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利用激光控制蒸镀高反射多层介质膜厚度
1
作者
陶然·瓦吉地
《四川激光》
1981年第A02期120-120,共1页
本文仅就我们所作的一些实际工作，介绍利用氦氖激光控制膜层厚度的一些体会。
关键词
激光控制
多层介质
膜厚度
反射
蒸镀
膜层厚度
在线阅读
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职称材料
光电极值法测厚多层介质膜镀膜机性能的几点改进
2
作者
李之慧
陶然·瓦吉地
杨雅丽
《四川激光》
1981年第A02期120-120,共1页
我们对“光电极值法”测厚多层介质膜镀膜机的性能作了改进，取得了明显的效果，可以说几个主要指标；如保持基片和膜层的清洁，膜层厚度的相对精度、低消耗电量，设备简单上以及调整光电路的节省时间等，都达到了同类型镀膜机的先进水...
我们对“光电极值法”测厚多层介质膜镀膜机的性能作了改进，取得了明显的效果，可以说几个主要指标；如保持基片和膜层的清洁，膜层厚度的相对精度、低消耗电量，设备简单上以及调整光电路的节省时间等，都达到了同类型镀膜机的先进水平。另外，我们的实验还可能对要求保持高度清洁的其它镀膜器件提供一些解决问题的途径。此外，对改进本类型镀膜机的设计也提供了一些重要的参考。
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关键词
多层介质膜
光电极值法
镀膜机
测厚
膜层厚度
相对精度
先进水平
耗电量
膜器件
类型
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职称材料
题名
利用激光控制蒸镀高反射多层介质膜厚度
1
作者
陶然·瓦吉地
机构
新疆大学物理系激光室
出处
《四川激光》
1981年第A02期120-120,共1页
文摘
本文仅就我们所作的一些实际工作，介绍利用氦氖激光控制膜层厚度的一些体会。
关键词
激光控制
多层介质
膜厚度
反射
蒸镀
膜层厚度
分类号
O643.1 [理学—物理化学]
O346.1 [理学—固体力学]
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职称材料
题名
光电极值法测厚多层介质膜镀膜机性能的几点改进
2
作者
李之慧
陶然·瓦吉地
杨雅丽
机构
新疆大学物理系激光室
出处
《四川激光》
1981年第A02期120-120,共1页
文摘
我们对“光电极值法”测厚多层介质膜镀膜机的性能作了改进，取得了明显的效果，可以说几个主要指标；如保持基片和膜层的清洁，膜层厚度的相对精度、低消耗电量，设备简单上以及调整光电路的节省时间等，都达到了同类型镀膜机的先进水平。另外，我们的实验还可能对要求保持高度清洁的其它镀膜器件提供一些解决问题的途径。此外，对改进本类型镀膜机的设计也提供了一些重要的参考。
关键词
多层介质膜
光电极值法
镀膜机
测厚
膜层厚度
相对精度
先进水平
耗电量
膜器件
类型
分类号
TN929.11 [电子电信—通信与信息系统]
TN304.055 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
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1
利用激光控制蒸镀高反射多层介质膜厚度
陶然·瓦吉地
《四川激光》
1981
0
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职称材料
2
光电极值法测厚多层介质膜镀膜机性能的几点改进
李之慧
陶然·瓦吉地
杨雅丽
《四川激光》
1981
0
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职称材料
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