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CVD金刚石膜声学特性的激光超声研究 被引量：1
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作者 潘永东 钱梦录 +1 位作者 刘尔凯 候立 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第3期329-329,共1页
本文利用激光超声技术测量了ＣＶＤ金刚石膜的纵波声速。１原理激光超声法就是利用激光照射到固体薄膜试样表面，激发超声波，对此超声波进行检测分析，从而获得材料的声学特性。本文通过测定声脉冲传过试样所需的声时Δｔ和试样厚度Ｌ... 本文利用激光超声技术测量了ＣＶＤ金刚石膜的纵波声速。１原理激光超声法就是利用激光照射到固体薄膜试样表面，激发超声波，对此超声波进行检测分析，从而获得材料的声学特性。本文通过测定声脉冲传过试样所需的声时Δｔ和试样厚度Ｌ，用公式ＣＬ＝Ｌ／Δｔ就可以得到薄膜中的纵波声速ＣＬ。声脉冲的传播时间Δｔ，可以采用直达波法和反射回波法测量。直达波法是以激光脉冲为声脉冲产生的时间起点，测量声脉冲透过金刚石膜和铝延迟块的直达声脉冲的声时ｔ和声脉冲仅通过铝延迟块的声时ｔＡＬ，得到相应声速为：ＣＬ＝Ｌ／Δｔ＝Ｌ／（ｔ－ｔＡＬ）（１）反射回波法是通过测量相邻反射回波之间的声时Δｔ２Ｌ，以及声脉冲来回一次的声程２Ｌ，就可用公式（２）得到薄膜的纵波声速：Ｃ２Ｌ＝２Ｌ／Δｔ２Ｌ（２）反射回波法可消除耦合层对测量的影响，这对于Δｔ２Ｌ很小的试样，尤其对象金刚石膜有高声速的试样是很合适的。本文采用反射回波法测定金刚石膜的纵波声速，同时用直达波法进行校验和比较。２实验结果与讨论实验样品为人工晶体研究所用ＥＡ－ＨＦＣＶＤ方法制备的２片Ｆｒｅｓｔａｎｄｉｎｇ金刚石膜，厚度分别为０．５２４ｍｍ和０．５３７ｍｍ。样品光照面涂硅油，利用油膜的吸收光能和? 展开更多
关键词 压电薄膜 激光超声 金刚石薄膜 CVD法
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