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题名一体式石英振梁加速度计工程化研究进展
被引量：6
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作者
杨挺
刘平
杨贵玉
路文一
金小锋
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机构
航天长征火箭技术有限公司
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出处
《遥测遥控》
2019年第2期39-45,共7页
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基金
总装预研项目
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文摘
一体式石英振梁加速度计是一种高精度谐振式MEMS惯性传感器。针对现有石英振梁加速度计存在的体积大、全温及力学环境适应性不足等问题,提出一种基于三层石英结构的一体式石英振梁加速度计的设计方案。通过突破高精度薄梁腐蚀及晶圆级键合两项关键技术,成功研制出加速度计样机。经测试,产品全温稳定性优于0.5mg,振动整流误差优于200μg/g^2(@15.68g rms),可以满足中高精度惯性导航应用需求。后续期望通过原位温度补偿及直接键合等技术进一步提升一体式石英振梁加速度计的全温精度及长期稳定性。
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关键词
石英振梁加速度计
晶圆级键合
全温稳定性
振动整流误差
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Keywords
Quartz vibrating beam accelerometer
Wafer bonding
Full-temperature stability
Vibration rectification error
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名MEMS倾角传感器研究现状及发展趋势
被引量：10
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作者
高旗
陈青松
杨贵玉
杨挺
路文一
尹玉刚
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机构
北京遥测技术研究所
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出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2021年第12期1054-1063,1076,共11页
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基金
装备发展部预研项目。
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文摘
概述了微电子机械系统(MEMS)倾角传感器的工作原理,对MEMS倾角传感器进行分类归纳,主要分为电容式、谐振式、热对流式和光学式等,对上述MEMS倾角传感器的敏感机理、技术特点、关键技术及性能进行详尽的阐述。目前电容式MEMS倾角传感器是用量最大、技术最成熟、可供选型最多的产品;谐振式MEMS倾角传感器基于其准数字式输出和高精度成为研究热点;热对流式和光学式MEMS倾角传感器则是由于其本身测量原理的限制而应用于特定场合。最后从精度、鲁棒性、智能化、国内外技术差距及前沿技术等方面分析了MEMS倾角传感器未来的发展趋势,为国内MEMS倾角传感器的研制和选型提供依据。
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关键词
微电子机械系统(MEMS)
倾角传感器
敏感机理
精度
鲁棒性
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Keywords
micro-electromechanical system(MEMS)
inclinometer
sensitive mechanism
precision
robustness
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH7U3
[机械工程—精密仪器及机械]
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