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多晶硅薄膜太阳电池
被引量：
8
1
作者
何海洋
陈诺夫
+6 位作者
李宁
白一鸣
仲琳
弭辙
辛雅焜
吴强
高征
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2013年第3期137-142,166,共7页
多晶硅薄膜太阳电池因兼具低材料消耗、低成本、高稳定性及多晶硅薄膜微电子器件的成熟工艺而备受瞩目。对多晶硅薄膜太阳电池的结构和制备工艺流程进行了详细阐述,指出当前多晶硅薄膜太阳电池的关键研究方向,即衬底的选择和高质量多晶...
多晶硅薄膜太阳电池因兼具低材料消耗、低成本、高稳定性及多晶硅薄膜微电子器件的成熟工艺而备受瞩目。对多晶硅薄膜太阳电池的结构和制备工艺流程进行了详细阐述,指出当前多晶硅薄膜太阳电池的关键研究方向,即衬底的选择和高质量多晶硅薄膜的实现。特别是针对高质量多晶硅薄膜的制备,系统地介绍了化学气相沉积(CVD)、磁控溅射(MS)、固相晶化(SPC)、激光晶化(LC)以及快速热退火(RTA)等制备方法的工作原理、特点和优劣。综合阐述了各项技术的发展现状,并对上述技术及其在多晶硅薄膜太阳电池中的应用前景进行了客观评述与展望。
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关键词
太阳电池
多晶硅薄膜
化学气相沉积(CVD)
磁控溅射(MS)
快速热退火(RTA)
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职称材料
纳米颗粒表面等离激元在太阳电池中的应用
被引量：
2
2
作者
高征
白一鸣
+10 位作者
吴强
辛雅焜
何海洋
刘海
丁希宏
吴云召
王志斌
于晓琳
吕小颖
汪鼎民
陈诺夫
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2013年第9期551-558,575,共9页
金属纳米颗粒独特的光学性质,使其在薄膜太阳电池新型陷光结构应用方面极具前景。系统地介绍了金属纳米颗粒表面等离激元促进薄膜太阳电池光吸收机理,即光散射增强机理和局域场增强效应。在此基础上,概述了当前金属纳米颗粒陷光结构的...
金属纳米颗粒独特的光学性质,使其在薄膜太阳电池新型陷光结构应用方面极具前景。系统地介绍了金属纳米颗粒表面等离激元促进薄膜太阳电池光吸收机理,即光散射增强机理和局域场增强效应。在此基础上,概述了当前金属纳米颗粒陷光结构的制备方法,包括溅射法、电子束刻蚀法、液相还原法、溶胶-凝胶法及反胶束法等。结合国内外最新研究进展深入探讨了典型金属纳米颗粒的尺寸、形状及介电环境等参数对其光学性能和薄膜太阳电池光电转换效率的影响。最后,对金属纳米颗粒增强薄膜太阳电池光吸收的发展前景进行了展望。
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关键词
薄膜太阳电池
陷光结构
表面等离激元
金属纳米结构
光电转换效率
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职称材料
铝诱导多晶硅薄膜籽晶层的电学性质
被引量：
1
3
作者
吴强
陈诺夫
+5 位作者
辛雅焜
黄添懋
陈吉堃
牟潇野
杨博
白一鸣
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2014年第10期623-627,共5页
利用磁控溅射系统在玻璃衬底上制备出具有玻璃∕铝∕非晶硅的多层膜结构样品,然后在管式退火炉中以一定的温度退火,使非晶硅晶化形成多晶硅薄膜籽晶层。扫描电子显微镜(SEM)及光学显微镜测试表明,铝诱导结晶后样品中的铝层已被完全置换...
利用磁控溅射系统在玻璃衬底上制备出具有玻璃∕铝∕非晶硅的多层膜结构样品,然后在管式退火炉中以一定的温度退火,使非晶硅晶化形成多晶硅薄膜籽晶层。扫描电子显微镜(SEM)及光学显微镜测试表明,铝诱导结晶后样品中的铝层已被完全置换为连续并且厚度均匀的多晶硅层,多晶硅晶粒的平均尺寸为23μm。喇曼光谱测试和X射线衍射(XRD)分析表明,多晶硅薄膜籽晶层具有良好的结晶质量,并且具有高度的(111)择优取向。霍尔测试结果表明,铝诱导多晶硅薄膜籽晶层属于高浓度p型掺杂,掺杂浓度达到了1018/cm3。分析认为铝在非晶硅晶化过程中不仅扮演了诱导金属的角色,还起到了掺杂的作用。
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关键词
铝诱导
多晶硅薄膜
籽晶层
择优取向
掺杂
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职称材料
题名
多晶硅薄膜太阳电池
被引量：
8
1
作者
何海洋
陈诺夫
李宁
白一鸣
仲琳
弭辙
辛雅焜
吴强
高征
机构
华北电力大学可再生能源学院新能源电力国家重点实验室
浙江大学硅材料国家重点实验室
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2013年第3期137-142,166,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(61006150
61076051)
+2 种基金
国家高技术研究发展计划(2011AA050507)
北京市自然科学基金资助项目(2102042)
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(10QG24)
文摘
多晶硅薄膜太阳电池因兼具低材料消耗、低成本、高稳定性及多晶硅薄膜微电子器件的成熟工艺而备受瞩目。对多晶硅薄膜太阳电池的结构和制备工艺流程进行了详细阐述,指出当前多晶硅薄膜太阳电池的关键研究方向,即衬底的选择和高质量多晶硅薄膜的实现。特别是针对高质量多晶硅薄膜的制备,系统地介绍了化学气相沉积(CVD)、磁控溅射(MS)、固相晶化(SPC)、激光晶化(LC)以及快速热退火(RTA)等制备方法的工作原理、特点和优劣。综合阐述了各项技术的发展现状,并对上述技术及其在多晶硅薄膜太阳电池中的应用前景进行了客观评述与展望。
关键词
太阳电池
多晶硅薄膜
化学气相沉积(CVD)
磁控溅射(MS)
快速热退火(RTA)
Keywords
solar cell
polycrystalline silicon thin film
chemical vapor deposition（CVD）
magnetron sputtering（MS）
rapid thermal annealing（RTA）
分类号
TM914.4 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
纳米颗粒表面等离激元在太阳电池中的应用
被引量：
2
2
作者
高征
白一鸣
吴强
辛雅焜
何海洋
刘海
丁希宏
吴云召
王志斌
于晓琳
吕小颖
汪鼎民
陈诺夫
机构
华北电力大学新能源电力系统国家重点实验室
华北电力大学可再生能源学院
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2013年第9期551-558,575,共9页
基金
国家自然科学基金资助项目(61006150
61076051)
+1 种基金
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2011AA050507)
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(13ZD05)
文摘
金属纳米颗粒独特的光学性质,使其在薄膜太阳电池新型陷光结构应用方面极具前景。系统地介绍了金属纳米颗粒表面等离激元促进薄膜太阳电池光吸收机理,即光散射增强机理和局域场增强效应。在此基础上,概述了当前金属纳米颗粒陷光结构的制备方法,包括溅射法、电子束刻蚀法、液相还原法、溶胶-凝胶法及反胶束法等。结合国内外最新研究进展深入探讨了典型金属纳米颗粒的尺寸、形状及介电环境等参数对其光学性能和薄膜太阳电池光电转换效率的影响。最后,对金属纳米颗粒增强薄膜太阳电池光吸收的发展前景进行了展望。
关键词
薄膜太阳电池
陷光结构
表面等离激元
金属纳米结构
光电转换效率
Keywords
thin film solar cell
light trapping structure
surface plasmon
metal nanostructure
photoelectric conversion efficiency
分类号
TM914.4 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
铝诱导多晶硅薄膜籽晶层的电学性质
被引量：
1
3
作者
吴强
陈诺夫
辛雅焜
黄添懋
陈吉堃
牟潇野
杨博
白一鸣
机构
华北电力大学可再生能源学院新能源电力国家重点实验室
浙江大学硅材料国家重点实验室
常州英诺能源技术有限公司
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2014年第10期623-627,共5页
基金
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2011AA050507)
国家自然科学基金资助项目(61006050
+2 种基金
61076051)
北京市自然科学基金资助项目(2102042)
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(13ZD05)
文摘
利用磁控溅射系统在玻璃衬底上制备出具有玻璃∕铝∕非晶硅的多层膜结构样品,然后在管式退火炉中以一定的温度退火,使非晶硅晶化形成多晶硅薄膜籽晶层。扫描电子显微镜(SEM)及光学显微镜测试表明,铝诱导结晶后样品中的铝层已被完全置换为连续并且厚度均匀的多晶硅层,多晶硅晶粒的平均尺寸为23μm。喇曼光谱测试和X射线衍射(XRD)分析表明,多晶硅薄膜籽晶层具有良好的结晶质量,并且具有高度的(111)择优取向。霍尔测试结果表明,铝诱导多晶硅薄膜籽晶层属于高浓度p型掺杂,掺杂浓度达到了1018/cm3。分析认为铝在非晶硅晶化过程中不仅扮演了诱导金属的角色,还起到了掺杂的作用。
关键词
铝诱导
多晶硅薄膜
籽晶层
择优取向
掺杂
Keywords
aluminum-induced
polycrystalline silicon thin film
seed layer
preferred orientation
doping
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
TM914.4 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
多晶硅薄膜太阳电池
何海洋
陈诺夫
李宁
白一鸣
仲琳
弭辙
辛雅焜
吴强
高征
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2013
8
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
纳米颗粒表面等离激元在太阳电池中的应用
高征
白一鸣
吴强
辛雅焜
何海洋
刘海
丁希宏
吴云召
王志斌
于晓琳
吕小颖
汪鼎民
陈诺夫
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2013
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
铝诱导多晶硅薄膜籽晶层的电学性质
吴强
陈诺夫
辛雅焜
黄添懋
陈吉堃
牟潇野
杨博
白一鸣
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2014
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
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