磁控溅射制备掺银TiO_2薄膜的光催化特性研究 被引量：5

1

作者 邱成军 曹茂盛 +3 位作者 张辉军 刘红梅 田风军 刘鑫 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期35-37,46,共4页

利用交流磁控溅射设备采用金属Ti靶在石英和硅衬底制备掺银TiO2薄膜,并利用SEM,XRD及吸收光谱等方法分析测试TiO2薄膜的性质,探讨了掺银对TiO2薄膜吸收光谱的影响。并通过对甲基橙溶液浓度变化研究了掺银TiO2薄膜光催化特性,分析了掺银... 利用交流磁控溅射设备采用金属Ti靶在石英和硅衬底制备掺银TiO2薄膜,并利用SEM,XRD及吸收光谱等方法分析测试TiO2薄膜的性质,探讨了掺银对TiO2薄膜吸收光谱的影响。并通过对甲基橙溶液浓度变化研究了掺银TiO2薄膜光催化特性,分析了掺银对TiO2薄膜增强光催化作用的工作机理,研究结果表明掺银有利于TiO2薄膜对有机物的降解作用。 展开更多

关键词 薄膜 锐钛矿相 射频磁控溅射 光催化活性

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纳米薄膜材料的研究进展 被引量：33

2

作者 邱成军 曹茂盛 +1 位作者 朱静 杨慧静 《材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 2001年第4期132-137,共6页

纳米薄膜材料是一种新型材料 ,由于其特殊的结构特点 ,使其作为功能材料和结构材料都具有良好的发展前景。本文综述了近几年来国内外对纳米薄膜材料研究的最新进展 ,包括对该类材料的制备方法、微结构、电、磁。

关键词 纳米薄膜材料 制备 微结构 性能

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溶胶-凝胶法制作PZT微驱动器的研究 被引量：2

3

作者 邱成军 刘红梅 +3 位作者 张辉军 赵全亮 孟丽娜 曹茂盛 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期24-27,共4页

采用溶胶-凝胶法(Sol-gel)制备了PZT压电薄膜,利用PZT的压电效应制作以PZT薄膜为驱动的V型阀微驱动器。针对微驱动器的关键结构驱动膜,探索了Si/SiO2/Ti/Au/PZT/Cr/Au多层驱动膜结构制备方法,解决了在硅基底上制备PZT薄膜的问题,同时详... 采用溶胶-凝胶法(Sol-gel)制备了PZT压电薄膜,利用PZT的压电效应制作以PZT薄膜为驱动的V型阀微驱动器。针对微驱动器的关键结构驱动膜,探索了Si/SiO2/Ti/Au/PZT/Cr/Au多层驱动膜结构制备方法,解决了在硅基底上制备PZT薄膜的问题,同时详细探讨了硅各向异性刻蚀微驱动器的关键部件驱动腔、单向阀的工艺,解决了集成制作的V型阀微驱动器的关键工艺问题,并通过SEM照片对V型阀和多层驱动膜进行了表征。研究结果表明,采用MEMS与IC技术结合的方法成功地完成了微驱动器的研制,得到的驱动腔硅杯平坦均匀。在V型阀微驱动器整体设计中需要的硅片数目少,降低了器件的复杂性,可以满足低功耗、小型化和批量生产的要求。 展开更多

关键词 PZT薄膜 溶胶-凝胶法 各向异性刻蚀 微驱动器 MEMS

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以溶胶-凝胶法PZT薄膜为驱动的微泵研制(英文)

4

作者 邱成军 曲伟 +3 位作者 刘红梅 赵全亮 卜丹 曹茂盛 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期846-849,共4页

采用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备技术制作了Pb(Zr,Ti)O3(PZT)压电薄膜,并以PZT薄膜为驱动制作了微泵。采用了V型微阀的微泵主要利用PZT的压电效应。针对微泵的关键结构——复合驱动膜,探索了一种Si/SiO2/Ti/Au/PZT/Cr/Au多层驱动膜结构制... 采用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备技术制作了Pb(Zr,Ti)O3(PZT)压电薄膜,并以PZT薄膜为驱动制作了微泵。采用了V型微阀的微泵主要利用PZT的压电效应。针对微泵的关键结构——复合驱动膜,探索了一种Si/SiO2/Ti/Au/PZT/Cr/Au多层驱动膜结构制备方法,解决了在硅基底上制备PZT薄膜的问题,同时探讨并解决了硅各向异性刻蚀微泵的微驱动腔、单向阀的工艺问题,并通过SEM照片对V型阀和多层驱动膜进行了表征。研究结果表明,采用MEMS技术成功地完成了微驱动器的研制,得到的驱动腔硅杯平坦均匀。在V型阀微泵整体设计中需要的硅片数目少,降低了器件的复杂性,可以满足功耗低、小型化和批量生产的要求。 展开更多

关键词 PZT薄膜 溶胶-凝胶法 各向异性刻蚀 微泵 MEMS

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书香校园背景下高职图书馆阅读推广分析 被引量：2

5

作者 邱成军 曾泽洁 《兰台内外》 2021年第1期61-63,共3页

高职图书馆高效科学地实施图书馆推广工作,将有助于高职院校建设书香校园。书香校园是书香社会的重要组成,对高职的人才培养有着显著价值意义,也是高职图书馆发展的终极目标,对此,必须要强化阅读推广工作,助力学校建设书香校园。目前,... 高职图书馆高效科学地实施图书馆推广工作,将有助于高职院校建设书香校园。书香校园是书香社会的重要组成,对高职的人才培养有着显著价值意义,也是高职图书馆发展的终极目标,对此,必须要强化阅读推广工作,助力学校建设书香校园。目前,部分高职图书馆在书香校园建设中,所采取的阅读推广形式,存在一些短板和不足,阅读推广效果不佳,因而从两个角度分析了如何在书香校园背景下实施阅读推广,一方面针对当前高职图书馆阅读推广工作实施中存在的短板和不足,提出了针对性的改善措施,另一方面则从宏观上思考了如何围绕书香校园建设来完善图书馆建设,并为阅读推广提供必要的支撑。本文以期可以为高职图书馆阅读推广,促进书香校园的形成提供一些理论参考建议。 展开更多

关键词 书香校园 高职图书馆 阅读推广

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新时期高职院校图书馆读者服务创新策略 被引量：1

6

作者 邱成军 曾泽洁 《兰台内外》 2020年第32期67-69,共3页

图书馆工作,在新时期对于高职院校教育活动开展具有积极的支撑作用。如何创新读者服务,是图书馆工作人员应该思考的问题。本文首先就新时期背景下,高职院校图书馆读者服务的基本内容进行阐述,并在此基础上,分析了新时期背景下,创新高职... 图书馆工作,在新时期对于高职院校教育活动开展具有积极的支撑作用。如何创新读者服务,是图书馆工作人员应该思考的问题。本文首先就新时期背景下,高职院校图书馆读者服务的基本内容进行阐述,并在此基础上,分析了新时期背景下,创新高职院校图书馆读者服务工作的意义价值。最后,基于笔者个人经验,建设性地提出了创新高职院校图书馆读者服务的有效措施,希望能够为从事相关领域工作的人员带来一定价值的参考,并希望本篇文章在业内起到抛砖引玉的作用。 展开更多

关键词 新时期 高职院校 图书馆 读者服务

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溶胶-凝胶法制备纳米PZT粉体及结构表征 被引量：9

7

作者 刘红梅 张德庆 +4 位作者 林海波 张亮 刘海涛 邱成军 曹茂盛 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期52-54,59,共4页

采用改进的溶胶-凝胶法，以乙二醇为溶剂，硝酸锆为锆源，制备了纳米Pb（Zr0.52Ti0.48）O3粉体。通过溶胶的红外光谱分析给出了溶胶、凝胶形成的机理。通过IR，TG-DTA，XRD，SEM，TEM分析对PZT纳米晶的生长过程及性能进行了表征。实验... 采用改进的溶胶-凝胶法，以乙二醇为溶剂，硝酸锆为锆源，制备了纳米Pb（Zr0.52Ti0.48）O3粉体。通过溶胶的红外光谱分析给出了溶胶、凝胶形成的机理。通过IR，TG-DTA，XRD，SEM，TEM分析对PZT纳米晶的生长过程及性能进行了表征。实验证明：在650℃热处理2h，获得较完整钙钛矿型PZT，粒径约为50～100nm。 展开更多

关键词 溶胶-凝胶 乙二醇 锆钛酸铅 纳米粉体

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用于固液界面减阻无氟超疏水表面制备新方法 被引量：8

8

作者 李思奇 刘晓为 +4 位作者 邱成军 李玲 张海峰 卜丹 林连冬 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期152-156,共5页

现阶段超疏减阻表面常用低表面能的氟化剂制备不绿色环保,为实现超疏水减阻表面的无氟化,提出一种可用于固液界面减阻的无氟铝合金超疏水表面制备新方法.首先,采用化学腐蚀技术在铝合金基底上快速制备微纳量级表面粗糙结构,再利用天然... 现阶段超疏减阻表面常用低表面能的氟化剂制备不绿色环保,为实现超疏水减阻表面的无氟化,提出一种可用于固液界面减阻的无氟铝合金超疏水表面制备新方法.首先,采用化学腐蚀技术在铝合金基底上快速制备微纳量级表面粗糙结构,再利用天然松香溶液和炭黑悬浊液进行表面修饰改性处理,替代传统氟化物.在表征上,分别采用扫描电子显微镜(SEM)、接触角测量仪和X射线能谱分析(EDS)来分别表征微观结构尺寸、表面润湿性和元素分析.通过不断优化表面结构和修饰溶液浓度,在铝合金样品上制备出接触角为155°,滚动角为1.38°处于Cassie模型状态的超疏水表面.结果表明:所构建的无氟超疏水表面经受80次浸没取出循环完整性良好,此外在速度为1.4 m/s连续水滴冲击3 h后仍保持良好的超疏特性;通过减阻冲刷实验装置测试,在0.5~3.5 m/s冲刷流速范围内,本方法制备的无氟超疏表面可达到20%~30%减阻率,从而验证了新方法在超疏减阻应用中的有效性.整个制备过程简单、成本低廉且无氟环保,利于规模化生产应用. 展开更多

关键词 无氟 超疏水 减阻 铝合金 微纳结构

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碳纳米管表面修饰的研究进展 被引量：6

9

作者 曹茂盛 邱成军 朱静 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 2003年第4期59-62,共4页

回顾了碳纳米管表面修饰的理论与实验方法,详细介绍了碳纳米管表面修饰的新方法和最新研究进展,并对碳纳米管表面修饰技术给出了简要评价。

关键词 碳纳米管 表面修饰 化学镀 电镀 气相沉积

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触觉传感器非线性补偿仿生算法 被引量：2

10

作者 林连冬 李思奇 +2 位作者 陈春雨 邱成军 田志宏 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期288-292,共5页

为解决触觉传感器非线性误差大的问题,本文提出了一种基于动态密度聚类改进的自适应多种群遗传算法(IMPGA)。IMPGA算法通过对个体相似度的动态聚类分析生成多个子种群,各子种群采用自适应交叉、变异概率并行进化,提高了搜索全局最优解... 为解决触觉传感器非线性误差大的问题,本文提出了一种基于动态密度聚类改进的自适应多种群遗传算法(IMPGA)。IMPGA算法通过对个体相似度的动态聚类分析生成多个子种群,各子种群采用自适应交叉、变异概率并行进化,提高了搜索全局最优解的效率。通过动态邻域搜索策略提高算法局部搜索的能力,通过移民算子保持每个种群的多样性和进化动力。实验表明通过IMPGA算法优化的BP神经网络能够有效减小触觉传感器非线性拟合误差,鲁棒性能好。 展开更多

关键词 仿生算法 触觉传感器 非线性补偿 密度聚类 多种群遗传算法 非线性函数拟合 动态邻域搜索 移民算子

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用于压电悬臂梁的PZT厚膜的溶胶-凝胶制备及表征 被引量：2

11

作者 刘红梅 赵全亮 +2 位作者 段中夏 邱成军 曹茂盛 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期1499-1502,共4页

研究了一种用于制备硅基压电悬臂梁的PZT厚膜溶胶-凝胶工艺.该工艺通过采用交替旋涂法,将PZT溶胶与PZT纳米粉混合形成浆料,再和澄清PZT溶胶交替涂覆在Au/Cr/SiO2/Si的硅基悬臂梁结构上,当达到所需的厚度后再进行热处理.实验证明,热处理... 研究了一种用于制备硅基压电悬臂梁的PZT厚膜溶胶-凝胶工艺.该工艺通过采用交替旋涂法,将PZT溶胶与PZT纳米粉混合形成浆料,再和澄清PZT溶胶交替涂覆在Au/Cr/SiO2/Si的硅基悬臂梁结构上,当达到所需的厚度后再进行热处理.实验证明,热处理温度在650℃,处理时间15 min时,XRD结构表征显示PZT厚膜获得钙钛矿相结构,SEM中厚膜断面清晰,表面紧密、均匀、平整.铁电性能测试表明矫顽场为50kV/cm,饱和极化强度为54μC/cm2,剩余极化强度为30μC/cm2.同时,硅基悬臂梁结构采用典型的半导体光刻工艺,利用BHF/HCl溶液成功地刻蚀了PZT厚膜,并运用微机械加工技术刻蚀出硅悬臂梁结构. 展开更多

关键词 锆钛酸铅 厚膜 溶胶-凝胶 悬臂梁

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PZT薄膜在MEMS器件中的研究进展 被引量：6

12

作者 刘红梅 邱成军 曹茂盛 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期37-40,共4页

主要介绍在MEMS器件中PZT薄膜制备的方法、制备过程中需要解决的问题、PZT薄膜与MEMS的集成以及PZT在MEMS中的应用的研究进展,并展望了PZT薄膜的应用前景。

关键词 PZT 薄膜 MEMS

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基于最小二乘法的Pt100曲线拟合算法的研究 被引量：7

13

作者 吴大军 杨姗姗 邱成军 《安徽农业科学》 CAS 北大核心 2011年第20期11989-11990,共2页

采用最小二乘法对Pt100进行拟合,推导曲线方程,并进行试验。结果表明,Pt100传感器具有精度高、重复性好等特点,适合油田洗井测温和设施农业。

关键词 PT100 最小二乘法 洗井

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PZT纳米晶的改进型溶胶-凝胶法制备及其生长过程研究 被引量：1

14

作者 张德庆 林海波 +3 位作者 刘红梅 刘海涛 邱成军 曹茂盛 《高技术通讯》 CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1154-1158,共5页

以乙二醇为溶剂，硝酸锆为锆源，采用改进的溶胶-凝胶法，通过优化工艺参数制备了纳米Pb（Zr0.52Ti0．48）O3（PZT）。通过对工艺条件研究，揭示了体系的凝胶化可通过升高温度和增加pH值来实现。通过对溶胶的红外光谱分析给出了溶胶、... 以乙二醇为溶剂，硝酸锆为锆源，采用改进的溶胶-凝胶法，通过优化工艺参数制备了纳米Pb（Zr0.52Ti0．48）O3（PZT）。通过对工艺条件研究，揭示了体系的凝胶化可通过升高温度和增加pH值来实现。通过对溶胶的红外光谱分析给出了溶胶、凝胶形成的机理。通过TG-DTA、XRD、SEM、TEM等手段对从凝胶到PZT纳米晶的生长过程及性能进行了表征。实验证明，改进后工艺简单易行，溶胶稳定，干凝胶在650℃热处理2h，获得较完整的钙钛矿型PZT，粒径约为50-100nm。 展开更多

关键词 溶胶-凝胶 乙二醇 锆钛酸铅 纳米晶

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MEMS集成应用的纳米结构PZT厚膜形成工艺研究 被引量：1

15

作者 刘红梅 邱成军 +2 位作者 张德庆 张辉军 曹茂盛 《高技术通讯》 CAS CSCD 北大核心 2006年第6期606-609,共4页

提出了制备PZT厚膜的一种新的旋转涂覆方法。采用0-3复合法将PZT溶胶与PZT纳米粉混合形成浆料，并与PZT溶胶交替涂覆在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上，使PZT厚度达2μm，并且使PZT表面质量得到了改善。利用XRD和SEM对PzT厚膜的组织和结构进行... 提出了制备PZT厚膜的一种新的旋转涂覆方法。采用0-3复合法将PZT溶胶与PZT纳米粉混合形成浆料，并与PZT溶胶交替涂覆在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上，使PZT厚度达2μm，并且使PZT表面质量得到了改善。利用XRD和SEM对PzT厚膜的组织和结构进行了表征。得到的薄膜无裂纹，结晶和表面平整度良好，可用于MEMS中微型传感器和微型驱动器的制作。 展开更多

关键词 nano-PZT 厚膜 MEMS

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MEMS硅梁谐振式传感器的研究 被引量：1

16

作者 卜丹 邱成军 《微纳电子技术》 CAS 2008年第9期527-531,共5页

通过对硅梁谐振式传感器工作原理的研究,结合Intellisuite软件对硅微悬臂梁谐振器的振动特性进行了分析,设计了具有悬臂梁结构的电热激励/压阻拾振的谐振式传感器,这种传感器具有体积小、功耗低、灵敏度高、准数字信号输出、成本低、与... 通过对硅梁谐振式传感器工作原理的研究,结合Intellisuite软件对硅微悬臂梁谐振器的振动特性进行了分析,设计了具有悬臂梁结构的电热激励/压阻拾振的谐振式传感器,这种传感器具有体积小、功耗低、灵敏度高、准数字信号输出、成本低、与集成电路工艺兼容等优点。对研究制作过程中的关键工艺——各向异性腐蚀技术,尤其是对低温下的腐蚀工艺进行了实验研究,采用高低温相结合的湿法腐蚀工艺制作了微悬臂梁结构,通过实验分析了利用新型有机薄膜对各向异性腐蚀过程中的MEMS器件金属电极的保护效果,为实际生产和设计提供了参考依据。 展开更多

关键词 传感器 微电子机械系统 悬臂梁 各向异性 湿法腐蚀

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简易磁通计的研制

17

作者 曲伟 宋起超 邱成军 《交通科技与经济》 2003年第2期40-41,共2页

介绍了一种简易测量弱磁场的简易磁通计的设计原理,仪器功能及实验结果。

关键词 简易磁通计 研制 弱磁场 设计原理 磁敏器件 传感电路

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高性能PZT压电厚膜及MEMS微驱动器技术研究

18

作者 曹茂盛 路冉 +3 位作者 赵全亮 刘红梅 邱成军 袁杰 《黑龙江大学工程学报》 2011年第3期76-84,共9页

运用混合溶胶-凝胶法制备了具有钛酸铅(PT)种子层的PZT基压电复合厚膜,包括(100)取向PZT压电厚膜,PZT纳米颗粒增强PZT压电复合厚膜((0-3)PZT)和氧化锌晶须增强PZT复合厚膜(ZnOw-PZT)。通过结构表征,研究了工艺条件和膜厚对PZT基厚膜的... 运用混合溶胶-凝胶法制备了具有钛酸铅(PT)种子层的PZT基压电复合厚膜,包括(100)取向PZT压电厚膜,PZT纳米颗粒增强PZT压电复合厚膜((0-3)PZT)和氧化锌晶须增强PZT复合厚膜(ZnOw-PZT)。通过结构表征,研究了工艺条件和膜厚对PZT基厚膜的生长、结晶、取向和微结构的影响,给出最佳工艺条件。并介绍了无阀型压电MEMS微泵、V型阀式压电MEMS微泵、压电悬臂梁和三压电悬臂驱动的悬浮膜片式MEMS微镜等微器件的性能。 展开更多

关键词 PZT 厚膜 溶胶-凝胶法 MEMS

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碳纳米管应用于聚合物抗静电纤维的研究 被引量：6

19

作者 李辰砂 刘海涛 +5 位作者 邱成军 曹茂盛 张景东 卢伟哲 李志 梁吉 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2002年第12期39-44,共6页

基于聚合物与抗静电载体混纺而形成的“海岛”型内部结构 ,通过极化放电而消除静电的抗静电原理 ,将碳纳米管应用于聚合物抗静电纤维。摩擦静电荷测试结果显示 ,碳纳米管由于具有优异的导电性 ,强化抗静电载体周围的电场 ,从而显著地提... 基于聚合物与抗静电载体混纺而形成的“海岛”型内部结构 ,通过极化放电而消除静电的抗静电原理 ,将碳纳米管应用于聚合物抗静电纤维。摩擦静电荷测试结果显示 ,碳纳米管由于具有优异的导电性 ,强化抗静电载体周围的电场 ,从而显著地提高了聚合物纤维的抗静电能力。经过改性处理的碳纳米管 ,如空气活化和酸处理等 ,抗静电效果更加显著 ,尤其是金属沉积处理的碳纳米管 ,抗静电效果最为显著。说明碳纳米管在抗静电聚合物纤维领域是很有应用前途。 展开更多

关键词 抗静电纤维 碳纳米管 聚合物纤维 空气活化 酸煮处理 金属沉积处理 摩擦静电荷

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碳纳米管粉体的高温石墨化处理 被引量：1

20

作者 李辰砂 曹茂盛 +6 位作者 胡晓清 卢伟哲 李志 梁吉 刘海涛 邱成军 张景东 《航空制造技术》 北大核心 2003年第3期37-39,共3页

碳纳米管为具纳米级尺寸的新型碳材料 ,有优异的电化学稳定性 ,可呈现导体性质 ,故有许多潜在应用价值。但碳纳米管原始粉体通常夹杂非晶碳 ,本文叙述了对粉体实施高温、高压的石墨化处理 ,该方法可使非晶碳转变为晶态碳 ,从而改善碳纳... 碳纳米管为具纳米级尺寸的新型碳材料 ,有优异的电化学稳定性 ,可呈现导体性质 ,故有许多潜在应用价值。但碳纳米管原始粉体通常夹杂非晶碳 ,本文叙述了对粉体实施高温、高压的石墨化处理 ,该方法可使非晶碳转变为晶态碳 ,从而改善碳纳米管的性能。 展开更多

关键词 碳纳米管 粉体 石墨化处理 高温处理 晶态碳

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