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面发射激光器的高速性能研究
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作者 陈钊 李惠 +4 位作者 钟础宇 张幸 苗威 王彬 张帅一 《激光技术》 北大核心 2025年第1期74-78,共5页
为了简化工艺,提高面发射激光器的调制带宽与数据传输速率,采用多量子阱有源区设计、介质平面化工艺制备、氧化约束限制等方法,制备了一种发射波长为850 nm的垂直腔面发射激光器(VCSEL)。工艺上采用低介电常数的聚酰亚胺(PI)进行平面化... 为了简化工艺,提高面发射激光器的调制带宽与数据传输速率,采用多量子阱有源区设计、介质平面化工艺制备、氧化约束限制等方法,制备了一种发射波长为850 nm的垂直腔面发射激光器(VCSEL)。工艺上采用低介电常数的聚酰亚胺(PI)进行平面化,而非高速VCSEL芯片上常用的苯并环丁烯,研究了基于PI胶平面化工艺的高速器件的寄生响应。结果表明,在低偏置电流下,具有3μm氧化孔径的VCSEL显示出最大调制带宽为25.2 GHz,谐振频率为24.3 GHz,寄生截止频率为13.2 GHz,调制电流效率因子为22.726 GHz/mA^(1/2),D因子为19.670 GHz/mA^(1/2),阈值电流和微分电阻分别达到0.27 mA和215.965Ω,最大光输出功率为0.9 mW;PI方案可用于调制带宽为25 GHz及以下的产品。这一结果对简化工艺、提高面发射激光器的数据传输速率具有一定的指导意义。 展开更多
关键词 激光器 垂直腔面发射激光器 高速调制 聚酰亚胺平面化 简化工艺
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Enhanced thermal stability of VCSEL array by thermoelectric analysis-based optimization of mesas distribution 被引量:3
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作者 钟础宇 张星 +2 位作者 刘迪 宁永强 王立军 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第6期157-164,共8页
The thermal stability of a vertical-cavity surface-emitting laser(VCSEL) array is enhanced by redesigning the mesa arrangement. Based on a thermoelectric coupling three-dimensional(3D) finite-element model, an opt... The thermal stability of a vertical-cavity surface-emitting laser(VCSEL) array is enhanced by redesigning the mesa arrangement. Based on a thermoelectric coupling three-dimensional(3D) finite-element model, an optimized VCSEL array is designed. The effects of this optimization are studied experimentally. Power density characteristics of VCSEL arrays with different mesa configuration are obtained under different thermal stress in which the optimized device shows improved performance. Optimized device also shows better stability from measured spectra and calculated thermal resistances. The experimental results prove that our simulation model and optimization is instructive for VCSEL array design. 展开更多
关键词 VCSEL array mesa arrangement optimization thermal stability
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应用于VCSEL的宽角度光束控制非周期性高对比度光栅阵列(英文) 被引量:3
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作者 黄佑文 张星 +6 位作者 张建伟 钟础宇 刘莹莹 向磊 秦莉 宁永强 王立军 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第1期20-24,29,共6页
设计了特定周期和占空比的非周期性高对比度光栅来实现光束的波前相位控制,进而实现对光束的多角度控制.在研究中,采用有限时域差分法模拟了特殊排列的非周期高对比度光栅,并获得了-10.644°,-21.176°,-28.307°,10.644... 设计了特定周期和占空比的非周期性高对比度光栅来实现光束的波前相位控制,进而实现对光束的多角度控制.在研究中,采用有限时域差分法模拟了特殊排列的非周期高对比度光栅,并获得了-10.644°,-21.176°,-28.307°,10.644°,21.447°和28.418°的光束控制角度.基于这种多角度控制的高对比度光栅阵列,提出了一种具有多角度光束控制的VCSEL光源,这种尺寸极小的宽角发射VCSEL光源系统能使激光雷达系统的结构紧凑化和微型化. 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器 非周期性高对比度光栅 多偏转角度 光束控制 激光雷达
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中红外片上集成光电子综述(特邀) 被引量:3
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作者 林宏焘 孙博姝 +2 位作者 马辉 钟础宇 巨泽朝 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第1期147-160,共14页
信息技术的发展使得通讯波段集成光子技术在过去的几十年中被广泛重视并取得了突出进展,目前已走向商业化,这一技术的发展也激发了人们对于中红外波段(2~20μm)片上光子集成的兴趣。中红外波段在空间光通信、热成像、物质探测分析等关... 信息技术的发展使得通讯波段集成光子技术在过去的几十年中被广泛重视并取得了突出进展,目前已走向商业化,这一技术的发展也激发了人们对于中红外波段(2~20μm)片上光子集成的兴趣。中红外波段在空间光通信、热成像、物质探测分析等关乎国家发展、国防安全、民生改善等技术领域具有重要的应用前景。利用半导体工艺实现中红外光电子系统芯片小型化在尺寸、功耗以及大规模量产部署具有重大优势。因此,发展中红外片上集成光电子技术具有重大意义。文中主要针对于中红外波段片上集成的一些关键基础器件(如:调制器、探测器)的突破性进展及代表性工作进行了回顾;对各器件的种类、性能、参数及加工手段分别进行了较为全面的调研与比较;同时,也对器件的发展进程、亟待解决的问题以及对未来的展望进行了总结。 展开更多
关键词 中红外 集成光子 光学探测器
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