不锈钢材料高温力学性能与本构模型

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作者 邢哲 全坤韬 +2 位作者 毋凯冬 范圣刚 王元清 《东南大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第2期410-417,共8页

不锈钢材料的高温力学性能是研究不锈钢结构抗火性能的基础。不锈钢作为一种高性能钢材,相较于普通碳钢,具有非线性强、无明显屈服点和屈服平台、应变硬化显著以及抗火性能优异等特性。基于一组不锈钢的高温材性试验,综合大量国内外不... 不锈钢材料的高温力学性能是研究不锈钢结构抗火性能的基础。不锈钢作为一种高性能钢材,相较于普通碳钢,具有非线性强、无明显屈服点和屈服平台、应变硬化显著以及抗火性能优异等特性。基于一组不锈钢的高温材性试验,综合大量国内外不锈钢材料的高温力学性能试验结果,对不同牌号的不锈钢进行分组,并给出了较为准确的不锈钢材料力学性能的高温折减系数及相关计算公式。基于我国《不锈钢结构技术规程》(CECS 410—2015)中不锈钢材料的常温本构模型,提出了不锈钢材料的高温本构模型,并利用该组不锈钢材料的高温力学性能试验结果对模型的准确性加以验证。结果显示,该模型预测结果总体相对准确,可为我国后续不锈钢结构抗火性能的研究和设计提供参考依据。 展开更多

关键词 不锈钢 高温 材料力学性能 折减系数 本构模型

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利用γ辐照在泡沫镍表面原位合成高循环稳定性及高比电容超级电容器NiMoO_(4)正极材料

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作者 张凯 颜伟 +8 位作者 吴茂生 龙译文 张帆 韩泓炜 程霄琳 郭丰 邢哲 胡江涛 吴国忠 《辐射研究与辐射工艺学报》 CAS CSCD 2024年第6期115-125,共11页

为提高超级电容器的电容性能,采用辐照技术将钼源引入泡沫镍(NF)表面,制备NiMoO_(4)电极材料。通过调整吸收剂量,对材料形貌、微观结构和电化学性能进行优化。在泡沫镍表面原位合成的NiMoO_(4)可直接用作超级电容器的正极材料,展现出优... 为提高超级电容器的电容性能,采用辐照技术将钼源引入泡沫镍(NF)表面,制备NiMoO_(4)电极材料。通过调整吸收剂量,对材料形貌、微观结构和电化学性能进行优化。在泡沫镍表面原位合成的NiMoO_(4)可直接用作超级电容器的正极材料,展现出优异的储能性能。在1 A/g电流密度下,其比电容达到586.1 C/g,在15 A/g时仍保留361.5 C/g的比电容及85.6%的倍率性。该材料经过10000次充放电循环后,比电容仍保持533.4 C/g,容量保持率为91.6%,显示出良好的循环稳定性。将NiMoO_(4)电极材料与活性炭(AC)组装成混合超级电容器NiMoO_(4)//AC,该器件最大工作电压为1.7 V,在功率密度为800.0 W/kg时展现出高能量密度(44.5 Wh/kg)。在10 A/g电流密度下,该器件充放电5000次后,比电容仍能保持93.2%。该研究表明,通过辐照技术制备的NiMoO_(4)电极材料具有优异电化学性能和良好应用前景,为设计高效、低成本的超级电容器电极材料提供新思路。 展开更多

关键词 超级电容器 辐照技术 无机氧化物 镍基材料 比电容

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辐射接枝改性对UHMWPE纤维性能的影响 被引量：12

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作者 邢哲 王谋华 +4 位作者 刘伟华 蒋芳玲 胡江涛 窦强 吴国忠 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期36-40,共5页

采用预辐射接枝聚合方法制备了丙烯酸甲酯(MA)接枝改性的超高分子量聚乙烯(UHMWPE-g-PMA)纤维。研究了接枝率对UHMWPE纤维结构和力学性能的影响。红外光谱(FT-IR)和扫描电镜(SEM)测试显示,UHMWPE纤维上接枝了PMA分子链。UHMWPE-g-PMA纤... 采用预辐射接枝聚合方法制备了丙烯酸甲酯(MA)接枝改性的超高分子量聚乙烯(UHMWPE-g-PMA)纤维。研究了接枝率对UHMWPE纤维结构和力学性能的影响。红外光谱(FT-IR)和扫描电镜(SEM)测试显示,UHMWPE纤维上接枝了PMA分子链。UHMWPE-g-PMA纤维结晶度随接枝率增大而降低;PMA接枝链对UHMWPE纤维的正交晶相无影响,但对单斜晶相和中间相影响明显。UHMWPE-g-PMA纤维的拉伸断裂强度随吸收剂量增大而减小,但不随接枝率变化;拉伸断裂伸长率随吸收剂量增大而减小,随接枝率升高而增大。接枝前后UHMWPE纤维的水接触角测试结果显示,随着接枝率的增加,UHMWPE-g-PMA纤维与水的接触角减小。 展开更多

关键词 超高分子量聚乙烯纤维 丙烯酸甲酯 辐射接枝聚合 结晶结构 力学性能

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用超临界二氧化碳发泡制备辐射交联聚乙烯微孔材料 被引量：12

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作者 邢哲 吴国忠 +1 位作者 黄师荣 曾虹燕 《辐射研究与辐射工艺学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期193-198,共6页

利用辐射交联技术和超临界二氧化碳发泡技术,成功地制备了具有微孔结构的交联聚乙烯泡沫材料,并使用差示扫描量热仪(DSC)和扫描电子显微镜(SEM)对交联聚乙烯的熔点、结晶度以及泡沫的微孔形貌进行了表征。研究了吸收剂量、发泡温度和饱... 利用辐射交联技术和超临界二氧化碳发泡技术,成功地制备了具有微孔结构的交联聚乙烯泡沫材料,并使用差示扫描量热仪(DSC)和扫描电子显微镜(SEM)对交联聚乙烯的熔点、结晶度以及泡沫的微孔形貌进行了表征。研究了吸收剂量、发泡温度和饱和压力对泡孔结构的影响。实验发现,吸收剂量为50kGy时交联聚乙烯泡沫具有最精细的泡孔结构;发泡温度越高交联聚乙烯泡沫的孔径越大、孔密度越小;饱和压力越高,泡沫的孔径越小、孔密度越大。聚乙烯经过辐照交联后热稳定性显著提高,发泡温度范围明显增加。 展开更多

关键词 低密度聚乙烯 超临界二氧化碳 辐照 微孔泡沫

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耐紫外线芳纶1313的制备及力学性能研究 被引量：9

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作者 邢哲 夏延致 王川 《陕西科技大学学报（自然科学版）》 2007年第5期67-70,共4页

为了提高芳纶1313(Poly-m-phenyleneisophthalamide,以下简称PMIA)纤维在日光下的使用寿命,作者将紫外线吸收剂添加到纺丝原液中,通过湿法纺丝制得了耐紫外线芳纶1313纤维,并对纤维老化前后的力学性能进行了测试分析.研究表明,所报道的... 为了提高芳纶1313(Poly-m-phenyleneisophthalamide,以下简称PMIA)纤维在日光下的使用寿命,作者将紫外线吸收剂添加到纺丝原液中,通过湿法纺丝制得了耐紫外线芳纶1313纤维,并对纤维老化前后的力学性能进行了测试分析.研究表明,所报道的制备方法在赋予芳纶1313纤维耐紫外线性能的同时对其力学性能无明显影响,在芳纶纤维工业化生产过程中通过共聚或者共混的方法引入紫外线吸收剂改善其耐紫外线性能是可行的. 展开更多

关键词 芳纶 间苯二甲酰间苯二胺 耐紫外线性能 紫外线吸收剂 力学性能

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人民币国际化是长期而艰难的过程 被引量：2

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作者 邢哲 黄泽民 《浙江金融》 北大核心 2010年第6期4-5,共2页

一、人民币在国际货币体系中的地位 1973年布雷顿森林体系崩溃之后,全球进入了信用货币时代,在信用本位制度下,按照货币使用范围的广泛程度,可以把货币分为不可兑换货币、有条件可兑换货币、自由兑换货币、国际货币以及国际本位货币等... 一、人民币在国际货币体系中的地位 1973年布雷顿森林体系崩溃之后,全球进入了信用货币时代,在信用本位制度下,按照货币使用范围的广泛程度,可以把货币分为不可兑换货币、有条件可兑换货币、自由兑换货币、国际货币以及国际本位货币等五大种类。 展开更多

关键词 人民币国际化 国际货币体系 国际本位货币 布雷顿森林体系 可兑换货币 自由兑换货币 信用货币

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Keyhole历史影像配准方法研究 被引量：1

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作者 邢哲 冯仲科 +2 位作者 龚威平 侯碧屿 叶影 《林业调查规划》 2011年第5期5-9,共5页

根据历史影像的特点,研究对于Keyhole为例的历史影像进行配准的方法和存在的问题.经过半个世纪的变迁,如果要在以前的影像图上找到现在的相应地物点,不仅需要人工识别,更重要的是根据历史事件分析哪些才是肯定不变的地物,有了历史的依据... 根据历史影像的特点,研究对于Keyhole为例的历史影像进行配准的方法和存在的问题.经过半个世纪的变迁,如果要在以前的影像图上找到现在的相应地物点,不仅需要人工识别,更重要的是根据历史事件分析哪些才是肯定不变的地物,有了历史的依据,判断同名地物点才有根据,配准起来才能有保证. 展开更多

关键词 历史影像 影像配准 KEYHOLE 地物点

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我国银行业引进战略投资者绩效分析——基于后金融危机实证检验 被引量：1

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作者 邢哲 仝自力 《浙江金融》 北大核心 2012年第9期9-10,共2页

正研究背景1999年9月9日,中国银行业首次向境外战略投资者出售股权。以后各城市商业银行纷纷引入战略投资者。2001年7月19日,最大的股份制银行——交通银行吸引外资参股的计划获有关监管部门的批准。此后,陆续有很多股份制银行开始了与... 正研究背景1999年9月9日,中国银行业首次向境外战略投资者出售股权。以后各城市商业银行纷纷引入战略投资者。2001年7月19日,最大的股份制银行——交通银行吸引外资参股的计划获有关监管部门的批准。此后,陆续有很多股份制银行开始了与境外投资者的引资谈判进程。2005年6月17日,建行和美洲银行共同宣布,美洲银行以25亿美元的出价购入建行9.1%的股权,成为国有银行的第一家境外战略投资者。王一江、田国强(2004)认为引进境外战略投资者将" 展开更多

关键词 境外战略投资者 股份制银行 境外投资者 城市商业银行 股份制商业银行 国有银行 中国银行业 银行资产 治理结构 美洲银行

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影响我国货币乘数变化因素的实证分析 被引量：4

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作者 邢哲 《武汉金融》 北大核心 2009年第1期34-37,共4页

货币乘数的变化是央行在实施货币政策时考虑的重要因素,各个国家由于金融制度及金融深化水平不同,央行影响货币乘数的能力自然会有差异,本文从货币乘数的基本原理出发,对我国2001年至2007年期间货币乘数的变化及央行货币政策对货币乘数... 货币乘数的变化是央行在实施货币政策时考虑的重要因素,各个国家由于金融制度及金融深化水平不同,央行影响货币乘数的能力自然会有差异,本文从货币乘数的基本原理出发,对我国2001年至2007年期间货币乘数的变化及央行货币政策对货币乘数的影响进行了实证分析,本文试图通过对货币乘数变化的分析,印证央行货币政策的有效性问题。 展开更多

关键词 货币乘数 中国人民银行 法定存款准备金

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氯化氢对聚间苯二甲酰间苯二胺聚合反应的影响 被引量：1

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作者 邢哲 夏延致 王兵兵 《陕西科技大学学报（自然科学版）》 2007年第2期97-99,104,共4页

采用低温溶液聚合的方法,将间苯二甲酰氯(IPC)和间苯二胺(MPD)在N,N'-二甲基甲酰胺(DMAC)中聚合,在聚合的不同阶段,由纯氨(NH3)或二正丁胺(DBA)中和反应生成了氯化氢,最后得到了聚间苯二甲酰间苯二胺(PMIA).研究了反应中生成的氯化... 采用低温溶液聚合的方法,将间苯二甲酰氯(IPC)和间苯二胺(MPD)在N,N'-二甲基甲酰胺(DMAC)中聚合,在聚合的不同阶段,由纯氨(NH3)或二正丁胺(DBA)中和反应生成了氯化氢,最后得到了聚间苯二甲酰间苯二胺(PMIA).研究了反应中生成的氯化氢对聚合反应体系的表观粘度、PMIA聚合物的比浓对数粘度以及PMIA溶液稳定性的影响. 展开更多

关键词 聚间苯二甲酰间苯二胺 氯化氢 粘度

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我国股票型基金投资行为的实证分析

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作者 邢哲 胡志强 《金融理论与实践》 北大核心 2010年第6期65-70,共6页

羊群行为是股票市场中投资者行为的重要方面。本文以我国公募股票型投资基金为分析对象,对2007—2008年的数据进行HM值的整体检验和收益检验,得出了我国股票型投资基金羊群行为的投资特征,并对产生羊群行为的原因进行了探讨,最后提出了... 羊群行为是股票市场中投资者行为的重要方面。本文以我国公募股票型投资基金为分析对象,对2007—2008年的数据进行HM值的整体检验和收益检验,得出了我国股票型投资基金羊群行为的投资特征,并对产生羊群行为的原因进行了探讨,最后提出了改善基金投资行为的若干政策建议。 展开更多

关键词 股票市场 行为金融学 股票型基金 羊群行为

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矿用防爆混凝土罐车的稳定性分析 被引量：3

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作者 邢哲 朱爱香 刘百岁 《煤炭技术》 CAS 北大核心 2015年第5期238-240,共3页

针对防爆柴油机混凝土搅拌运输车在矿井下行驶的安全性稳定性要求,根据国家特种车辆设计标准,详细介绍了防爆柴油机混凝土罐车的设计参数、产品特点、罐车满载条件下对整车稳定性的计算分析等。

关键词 矿井 防爆柴油机混凝土罐车 满载 整车稳定性

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ULSI多层铜布线钽阻挡层及其CMP抛光液的优化 被引量：4

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作者 刘玉岭 邢哲 +2 位作者 檀柏梅 王新 李薇薇 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第7期18-20,34,共4页

分析了铜多层布线中阻挡层的选取问题,根据铜钽在氧化剂存在的情况下,抛光速率对pH值的不同变化趋势,提出优化碱性抛光液配比进而改变pH值,以达到铜钽抛光一致性的方法,并进行了相应的实验研究。

关键词 化学机械抛光 抛光液 CMP 多层布线 ULSI 铜钽抛光

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伽马射线辐照对聚丙烯超临界二氧化碳发泡的影响 被引量：6

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作者 杨晨光 赵全 +2 位作者 王谋华 邢哲 吴国忠 《辐射研究与辐射工艺学报》 CAS CSCD 2018年第1期22-30,共9页

系统研究了γ射线辐照改性聚丙烯(PP)的超临界二氧化碳(scCO_2)发泡行为。聚丙烯样品的制备采用两种辐照方法:(Ⅰ)PP粒子热压成型后γ射线辐照(Sequence Ⅰ,SⅠ);(Ⅱ)PP粒子γ射线辐照后热压成型(Sequence Ⅱ,SⅡ)。利用scCO_2作为物理... 系统研究了γ射线辐照改性聚丙烯(PP)的超临界二氧化碳(scCO_2)发泡行为。聚丙烯样品的制备采用两种辐照方法:(Ⅰ)PP粒子热压成型后γ射线辐照(Sequence Ⅰ,SⅠ);(Ⅱ)PP粒子γ射线辐照后热压成型(Sequence Ⅱ,SⅡ)。利用scCO_2作为物理发泡剂对两类样品进行间歇发泡。结果表明:γ射线辐照改性PP的熔点和结晶度随吸收剂量的增加而降低,其结晶度从51%下降到40%;在低频区,辐照后PP黏度轻微下降,而PP(SⅡ)样品下降更为明显;PP(SⅠ)发泡片材微孔尺寸变均匀,发泡率得到大幅提高,在40和50 kGy,不存在未发泡区域,并且拉伸性能从3.9 MPa增加到7.1 MPa;在最佳吸收剂量30 kGy时,发泡温度下降约5℃,发泡温度窗口从4℃增加到6~8℃。SⅠ方式可以降低发泡温度,扩大发泡温度窗口,更有利于PP的scCO_2发泡。 展开更多

关键词 Γ射线辐照 聚丙烯(PP) 超临界二氧化碳发泡(scCO2) 拉伸强度 流变性能

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胺肟基尼龙66纤维的制备及其对模拟核工业废水中铀的选择性吸附 被引量：4

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作者 张明星 李荣 +2 位作者 邢哲 胡江涛 吴国忠 《辐射研究与辐射工艺学报》 CAS CSCD 2017年第4期57-64,共8页

结合辐射接枝聚合和化学修饰,通过三步处理,成功地制备了偕胺肟化尼龙66纤维。通过傅里叶红外光谱(Fourier transform infrared spectroscopy,FTIR)仪和扫描电子显微镜(Scanning electron microscopy,SEM)对初始的和修饰后的尼龙66纤维... 结合辐射接枝聚合和化学修饰,通过三步处理,成功地制备了偕胺肟化尼龙66纤维。通过傅里叶红外光谱(Fourier transform infrared spectroscopy,FTIR)仪和扫描电子显微镜(Scanning electron microscopy,SEM)对初始的和修饰后的尼龙66纤维进行化学结构和微观形貌表征。结果表明,偕胺肟基团以共价方式连接到尼龙66纤维上。通过模拟核工业废水的吸附研究表明,PA66-g-PGMA-IDPAO纤维对铀酰离子有高的吸附效率(91.3%)和吸附选择性,具有巨大的潜在工业应用价值。 展开更多

关键词 辐射接枝聚合 尼龙66纤维 偕胺肟化 吸附 铀酰离子 模拟核工业废水

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利用遥感监测成果辅助城市规划管理应用研究--以石家庄市城市规划管理应用遥感监测成果为例 被引量：3

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作者 汪波 龚威平 +2 位作者 王海平 房媛 邢哲 《城市规划》 CSSCI 北大核心 2011年第6期55-59,共5页

遥感数据具有信息丰富、准确、现势性强等突出特点。遥感技术在城市规划编制、辅助决策与管理等方面应用已非常广泛,但对于如何更好、更快地利用城市规划遥感监测成果还需广泛研究。本文以石家庄市为例,探讨了利用遥感监测成果辅助城市... 遥感数据具有信息丰富、准确、现势性强等突出特点。遥感技术在城市规划编制、辅助决策与管理等方面应用已非常广泛,但对于如何更好、更快地利用城市规划遥感监测成果还需广泛研究。本文以石家庄市为例,探讨了利用遥感监测成果辅助城市规划监督管理应用的可行性及方法。 展开更多

关键词 GIS 遥感技术 遥感监测 城市规划 监督管理

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聚四氟乙烯微粉对超临界CO2发泡聚丙烯泡孔结构及性能的改善 被引量：5

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作者 杨晨光 赵全 +2 位作者 张茂江 邢哲 吴国忠 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第21期3547-3551,共5页

通过挤出制备了三种不同聚四氟乙烯微粉(PTFE)含量(1.0%、5.0%、10.0%,质量分数)的聚丙烯/聚四氟乙烯(PP/PTFE)共混物样品,采用超临界二氧化碳(scCO 2)作为物理发泡剂对样品进行间歇发泡,研究了发泡样品的微观泡孔结构,并分析其形成机... 通过挤出制备了三种不同聚四氟乙烯微粉(PTFE)含量(1.0%、5.0%、10.0%,质量分数)的聚丙烯/聚四氟乙烯(PP/PTFE)共混物样品,采用超临界二氧化碳(scCO 2)作为物理发泡剂对样品进行间歇发泡,研究了发泡样品的微观泡孔结构,并分析其形成机理。结果表明:挤出剪切作用下由分散PTFE为原料制造的微粉可以变成具有一定长径比的纤维状,并相互缠结形成网状结构,进而显著增加PP的熔体强度。流变性能测试结果表明,在低频区PP/PTFE复数黏度增强更加明显;制备的PP/PTFE发泡材料具有良好的微孔结构,泡孔均匀性明显改善,且随着PTFE添加量的增加,发泡材料孔径变小(平均值约31 μm),孔密度增加10倍,达到7.4×10^8 cells/cm^3 ,这归因于在发泡过程中PTFE颗粒增强PP异相成核且较高的熔体强度保证了完整泡孔的形成。相比于纯PP泡沫材料,PP/PTFE(1.0%)泡沫具有较大的发泡倍率,发泡倍率可达8倍,拉伸应力从原来6 MPa增加到11 MPa,断裂伸长率从107%增加到230%。 展开更多

关键词 PP/PTFE共混物 超临界二氧化碳发泡 微孔形貌 熔体强度 拉伸强度

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超临界二氧化碳制备辐射交联微孔聚丙烯材料的研究进展 被引量：7

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作者 杨晨光 邢哲 +1 位作者 谭海容 吴国忠 《辐射研究与辐射工艺学报》 CAS CSCD 2019年第1期3-10,共8页

利用超临界CO_2发泡技术制备的微孔聚合物材料具有发泡效率高,绿色环保及机械性能好等优点。少量聚合物(例如聚丙烯)由于熔体强度较低,不足以支撑泡孔膨胀,容易造成发泡过程中孔壁破裂和泡孔融合,严重影响发泡材料的力学性能。辐射交联... 利用超临界CO_2发泡技术制备的微孔聚合物材料具有发泡效率高,绿色环保及机械性能好等优点。少量聚合物(例如聚丙烯)由于熔体强度较低,不足以支撑泡孔膨胀,容易造成发泡过程中孔壁破裂和泡孔融合,严重影响发泡材料的力学性能。辐射交联可以使聚合物从二维结构变为三维网状结构,显著提高聚合物熔体强度,明显拓宽聚合物的发泡温度区间。因此,辐射交联技术在超临界CO_2发泡工艺中具有重要的潜在应用。本文主要综述了超临界CO_2发泡改性聚丙烯发泡的研究进展以及辐射交联在超临界CO_2发泡聚丙烯工作中应用的可行性。 展开更多

关键词 聚丙烯 超临界CO2 辐射交联 发泡 机械性能

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高效抗菌Cu^(2+)-壳聚糖季铵盐/丙烯酸复合物的制备 被引量：2

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作者 李会 邢哲 +4 位作者 李荣 张明星 王明磊 谭奕哲 吴国忠 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期902-906,共5页

以过硫酸铵为引发剂,在壳聚糖季铵盐(HACC)上接枝丙烯酸(AAc)并络合Cu^(2+),制备了具有高效抗菌性能的HACC-g-PAAc-Cu^(2+)复合物.采用红外光谱(FTIR)和核磁共振波谱(~1H NMR)表征了壳聚糖季铵盐接枝改性前后的化学结构变化;利用紫外-... 以过硫酸铵为引发剂,在壳聚糖季铵盐(HACC)上接枝丙烯酸(AAc)并络合Cu^(2+),制备了具有高效抗菌性能的HACC-g-PAAc-Cu^(2+)复合物.采用红外光谱(FTIR)和核磁共振波谱(~1H NMR)表征了壳聚糖季铵盐接枝改性前后的化学结构变化;利用紫外-可见吸收光谱(UV-Vis)、Cu^(2+)选择电极和热失重分析(TGA)表征了壳聚糖季铵盐接枝前后负载Cu^(2+)的能力;测定了HACC-Cu^(2+)和HACC-g-PAAc-Cu^(2+)对金黄色葡萄球菌及大肠杆菌的最小抑菌浓度,并对小鼠经口摄入毒性和兔皮肤敷涂刺激性进行了考察.研究结果表明,在壳聚糖季铵盐上负载Cu^(2+)能够有效提高其抗菌性;接枝丙烯酸能提高HACC负载Cu^(2+)的能力和抗菌性,Cu/HACC结构单元的摩尔比由接枝前的3∶7提高到接枝后的1∶1;对金黄色葡萄球菌的最小抑菌浓度由60 mg/L下降到9.2 mg/L,对大肠杆菌的最小抑菌浓度由37 mg/L下降到6.3 mg/L,无摄入毒性和皮肤刺激性. 展开更多

关键词 壳聚糖季铵盐 铜离子 抗菌性 丙烯酸

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碱性抛光液在CMP过程中对低k介质的影响 被引量：2

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作者 王立冉 邢哲 +2 位作者 刘玉岭 胡轶 刘效岩 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期29-32,共4页

以p型<111>硅片为衬底,经过旋涂固化制备低介电常数(低k)材料聚酰亚胺。经过化学机械抛光(CMP)过程,考察实验前后低k材料介电性能的变化。实验中分别使用阻挡层抛光液、Cu抛光液以及新型抛光液对低k材料进行抛光后,利用电参数仪对... 以p型<111>硅片为衬底,经过旋涂固化制备低介电常数(低k)材料聚酰亚胺。经过化学机械抛光(CMP)过程,考察实验前后低k材料介电性能的变化。实验中分别使用阻挡层抛光液、Cu抛光液以及新型抛光液对低k材料进行抛光后,利用电参数仪对低k材料进行电性能测试。结果显示,低k材料介电常数经pH值为7.09新型抛光液抛光后,k值由2.8变为2.895,漏电流在3.35 pA以下,去除速率为59 nm/min。经新型抛光液抛光后的低k材料,在电学性能等方面均优于阻挡层抛光液和Cu抛光液,抛光后的低k材料的性能能够满足应用要求。 展开更多

关键词 低K材料 化学机械抛光 抛光液 介质电特性 聚酰亚胺

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