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基于热模压和切削减薄工艺制备聚合物微静电驱动器
被引量：
1
1
作者
金敏慧
王洁
+2 位作者
蔡
金
东
吴文渊
李以贵
《微纳电子技术》
北大核心
2019年第9期715-719,共5页
为了满足运输蛋白质、细胞等微纳米级物体的需求,有必要研制聚合物微静电梳齿驱动系统。与硅静电梳齿驱动器相比,聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)静电梳齿驱动器具有成本低、成品率高、驱动电压低和能耗少等优点。首先通过微细加工工艺,制备硅...
为了满足运输蛋白质、细胞等微纳米级物体的需求,有必要研制聚合物微静电梳齿驱动系统。与硅静电梳齿驱动器相比,聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)静电梳齿驱动器具有成本低、成品率高、驱动电压低和能耗少等优点。首先通过微细加工工艺,制备硅静电梳齿驱动器模具。基于硅模具,利用热模压工艺制备PMMA微驱动器,再通过机械切削工艺释放制备好的PMMA微驱动器结构,得到带基底的PMMA微静电梳齿驱动器,最后通过切削减薄工艺,释放静电梳齿微结构,得到可动的PMMA微静电梳齿驱动器。驱动结果表明,PMMA微静电梳齿驱动器制备工艺具有可行性。
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关键词
微驱动器
聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)
硅模具
热模压工艺
切削减薄工艺
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职称材料
用于流速测量的微型力传感器的研制
被引量：
1
2
作者
涂云婷
金敏慧
+1 位作者
张成功
李以贵
《微纳电子技术》
北大核心
2019年第12期992-998,共7页
设计并仿真了一种压阻式六自由度力传感器及其测量电桥,采用微电子机械系统(MEMS)加工技术制备了以单晶硅为结构材料的六自由度力传感器,完成了传感器芯片的封帽式封装。压阻式六自由度力传感器的尺寸为5 mm×5 mm×3 mm,由传...
设计并仿真了一种压阻式六自由度力传感器及其测量电桥,采用微电子机械系统(MEMS)加工技术制备了以单晶硅为结构材料的六自由度力传感器,完成了传感器芯片的封帽式封装。压阻式六自由度力传感器的尺寸为5 mm×5 mm×3 mm,由传感器芯片、探测柱和封装外壳组成。基于流体的绕流阻力效应,完成了压阻式六自由度力传感器水流流速检测实验。实验证明,该传感器的量程为0~0.55 m/s,可以灵敏检测到低速水流的波动性变化,并且传感器在水流速度为0.45~0.55 m/s的测量范围内灵敏度较高。利用单晶硅材料易于小型化、滞后极小的特点,该六自由度力传感器响应快、环境适应性强、可批量制造。
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关键词
微电子机械系统(MEMS)
六自由度(6-DOF)
力传感器
封装
流速传感器
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职称材料
用于植保无人机的MEMS热式风速传感器的研制与应用
3
作者
李以贵
金敏慧
+2 位作者
王佩英
邱霁玄
张成功
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2021年第7期621-626,共6页
针对传统农用植保无人机(UAV)在喷洒作业过程中受环境风速影响造成的农药飘移及喷洒效率低等问题,研制了一种可应用于植保UAV的大量程柔性微电子机械系统(MEMS)热式风速传感器。该传感器选用聚酰亚胺(PI)作为柔性衬底材料,金属铂(Pt)作...
针对传统农用植保无人机(UAV)在喷洒作业过程中受环境风速影响造成的农药飘移及喷洒效率低等问题,研制了一种可应用于植保UAV的大量程柔性微电子机械系统(MEMS)热式风速传感器。该传感器选用聚酰亚胺(PI)作为柔性衬底材料,金属铂(Pt)作为热敏电阻材料,利用磁控溅射技术、电镀和光刻工艺等MEMS制备工艺完成了带空腔的新型风速传感器的制备,其具有体积小、灵敏度高和可贴合于曲面等优点。对传感器热敏电阻进行标定并采用恒温差电路工作方式,通过实验测试,传感器的风速测量范围为0~30 m/s,灵敏度可达6.20 mV/ms^(-1),满足植保UAV飞行过程中对环境风速的测量要求。
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关键词
柔性风速传感器
微电子机械系统(MEMS)
植保无人机(UAV)
热敏电阻
环境风速
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职称材料
题名
基于热模压和切削减薄工艺制备聚合物微静电驱动器
被引量：
1
1
作者
金敏慧
王洁
蔡
金
东
吴文渊
李以贵
机构
上海应用技术大学理学院
上海应用技术大学机械工程学院
出处
《微纳电子技术》
北大核心
2019年第9期715-719,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目（51035005）
上海市农委重点项目（沪农科创字（2018）第3-3号）
文摘
为了满足运输蛋白质、细胞等微纳米级物体的需求,有必要研制聚合物微静电梳齿驱动系统。与硅静电梳齿驱动器相比,聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)静电梳齿驱动器具有成本低、成品率高、驱动电压低和能耗少等优点。首先通过微细加工工艺,制备硅静电梳齿驱动器模具。基于硅模具,利用热模压工艺制备PMMA微驱动器,再通过机械切削工艺释放制备好的PMMA微驱动器结构,得到带基底的PMMA微静电梳齿驱动器,最后通过切削减薄工艺,释放静电梳齿微结构,得到可动的PMMA微静电梳齿驱动器。驱动结果表明,PMMA微静电梳齿驱动器制备工艺具有可行性。
关键词
微驱动器
聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)
硅模具
热模压工艺
切削减薄工艺
Keywords
micro-actuator
polymethyl methacrylate (PMMA)
silicon mold
hot-embossingprocess
cutting process
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
用于流速测量的微型力传感器的研制
被引量：
1
2
作者
涂云婷
金敏慧
张成功
李以贵
机构
上海应用技术大学理学院
出处
《微纳电子技术》
北大核心
2019年第12期992-998,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(51035005)
上海市农委重点项目子项目(沪农科创字(2018)第3-3号))
2019届毕业设计(论文)重点项目经费(1011LW190038-A22)
文摘
设计并仿真了一种压阻式六自由度力传感器及其测量电桥,采用微电子机械系统(MEMS)加工技术制备了以单晶硅为结构材料的六自由度力传感器,完成了传感器芯片的封帽式封装。压阻式六自由度力传感器的尺寸为5 mm×5 mm×3 mm,由传感器芯片、探测柱和封装外壳组成。基于流体的绕流阻力效应,完成了压阻式六自由度力传感器水流流速检测实验。实验证明,该传感器的量程为0~0.55 m/s,可以灵敏检测到低速水流的波动性变化,并且传感器在水流速度为0.45~0.55 m/s的测量范围内灵敏度较高。利用单晶硅材料易于小型化、滞后极小的特点,该六自由度力传感器响应快、环境适应性强、可批量制造。
关键词
微电子机械系统(MEMS)
六自由度(6-DOF)
力传感器
封装
流速传感器
Keywords
micro-electromechanical system(MEMS)
six degrees of freedom(6-DOF)
force sensor
package
flow velocity sensor
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
用于植保无人机的MEMS热式风速传感器的研制与应用
3
作者
李以贵
金敏慧
王佩英
邱霁玄
张成功
机构
上海应用技术大学理学院
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2021年第7期621-626,共6页
基金
上海市农委重点项目(沪农科创字(2018)第3-3号)。
文摘
针对传统农用植保无人机(UAV)在喷洒作业过程中受环境风速影响造成的农药飘移及喷洒效率低等问题,研制了一种可应用于植保UAV的大量程柔性微电子机械系统(MEMS)热式风速传感器。该传感器选用聚酰亚胺(PI)作为柔性衬底材料,金属铂(Pt)作为热敏电阻材料,利用磁控溅射技术、电镀和光刻工艺等MEMS制备工艺完成了带空腔的新型风速传感器的制备,其具有体积小、灵敏度高和可贴合于曲面等优点。对传感器热敏电阻进行标定并采用恒温差电路工作方式,通过实验测试,传感器的风速测量范围为0~30 m/s,灵敏度可达6.20 mV/ms^(-1),满足植保UAV飞行过程中对环境风速的测量要求。
关键词
柔性风速传感器
微电子机械系统(MEMS)
植保无人机(UAV)
热敏电阻
环境风速
Keywords
flexible wind speed sensor
micro-electromechanical system(MEMS)
plant protection unmanned aerial vehicle(UAV)
thermistor
ambient wind speed
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于热模压和切削减薄工艺制备聚合物微静电驱动器
金敏慧
王洁
蔡
金
东
吴文渊
李以贵
《微纳电子技术》
北大核心
2019
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
用于流速测量的微型力传感器的研制
涂云婷
金敏慧
张成功
李以贵
《微纳电子技术》
北大核心
2019
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
用于植保无人机的MEMS热式风速传感器的研制与应用
李以贵
金敏慧
王佩英
邱霁玄
张成功
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2021
0
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职称材料
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