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金红石和锐钛矿型二氧化钛薄膜的制备和特性评价(英文)
1
作者
苗蕾
钟村
荣
+3 位作者
钟村真幸
森正行
藤昇一
金子贤治
《陕西科技大学学报（自然科学版）》
2004年第5期68-75,共8页
综述了作者近年来通过交流螺旋磁控溅射制备锐钛矿和金红石型微晶薄膜的研究进 展,阐述了薄膜的制备工艺与其晶体结构、组成、光学性能以及杀菌能力的关系,并通过有效的 方法对其光学性能进行了改进。
关键词
金红石
锐钛矿型
二氧化钛薄膜
制备
交流螺旋磁控溅射
光学性能
杀菌能力
表面处理
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职称材料
题名
金红石和锐钛矿型二氧化钛薄膜的制备和特性评价(英文)
1
作者
苗蕾
钟村
荣
钟村真幸
森正行
藤昇一
金子贤治
机构
日本名古屋工业大学环境科学与城市规化系
日本材料科学研究所
日本九州大学超高压电子显微镜和材料科学实验室
出处
《陕西科技大学学报（自然科学版）》
2004年第5期68-75,共8页
文摘
综述了作者近年来通过交流螺旋磁控溅射制备锐钛矿和金红石型微晶薄膜的研究进 展,阐述了薄膜的制备工艺与其晶体结构、组成、光学性能以及杀菌能力的关系,并通过有效的 方法对其光学性能进行了改进。
关键词
金红石
锐钛矿型
二氧化钛薄膜
制备
交流螺旋磁控溅射
光学性能
杀菌能力
表面处理
Keywords
TiO_2 thin film
helicon RF magnetron sputtering
epitaxial growth
optical properties
bactericidal ability
surface treatment
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
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1
金红石和锐钛矿型二氧化钛薄膜的制备和特性评价(英文)
苗蕾
钟村
荣
钟村真幸
森正行
藤昇一
金子贤治
《陕西科技大学学报（自然科学版）》
2004
0
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