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制造高性能恒流管的工艺研究 被引量:1
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作者 金仪骏 高巧云 陈浦云 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1990年第2期29-32,共4页
一.引言 硅恒流管由于恒流范围大,输出电导低,无需偏置电源和使用方便等优点,广泛用于交直流放大器、稳压源、锯齿波发生器、脉冲宽度调制器、射极跟随器等等电子线路中。随着仪器仪表、自动控制、载波通讯、航天卫星等方面恒流管使用... 一.引言 硅恒流管由于恒流范围大,输出电导低,无需偏置电源和使用方便等优点,广泛用于交直流放大器、稳压源、锯齿波发生器、脉冲宽度调制器、射极跟随器等等电子线路中。随着仪器仪表、自动控制、载波通讯、航天卫星等方面恒流管使用的范围日益增大,对恒流管的性能要求也不断地提高而苛刻。用户要求恒流管动态电阻r_d与击穿电压V_B尽可能大些,夹断时外加电压V_P与温度系数α_1(指绝对值)尽可能小些。由于半导体器件制造的国产化设备、工艺条件与检测手段、外延材料质量等与国外的先进水平有着一定距离,国内工业化批量生产的恒流管在上述四个参数要求方面与国外同类产品存在一定的差距(见表1)。 展开更多
关键词 恒流管 工艺
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