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集成电路制造装备运动系统LPV动力学建模与控制综述
被引量：
1
1
作者
黄涛
于春运
+1 位作者
陈宏枢
鲁森
《动力学与控制学报》
2024年第12期5-17,共13页
运动系统是实现集成电路制造装备高速、高精度、强稳定性运动的核心子系统.随着集成电路制造领域对性能与生产效率要求的不断提升,集成电路制造装备运动系统应具备极高的精度、迅速的响应能力,以及优异的稳定性和鲁棒性.而集成电路制造...
运动系统是实现集成电路制造装备高速、高精度、强稳定性运动的核心子系统.随着集成电路制造领域对性能与生产效率要求的不断提升,集成电路制造装备运动系统应具备极高的精度、迅速的响应能力,以及优异的稳定性和鲁棒性.而集成电路制造装备运动系统存在的多自由度和刚柔耦合特性、非线性和时变动力学特性、测量噪声和参数不确定性等问题,对集成电路制造装备运动系统动力学建模与控制带来严峻挑战,线性变参数(Linear Parameter-Varying,LPV)理论为上述问题的解决提供了新方案.本文首先简要概述集成电路制造装备运动系统及其建模与控制问题,其次从建模、辨识、控制三个方面综述集成电路制造装备运动系统LPV建模与控制方法及其应用,最后对集成电路制造装备动力学建模与控制研究进行总结与展望.
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关键词
集成电路制造装备
高精度运动系统
线性变参数
动力学建模
运动控制
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职称材料
题名
集成电路制造装备运动系统LPV动力学建模与控制综述
被引量：
1
1
作者
黄涛
于春运
陈宏枢
鲁森
机构
重庆大学机械与运载工程学院
重庆大学高端装备机械传动全国重点实验室
重庆大学国家卓越工程师学院
清华大学机械工程系
出处
《动力学与控制学报》
2024年第12期5-17,共13页
基金
国家自然科学基金资助项目(52475510,52105578)
中央高校基本科研业务费资助项目(2023CDJKYJH035)。
文摘
运动系统是实现集成电路制造装备高速、高精度、强稳定性运动的核心子系统.随着集成电路制造领域对性能与生产效率要求的不断提升,集成电路制造装备运动系统应具备极高的精度、迅速的响应能力,以及优异的稳定性和鲁棒性.而集成电路制造装备运动系统存在的多自由度和刚柔耦合特性、非线性和时变动力学特性、测量噪声和参数不确定性等问题,对集成电路制造装备运动系统动力学建模与控制带来严峻挑战,线性变参数(Linear Parameter-Varying,LPV)理论为上述问题的解决提供了新方案.本文首先简要概述集成电路制造装备运动系统及其建模与控制问题,其次从建模、辨识、控制三个方面综述集成电路制造装备运动系统LPV建模与控制方法及其应用,最后对集成电路制造装备动力学建模与控制研究进行总结与展望.
关键词
集成电路制造装备
高精度运动系统
线性变参数
动力学建模
运动控制
Keywords
integrated circuit manufacturing equipment
high-precision motion system
linear parameter-varying
dynamic modeling
motion control
分类号
TP13 [自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
集成电路制造装备运动系统LPV动力学建模与控制综述
黄涛
于春运
陈宏枢
鲁森
《动力学与控制学报》
2024
1
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