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基于微加热器平台的高性能甲烷传感器
被引量：
3
1
作者
郭联峰
许宗珂
+1 位作者
段国韬
李铁
《郑州大学学报（工学版）》
CAS
北大核心
2016年第3期40-43,共4页
设计制造了基于微型加热器平台(MHP)的甲烷气体传感器.微加热器平台因其功耗低、体积小等特点可广泛应用于半导体气体传感器中.微加热器平台的制作是基于IC兼容的MEMS工艺完成的,利用模板法在MHP上原位制备二氧化锡(SnO_2)有序多孔薄膜...
设计制造了基于微型加热器平台(MHP)的甲烷气体传感器.微加热器平台因其功耗低、体积小等特点可广泛应用于半导体气体传感器中.微加热器平台的制作是基于IC兼容的MEMS工艺完成的,利用模板法在MHP上原位制备二氧化锡(SnO_2)有序多孔薄膜得到微纳融合气体传感器.利用这种方法制造的传感器功耗仅39 m W,响应时间2 s,对714 mg/m^3甲烷的响应可达到1.19,对甲烷的探测下限可达18 mg/m^3.此高性能、低成本的传感器有望在生产生活、安全监控等方面得到广泛应用.
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关键词
甲烷传感器
微加热器平台
原位制备二氧化锡
模板法
微纳融合
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职称材料
题名
基于微加热器平台的高性能甲烷传感器
被引量：
3
1
作者
郭联峰
许宗珂
段国韬
李铁
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
微系统技术国家实验室
中国科学院固体物理研究所
出处
《郑州大学学报（工学版）》
CAS
北大核心
2016年第3期40-43,共4页
基金
国家科技支撑计划课题(2012BAJ11B01)
国家自然科学基金创新群体项目(61321492)
国家自然科学基金重大研究计划集成项目(91323304)
文摘
设计制造了基于微型加热器平台(MHP)的甲烷气体传感器.微加热器平台因其功耗低、体积小等特点可广泛应用于半导体气体传感器中.微加热器平台的制作是基于IC兼容的MEMS工艺完成的,利用模板法在MHP上原位制备二氧化锡(SnO_2)有序多孔薄膜得到微纳融合气体传感器.利用这种方法制造的传感器功耗仅39 m W,响应时间2 s,对714 mg/m^3甲烷的响应可达到1.19,对甲烷的探测下限可达18 mg/m^3.此高性能、低成本的传感器有望在生产生活、安全监控等方面得到广泛应用.
关键词
甲烷传感器
微加热器平台
原位制备二氧化锡
模板法
微纳融合
Keywords
methane gas sensor
micro-hotplatform
tin dioxide in-situ fabrication
template method
micro/ nano fusion
分类号
TP212.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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出处
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被引量
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1
基于微加热器平台的高性能甲烷传感器
郭联峰
许宗珂
段国韬
李铁
《郑州大学学报（工学版）》
CAS
北大核心
2016
3
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