期刊文献+
共找到7篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
MBE生长的GaAs_(1-x)Sb_x/GaAs系中缺陷的研究
1
作者 范缇文 阎春辉 +3 位作者 郑海群 孔梅影 田连地 周玉清 《电子显微学报》 CAS CSCD 1990年第3期193-193,共1页
GaAs_(1-x)Sb_x作为有前途的长波长光电材料已受到了广泛的重视。但是由于GaAs_(1-x)Sb_x在GaAs衬底上进行外延生长时存在过大的晶格失配度(约7.5%)而遇到了较大的困难。为了提高材料的质量,对于GaAs_(1-x)Sb_x/GaAs体系异质结界面失... GaAs_(1-x)Sb_x作为有前途的长波长光电材料已受到了广泛的重视。但是由于GaAs_(1-x)Sb_x在GaAs衬底上进行外延生长时存在过大的晶格失配度(约7.5%)而遇到了较大的困难。为了提高材料的质量,对于GaAs_(1-x)Sb_x/GaAs体系异质结界面失配位错的分析已成为了有兴趣的研究课题。本文对用分子束外延(MBE)生长的GaAs_(1-x)Sb_x/GaAs系材料的界面缺陷进行了横断面透射电子显微镜和高分辩电子显微镜的研究,目的在于了解界面的缺陷行为并探讨改进材料质量的途径。 展开更多
关键词 MBE GaAs-Sb/GaAs 缺陷 半导体材料
在线阅读 下载PDF
金属有机源分子束外延(MOMBE)生长GaAs
2
作者 阎春辉 孙殿照 +5 位作者 国红熙 朱世荣 黄运衡 李晓兵 曾一平 孔梅影 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 1992年第6期12-16,共5页
关键词 分子束 外延 半导体 砷化镓
在线阅读 下载PDF
化学束外延生长GaAs/GaAs,InGaAs/GaAs,InP/InP,InGaAs/InP多量子阱材料 被引量:1
3
作者 孙殿照 阎春辉 +4 位作者 国红熙 朱世荣 黄运衡 曾一平 孔梅影 《半导体情报》 1991年第6期46-48,共3页
在国产首台CBE设备上,生长了GaAs上的GaAs,InP上的InP,InP上的InGaAs以及GaAs上的InGaAs多量子阱四种材料。纯GaAs为p型,载流子浓度为5.5×10^(15)cm^(-3),μ_(300K)=280cm^2/V·s,μ_(77K)=5000cm^2/v·s,基本没有表面椭... 在国产首台CBE设备上,生长了GaAs上的GaAs,InP上的InP,InP上的InGaAs以及GaAs上的InGaAs多量子阱四种材料。纯GaAs为p型,载流子浓度为5.5×10^(15)cm^(-3),μ_(300K)=280cm^2/V·s,μ_(77K)=5000cm^2/v·s,基本没有表面椭圆缺陷,InGaAs/GaAs多量子阱的x光双晶衍射有10个卫星峰,光吸收谱有明显子带吸收。 展开更多
关键词 化合物半导体 量子阱 外延生长
在线阅读 下载PDF
国内首台化学束外延(CBE)系统的设计考虑及外延结果
4
作者 孙殿照 孔梅影 +13 位作者 韩汝水 朱世荣 阎春辉 国红熙 付首清 周增圻 张晓秋 黄运衡 谢琪 刘世闯 雷震林 张利强 余文斌 乔金梁 《半导体情报》 1991年第6期79-80,共2页
研制了国内首台化学束外延(CBE)系统。半导体所用此系统进行了CBE实验,获得质量良好的半导体材料。本文给出该系统的设计考虑及CBE实验结果。
关键词 化学束外延 设备 半导材料 设计
在线阅读 下载PDF
GaAs/AlxGa_(1-x)As量子阱电极/非水溶液界面性能的研究 被引量:1
5
作者 刘尧 肖绪瑞 +3 位作者 曾一平 孙殿照 阎春辉 郑海群 《电化学》 CAS CSCD 1995年第2期136-140,共5页
用阻抗谱研究了晶格匹配型单、多量子阱GaAs/Al_xGa_(1-x)As电极在二茂铁乙腈溶液中的界面性能.得到了空间电荷层电容及表面态电容与电极电位的依赖关系.空间电荷电容与量子阱电极的结构有关,而表面态电容则决定... 用阻抗谱研究了晶格匹配型单、多量子阱GaAs/Al_xGa_(1-x)As电极在二茂铁乙腈溶液中的界面性能.得到了空间电荷层电容及表面态电容与电极电位的依赖关系.空间电荷电容与量子阱电极的结构有关,而表面态电容则决定于电极的表面性质如表面氧化层及二茂铁的吸附.分析和讨论了表面态的能级,密度的分布,来源和作用. 展开更多
关键词 量子阱电极 阻抗谱 表面态 界面性能
在线阅读 下载PDF
用于HEMT的调制掺杂材料的研制
6
作者 郑海群 孙殿照 +3 位作者 阎春辉 梁基本 曾一平 孔梅影 《半导体情报》 1991年第6期13-15,共3页
本文介绍了AlGaAs/GaAs系列HEMT用的调制掺杂(MD)材料的研制工作,并且给出了用该材料研制的器件结果。
关键词 三元化合物 半导体材料 HEMT 掺杂
在线阅读 下载PDF
金属有机源分子束外延设备的研制
7
作者 谢琪 刘世闯 +8 位作者 雷震霖 张利强 余文斌 乔金梁 孔梅影 孙殿照 韩汝水 朱世莱 阎春辉 《半导体情报》 1991年第6期80-82,共3页
本文报道了金属有机源分子束外廷设备的设计方案和技术特点。该设备最大样品尺寸为3英寸,3室结构,空气闭锁换样,6条气路。
关键词 金属 有机化合物 分子束外延 设备
在线阅读 下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部