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题名高精度空气折射率测量系统设计与实现
被引量：9
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作者
闵帅博
严利平
崔建军
王冬
束红林
陈恺
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机构
浙江理工大学纳米测量技术实验室
中国计量科学研究院
天津大学精密仪器与光电子工程学院
河南理工大学机械与动力工程学院
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出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2020年第11期1332-1338,共7页
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基金
国家自然科学基金(51675497)
国家重点研发计划专项(2017YFF0206305)
北京市自然科学基金(3162034)。
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文摘
针对商用空气折射率测量装置受到传感器采集性能和解算公式准确度的影响使得实际测量精度较低的问题,基于便携式多环境参数采集装置,设计了一套空气折射率测量系统,采集环境中的温湿度、大气压强状态信息,对3种折射率间接测量公式进行误差分析,并和商用环境补偿器进行性能对比。实验结果表明:在压强为100.17~100.21 kPa,温度为21.1~21.9℃,湿度为45.9~58.0%RH的实验条件下,该测量系统的测量偏差比商用环境补偿器低2.69×10^-7。
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关键词
计量学
空气折射率
多环境参数
便携式采集装置
环境补偿器
测量系统
实时分析
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Keywords
metrology
air refractive index
multi-environmental parameter
portable acquisition device
environmental compensator
measurement system
real-time analysis
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分类号
TB96
[机械工程—光学工程]
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题名用于微位移测量的迈克尔逊激光干涉仪综述
被引量：29
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作者
王冬
崔建军
张福民
闵帅博
陈恺
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机构
天津大学精密仪器与光电子工程学院
中国计量科学研究院
浙江理工大学纳米测量重点实验室
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出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2021年第1期1-8,共8页
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基金
国家自然科学基金(51675497)
北京市自然科学基金(3162034)
国家重点研发计划专项(2017YFF0206305).
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文摘
迈克尔逊干涉术测量微位移可实现纳米甚至更高的分辨力,并且具备能直接溯源至激光波长等诸多优点,是目前微位移测量的重要技术手段。以限制迈克尔逊干涉仪品质提高的非线性误差为主要切入点,对目前各种基于迈克尔逊干涉原理的激光干涉技术进行了分类介绍,主要讨论了微位移测量中实现高精度和高分辨率的干涉测量技术,最后展望了激光干涉法测量微位移的近期发展趋势。
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关键词
计量学
微位移测量
迈克尔逊激光干涉仪
激光干涉技术
干涉仪非线性
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Keywords
metrology
micro displacement measurement
Michelson laser interferometer
laser interferometry
interferometer nonlinearity
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分类号
TB921
[机械工程—测试计量技术及仪器]
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