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新型TFT-LCD黑矩阵的细线化研究
被引量：
3
1
作者
靳福江
卢兵
+5 位作者
朱凤稚
罗峰
柳星
代伟男
刘华
范峻
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第4期521-526,共6页
介绍了新型TFT LCD黑矩阵细线化研究.在原有工艺设备的基础上,突破设备局限和工艺瓶颈,通过引入相掩膜技术和背面曝光设备,达到进一步减小黑矩阵线宽的效果.实验测试结果显示：在普通掩膜板设计上应用相位移掩膜板技术,降低透光区边缘...
介绍了新型TFT LCD黑矩阵细线化研究.在原有工艺设备的基础上,突破设备局限和工艺瓶颈,通过引入相掩膜技术和背面曝光设备,达到进一步减小黑矩阵线宽的效果.实验测试结果显示：在普通掩膜板设计上应用相位移掩膜板技术,降低透光区边缘衍射和散射现象,使曝光后黑矩阵线宽降低1.0～1.5 μm.在原有工艺基础上添加背面曝光工艺,使黑矩阵材料在显影后进行背面曝光预固化,改善黑矩阵图形形貌,进一步减小黑矩阵线宽达到0.3～0.5 μm.通过新工艺和新设备的引入和应用,黑矩阵线宽整体降低1.5～2.0 pm,达到5.0～5.5 μm,可以满足目前高PPI（单位面积像素个数）产品对透过率和对比度要求.
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关键词
黑矩阵
线宽
相位移掩膜板
背面曝光
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职称材料
含有柱状隔垫物彩膜基板的剥离技术
2
作者
靳福江
王在清
+2 位作者
范峻
刘阳升
曾望明
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第2期220-223,共4页
介绍了一种含有柱状隔垫物彩膜基板的剥离技术。采用层数顺序方法,两步剥离工艺。第一步,采用剥离液,进行260s,迅速剥离柱状隔垫物层;第二步,刻蚀液进行650s和剥离液进行650s共同作用,先后剥离玻璃基板上透明导电氧化铟锡层、颜色层,挡...
介绍了一种含有柱状隔垫物彩膜基板的剥离技术。采用层数顺序方法,两步剥离工艺。第一步,采用剥离液,进行260s,迅速剥离柱状隔垫物层;第二步,刻蚀液进行650s和剥离液进行650s共同作用,先后剥离玻璃基板上透明导电氧化铟锡层、颜色层,挡光层。使之剥离后成为可以再次利用的干净白玻璃。
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关键词
剥离技术
柱状隔垫物层
金属氧化铟锡
刻蚀液
剥离液
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职称材料
题名
新型TFT-LCD黑矩阵的细线化研究
被引量：
3
1
作者
靳福江
卢兵
朱凤稚
罗峰
柳星
代伟男
刘华
范峻
机构
成都京东方光电科技有限公司
出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第4期521-526,共6页
文摘
介绍了新型TFT LCD黑矩阵细线化研究.在原有工艺设备的基础上,突破设备局限和工艺瓶颈,通过引入相掩膜技术和背面曝光设备,达到进一步减小黑矩阵线宽的效果.实验测试结果显示：在普通掩膜板设计上应用相位移掩膜板技术,降低透光区边缘衍射和散射现象,使曝光后黑矩阵线宽降低1.0～1.5 μm.在原有工艺基础上添加背面曝光工艺,使黑矩阵材料在显影后进行背面曝光预固化,改善黑矩阵图形形貌,进一步减小黑矩阵线宽达到0.3～0.5 μm.通过新工艺和新设备的引入和应用,黑矩阵线宽整体降低1.5～2.0 pm,达到5.0～5.5 μm,可以满足目前高PPI（单位面积像素个数）产品对透过率和对比度要求.
关键词
黑矩阵
线宽
相位移掩膜板
背面曝光
Keywords
black matrix
critical dimension
phase shift mask
back exposure
分类号
TK730.2 [交通运输工程—轮机工程]
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职称材料
题名
含有柱状隔垫物彩膜基板的剥离技术
2
作者
靳福江
王在清
范峻
刘阳升
曾望明
机构
成都京东方光电科技有限公司
出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第2期220-223,共4页
文摘
介绍了一种含有柱状隔垫物彩膜基板的剥离技术。采用层数顺序方法,两步剥离工艺。第一步,采用剥离液,进行260s,迅速剥离柱状隔垫物层;第二步,刻蚀液进行650s和剥离液进行650s共同作用,先后剥离玻璃基板上透明导电氧化铟锡层、颜色层,挡光层。使之剥离后成为可以再次利用的干净白玻璃。
关键词
剥离技术
柱状隔垫物层
金属氧化铟锡
刻蚀液
剥离液
Keywords
strip technology
photo space layer
indium tin oxide film
etcher
stripper
分类号
TK730.2 [交通运输工程—轮机工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
新型TFT-LCD黑矩阵的细线化研究
靳福江
卢兵
朱凤稚
罗峰
柳星
代伟男
刘华
范峻
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2014
3
在线阅读
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职称材料
2
含有柱状隔垫物彩膜基板的剥离技术
靳福江
王在清
范峻
刘阳升
曾望明
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2013
0
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职称材料
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