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MgZnO和ZnO晶体薄膜紫外发光特性比较
被引量：
4
1
作者
陈奶波
邱东江
+3 位作者
吴惠桢
张寒洁
鲍世宁
何丕模
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第5期349-352,共4页
用电子束蒸发反应沉积在Si(111)衬底上低温生长了立方MgZnO薄膜和高度C -轴取向的ZnO薄膜 .X 射线光电子能谱 (XPS)结果表明 ,立方MgZnO薄膜中的Mg含量比靶源中的高 .紫外光致荧光谱 (UVPL)测试显示 ,与ZnO相比MgZnO的荧光峰从 393nm蓝...
用电子束蒸发反应沉积在Si(111)衬底上低温生长了立方MgZnO薄膜和高度C -轴取向的ZnO薄膜 .X 射线光电子能谱 (XPS)结果表明 ,立方MgZnO薄膜中的Mg含量比靶源中的高 .紫外光致荧光谱 (UVPL)测试显示 ,与ZnO相比MgZnO的荧光峰从 393nm蓝移至 373nm ,这可能与MgZnO的带隙变宽有关 .对ZnO薄膜的研究还发现 ,生长过程中充O2 与否对ZnO发光特性的影响显著 ,不充O2 时样品的紫外荧光峰较之充O2
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关键词
紫外光致荧光谱
X射线光电子能谱
晶体薄膜
氧化锌
电子束蒸发反应沉积法
光谱蓝移
光谱红移
带隙
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职称材料
RF-HFCVD生长高质量纳米金刚石薄膜
被引量：
2
2
作者
邱东江
吴惠桢
+1 位作者
陈奶波
石成儒
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第3期167-170,共4页
采用射频等离子体增强的热丝化学气相沉积 (RF HFCVD)技术在石英玻璃衬底上制备了高质量的纳米金刚石薄膜 .研究了衬底温度、反应气压及射频功率对金刚石膜的结晶习性和光学性质的影响 ,其最佳值分别为70 0℃、2× 133Pa和 2 0 0W ...
采用射频等离子体增强的热丝化学气相沉积 (RF HFCVD)技术在石英玻璃衬底上制备了高质量的纳米金刚石薄膜 .研究了衬底温度、反应气压及射频功率对金刚石膜的结晶习性和光学性质的影响 ,其最佳值分别为70 0℃、2× 133Pa和 2 0 0W .在该条件下金刚石成核密度达 10 11cm-2 ,经 1h生长即获得连续薄膜 ,其平均晶粒尺寸为 2 5nm ,表面粗糙度仅为 5 5 ,在近红外区域 (80 0nm处 )的光透过率达 90 % .
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关键词
RF-HFCVD
生长
纳米金刚石薄膜
射频等离子体增强热丝化学气相沉积
光透过率
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职称材料
题名
MgZnO和ZnO晶体薄膜紫外发光特性比较
被引量：
4
1
作者
陈奶波
邱东江
吴惠桢
张寒洁
鲍世宁
何丕模
机构
浙江大学物理系
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第5期349-352,共4页
基金
国家自然科学基金 (批准号 10 1740 64 )资助项目~~
文摘
用电子束蒸发反应沉积在Si(111)衬底上低温生长了立方MgZnO薄膜和高度C -轴取向的ZnO薄膜 .X 射线光电子能谱 (XPS)结果表明 ,立方MgZnO薄膜中的Mg含量比靶源中的高 .紫外光致荧光谱 (UVPL)测试显示 ,与ZnO相比MgZnO的荧光峰从 393nm蓝移至 373nm ,这可能与MgZnO的带隙变宽有关 .对ZnO薄膜的研究还发现 ,生长过程中充O2 与否对ZnO发光特性的影响显著 ,不充O2 时样品的紫外荧光峰较之充O2
关键词
紫外光致荧光谱
X射线光电子能谱
晶体薄膜
氧化锌
电子束蒸发反应沉积法
光谱蓝移
光谱红移
带隙
Keywords
wurtzite ZnO film
cubic MgZnO film
UV-photoluminescence
XPS
分类号
O76 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
RF-HFCVD生长高质量纳米金刚石薄膜
被引量：
2
2
作者
邱东江
吴惠桢
陈奶波
石成儒
机构
浙江大学物理系
浙江大学中心实验室
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第3期167-170,共4页
基金
浙江省自然科学基金 (批准号 5 960 3 0 )资助项目~~
文摘
采用射频等离子体增强的热丝化学气相沉积 (RF HFCVD)技术在石英玻璃衬底上制备了高质量的纳米金刚石薄膜 .研究了衬底温度、反应气压及射频功率对金刚石膜的结晶习性和光学性质的影响 ,其最佳值分别为70 0℃、2× 133Pa和 2 0 0W .在该条件下金刚石成核密度达 10 11cm-2 ,经 1h生长即获得连续薄膜 ,其平均晶粒尺寸为 2 5nm ,表面粗糙度仅为 5 5 ,在近红外区域 (80 0nm处 )的光透过率达 90 % .
关键词
RF-HFCVD
生长
纳米金刚石薄膜
射频等离子体增强热丝化学气相沉积
光透过率
Keywords
nanocrystalline diamond film
RF-HFCVD
optical transmission
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MgZnO和ZnO晶体薄膜紫外发光特性比较
陈奶波
邱东江
吴惠桢
张寒洁
鲍世宁
何丕模
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
RF-HFCVD生长高质量纳米金刚石薄膜
邱东江
吴惠桢
陈奶波
石成儒
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
2
在线阅读
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职称材料
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