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题名基于气体分析的工艺诊断技术
被引量：2
- 1
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作者
闫海莲
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机构
中国电子科技集团公司第四十八研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2016年第5期13-15,共3页
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文摘
半导体制程中的扩散炉、氧化炉、真空炉、真空镀膜等设备,因其工艺过程复杂、工艺影响因素多而带来诸多的不确定性。本文阐述的是一种基于气体分析的工艺诊断技术,该技术通过分析反应腔内气体对工艺进行实时监控,以达到工艺过程分析、减少工艺诊断时间,并最终达到提高工艺质量和减少设备停机时间的目的。
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关键词
半导体制程
气体分析
工艺诊断技术
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Keywords
Semiconductor manufacturing
Gas analysis
Process diagnosis technology
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分类号
TM615
[电气工程—电力系统及自动化]
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题名基于BBr3液态硼源的管式扩散设备研究与开发
被引量：2
- 2
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作者
黄志海
陈勇平
赵志然
闫海莲
姬常晓
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机构
中国电子科技集团公司第四十八研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2020年第4期9-12,共4页
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文摘
针对在以BBr3为液态掺杂源的N型晶硅电池扩散工艺过程中,扩散温度高,反应中间产物B2O3为液态,流动性较气态反应物差,副产物黏性较大,腐蚀石英件等特点,在硼扩散设备研制中通过炉门及尾气排放的设计,实现炉口炉尾的高温密封,缓解炉门粘连;优化进出气方式和石英管内压力及气流场控制,提高扩散均匀性;在工艺中增加通水蒸汽功能步,优化反应过程,减少副产物对石英件的腐蚀,降低石英件损耗成本,提高了硼扩散设备的生产效率。为N型晶硅电池硼扩散工艺提供了设备基础。
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关键词
液态掺杂源(BBr3)
扩散设备
N型晶硅电池
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Keywords
BBr3
Diffusion equipment
N-type crystalline silicon battery
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
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题名氢气退火炉关键部件研究与开发
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作者
赵志然
李明
黄志海
闫海莲
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机构
湖南红太阳光电科技有限公司
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出处
《电子工业专用设备》
2021年第5期50-54,共5页
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文摘
氢气尾气处理部分由炉门密封系统和尾气燃烧处理系统两部分组成,是涉及设备安全使用的关键部件,为了保障氢气退火炉的安全性和稳定运行,通过优化炉门密封结构,创新设计一种新型尾气燃烧装置;并对炉门密封系统的结构和安全逻辑以及尾气燃烧处理系统的结构组成与安全逻辑进行了分析研究,对炉门密封圈处的热场进行了仿真分析,确保密封圈的安全有效运转。最终通过实践应用,该密封系统和尾气燃烧处理系统结构稳定可靠,能够满足设备的安全使用要求。
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关键词
氢气退火
炉门密封
尾气燃烧处理
安全逻辑
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Keywords
Hydrogen annealing
Furnace door sealing
Tail gas combustion treatment
Safety logic
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
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