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苯/环己烷/环己烯萃取精馏过程的流程设计与节能 被引量：2
1
作者 杨林睿 刘鉴漪 +4 位作者 李玲 何永超 郑凯天 任建坡 许春建 《化工学报》 北大核心 2025年第2期731-743,共13页
环己烯是重要的化工原料,苯部分加氢法是生产环己烯的重要途径,其加氢产物中存在未转化的苯和副产物环己烷,精馏分离过程能耗巨大。以苯/环己烷/环己烯精馏过程的节能为研究对象,采用Aspen Plus模拟进行了工业四塔萃取精馏流程(FC)和三... 环己烯是重要的化工原料,苯部分加氢法是生产环己烯的重要途径,其加氢产物中存在未转化的苯和副产物环己烷,精馏分离过程能耗巨大。以苯/环己烷/环己烯精馏过程的节能为研究对象,采用Aspen Plus模拟进行了工业四塔萃取精馏流程(FC)和三塔萃取精馏流程(TC)的优化设计和经济性对比,并确定TC流程为较优流程。在TC流程基础上,提出了热集成流程(TH)、热泵辅助热集成流程(THP)、隔壁塔-苯塔流程(EC1)、环己烷塔-隔壁塔流程(EC2)、热泵辅助隔壁塔-苯塔流程(EHP1)和热泵辅助环己烷塔-隔壁塔流程(EHP2)。结果表明,与三塔萃取精馏流程相比,改进流程相比于TC流程在TAC、能耗和CO_(2)排放量上均有不同程度的降低,其中EHP2流程的年度总成本、能耗和CO_(2)排放量分别降低了21.1%、32.6%和31.7%,是最佳的流程。 展开更多
关键词 精馏 纯化 分离 模拟 环己烯
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三氟化氮精馏分离流程的设计与控制
2
作者 孟祥军 杨林睿 +5 位作者 彭立培 杨献奎 花莹曦 张人仁 郑凯天 许春建 《化工学报》 北大核心 2025年第2期707-717,共11页
三氟化氮在集成电路制造的刻蚀和清洗工艺中起到关键作用,其产品纯度和纯度稳定性要求高,精馏过程能耗大。以三氟化氮精馏过程的节能和可控性为研究对象系统研究了三氟化氮精馏过程的分离序列、热集成和过程控制:在工业现有的顺式分离... 三氟化氮在集成电路制造的刻蚀和清洗工艺中起到关键作用,其产品纯度和纯度稳定性要求高,精馏过程能耗大。以三氟化氮精馏过程的节能和可控性为研究对象系统研究了三氟化氮精馏过程的分离序列、热集成和过程控制:在工业现有的顺式分离序列流程基础上提出反式分离序列流程、热集成顺式分离序列流程和热集成反式分离序列流程,模拟计算结果表明热集成反式分离序列流程为较优流程,在年处理量为120000 kmol的情况下与顺式分离序列流程相比年度总成本降低了96.4万元;对顺式分离序列流程和热集成反式分离序列流程进行了动态控制结构研究,结果表明提出的控制结构对进料流量和组成的干扰具有良好的控制性能。研究结果可为工业化的三氟化氮精馏过程的节能和控制提供参考。 展开更多
关键词 精馏 纯化 分离 动态模拟
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集成电路用电子特气合成与纯化技术研究进展 被引量：4
3
作者 孟祥军 花莹曦 +6 位作者 冯昭宇 郑凯天 尚青 姚冰洁 李茹霞 李绍波 许春建 《化学工程》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期46-52,78,共8页
电子特气在集成电路制造过程的多个关键工艺步骤中发挥着重要作用。为确保最终的集成电路产品具备良好的电性指标及良品率,要求电子特气具有很高的产品纯度和严苛的质量一致性。然而,电子气体种类繁多,关键杂质种类及含量标准各不相同,... 电子特气在集成电路制造过程的多个关键工艺步骤中发挥着重要作用。为确保最终的集成电路产品具备良好的电性指标及良品率,要求电子特气具有很高的产品纯度和严苛的质量一致性。然而,电子气体种类繁多,关键杂质种类及含量标准各不相同,因此各种电子特气的合成及纯化手段存在较大差异。文中重点关注市场需求量大的三氟化氮、六氟化钨和六氟丁二烯等产品,系统总结在电子特气合成与纯化过程中相关合成与纯化技术的研究进展及共性技术问题,以期为集成电路制造用电子特气的行业发展与技术进步提供参考和借鉴。 展开更多
关键词 集成电路 气体 电解 合成 分离 纯化
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