制单层薄膜的高应力,制备了应力耦合的叠层阻隔膜。 展开更多
关键词 阻隔膜 叠层 光谱 应力
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基于PLC和MCGS的超高灵敏度检漏仪控制系统设计 被引量:2
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作者 刘筱文 王毅 +4 位作者 蔡宇宏 韩仙虎 李正清 李小金 马凤英 《现代电子技术》 2023年第23期178-182,共5页
真空器件的寿命主要取决于封装结构的极小漏率,为了保证真空器件的真空寿命,通常需要其封装结构具有极小的漏率。针对极小漏率的超高灵敏度检测,文中设计了基于PLC和MCGS的控制系统,通过工控机与PLC之间的Modbus通信以及与质谱计之间的... 真空器件的寿命主要取决于封装结构的极小漏率,为了保证真空器件的真空寿命,通常需要其封装结构具有极小的漏率。针对极小漏率的超高灵敏度检测,文中设计了基于PLC和MCGS的控制系统,通过工控机与PLC之间的Modbus通信以及与质谱计之间的OPC通信,实现了超高灵敏度检漏仪各部件的自动控制和底层数据的采集交换,提高了超高灵敏度检漏仪的灵敏度和自动化水平。系统上位机由MCGS组态软件实现账户登录、数据导出、曲线动态显示等功能。主程序及功能模块程序由PLC控制执行,提高了设备的可靠性,同时提高了检测效率,减少了检漏操作人员的劳动强度,减小了误操作的可能性。 展开更多
关键词 PLC MCGS OPC MODBUS 检漏仪 控制系统 组态软件 自动控制
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螺杆真空泵平滑连接摆线型转子型线设计及分析 被引量:1
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作者 李正清 韩仙虎 +4 位作者 蔡宇宏 王毅 李小金 杨建斌 刘筱文 《真空与低温》 2023年第2期117-120,共4页
螺杆泵转子型线的设计是螺杆泵研究的重要内容之一。摆线转子型线是一种常用的型线,型线位于节圆外的部分为外摆线,位于节圆内的部分为内摆线。选取合适的齿顶圆半径和节圆半径,分析构建了转子型线外摆线和内摆线方程及齿顶圆和齿根圆方... 螺杆泵转子型线的设计是螺杆泵研究的重要内容之一。摆线转子型线是一种常用的型线,型线位于节圆外的部分为外摆线,位于节圆内的部分为内摆线。选取合适的齿顶圆半径和节圆半径,分析构建了转子型线外摆线和内摆线方程及齿顶圆和齿根圆方程;设计了单头对称的摆线型螺杆泵转子型线及转子,并以此为基础,分析了转子容积利用率与相关参数的关系,为摆线型罗茨泵的设计奠定基础。 展开更多
关键词 螺杆真空泵 摆线 滚圆 转子 型线
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罗茨真空泵偏心大圆弧转子型线设计及分析 被引量:1
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作者 李正清 李小金 +5 位作者 杨建斌 刘筱文 韩仙虎 蔡宇宏 王毅 李晓霞 《真空与低温》 2022年第6期699-704,共6页
转子型线的设计是罗茨泵研究的重要内容之一。偏心大圆弧转子型线由圆心位于节圆内横坐标负半轴的圆弧、销齿圆弧及其共轭曲线组成。首先确定转子偏心大圆弧、顶部销齿圆弧以及偏心大圆弧对应的共轭曲线,完成了理论型线的设计;然后根据... 转子型线的设计是罗茨泵研究的重要内容之一。偏心大圆弧转子型线由圆心位于节圆内横坐标负半轴的圆弧、销齿圆弧及其共轭曲线组成。首先确定转子偏心大圆弧、顶部销齿圆弧以及偏心大圆弧对应的共轭曲线,完成了理论型线的设计;然后根据理论型线和实际型线的转换关系,获得实际型线的设计方法;最后在给定的罗茨泵抽速、转子中心距和间隙下,完成了转子的型线设计。研究发现,当节圆半径和顶圆半径相同时,偏心大圆弧转子型线的容积利用系数高于圆弧转子型线的容积利用系数。研究为偏心大圆弧转子罗茨泵的制造奠定了基础。 展开更多
关键词 罗茨真空泵 偏心大圆弧 共轭曲线 转子型线
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铝合金聚四氟乙烯复合膜的摩擦学性能 被引量:3
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作者 胡继星 韩仙虎 《合成润滑材料》 CAS 2005年第3期7-9,共3页
利用阳极氧化技术处理铝合金表面,制备铝合金聚四氟乙烯复合膜,该复合膜既具有氧化铝的硬度特性,又具有聚四氟乙烯的润滑性能。阳极氧化层的硬度越大,复合膜摩擦学性能越好。
关键词 铝合金 聚四氟乙烯 复合膜 摩擦学
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