溶胶—凝胶法制备釉面砖表面TiO_2涂层的XPS研究及其光催化性能 被引量：19

1

作者 赵青南 余家国 +1 位作者 赵修建 冯为民 《中国陶瓷》 CAS CSCD 北大核心 1999年第1期16-18,39,共4页

用溶胶—凝胶法在釉面砖上制备了均匀的ＴｉＯ２涂层。借助Ｘ射线光电子能谱仪（ＸＰＳ）研究了釉面涂层的化学组成，结果表明：１）涂层与釉面之间是以化学结合的；２）ＴｉＯ２涂层中含有一定量的Ｔｉ３＋，讨论了产生Ｔｉ３＋的原因... 用溶胶—凝胶法在釉面砖上制备了均匀的ＴｉＯ２涂层。借助Ｘ射线光电子能谱仪（ＸＰＳ）研究了釉面涂层的化学组成，结果表明：１）涂层与釉面之间是以化学结合的；２）ＴｉＯ２涂层中含有一定量的Ｔｉ３＋，讨论了产生Ｔｉ３＋的原因。最后测试了紫外线及太阳光照射下，ＴｉＯ２涂层釉面砖对敌敌畏水溶液中有机磷的光催化降解率。该类材料可望在环境保护、污水处理等方面有广阔的应用前景。 展开更多

关键词 溶胶凝胶法 涂层 XPS 光催化 二氧化钛 釉面砖

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氧气分压对反应溅射制备TiO_2薄膜带隙的影响 被引量：3

2

作者 赵青南 李春领 +1 位作者 刘保顺 赵修建 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期603-605,共3页

在不同的氧气分压下 ,用直流反应磁控溅射法制备了玻璃基TiO2 薄膜试样 ,测试了试样的荧光发射光谱。结果表明 ,氧气分压为 0 35和 0 6 5Pa时 ,荧光光谱在 370 ,4 72和 5 14nm处出现发射峰 ;氧气分压为 0 10和 0 15Pa时 ,发射光谱... 在不同的氧气分压下 ,用直流反应磁控溅射法制备了玻璃基TiO2 薄膜试样 ,测试了试样的荧光发射光谱。结果表明 ,氧气分压为 0 35和 0 6 5Pa时 ,荧光光谱在 370 ,4 72和 5 14nm处出现发射峰 ;氧气分压为 0 10和 0 15Pa时 ,发射光谱峰出现在 370和 4 90nm处。试样带隙为 3 35eV。0 35和 0 6 5Pa氧气分压下溅射的试样在带隙中有两个分别低于导带底 0 72和 0 94eV的缺陷能级 ,0 10和 0 15Pa氧气分压下溅射的试样在带隙中有一个位于导带底 0 2 3和 1 2 9eV之间的缺陷能带 ;增加氧气分压 ,缺陷能带转变成两个缺陷能级 ,在 0 6 5Pa氧气分压下 ,缺陷能级几乎消失。 展开更多

关键词 氧气分压 二氧化钛薄膜 带隙结构 直流反应磁控溅射法 制备 荧光发射光谱 缺陷能级

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釉面砖基SiO_2/TiO_2超亲水涂层的制备及其性能研究 被引量：4

3

作者 赵青南 赵修建 +1 位作者 陈文梅 牟善彬 《中国陶瓷》 CAS CSCD 2001年第1期5-6,共2页

用溶胶 -凝胶方法在釉面砖上制备了SiO2 /TiO2 超亲水涂层 ,用XPS、光学显微镜和SEM研究了涂层的表面化学组成、水润湿角和表面形貌。结果表明 ,水润湿角与SiO2 /TiO2 的摩尔比和SiO2 在TiO2 表面的分布有密切关系 ,当SiO2 /TiO2 的比值... 用溶胶 -凝胶方法在釉面砖上制备了SiO2 /TiO2 超亲水涂层 ,用XPS、光学显微镜和SEM研究了涂层的表面化学组成、水润湿角和表面形貌。结果表明 ,水润湿角与SiO2 /TiO2 的摩尔比和SiO2 在TiO2 表面的分布有密切关系 ,当SiO2 /TiO2 的比值在 0 0 8-0 1 3时 ,涂层的水润湿角在 5°左右。 展开更多

关键词 超亲水涂层 水润湿角 釉面砖 溶胶-凝胶法 SiO2/TiO2涂层

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减反射可见光与反射近红外线双功能镀膜玻璃 被引量：7

4

作者 赵青南 董玉红 +2 位作者 赵杰 曾妩 卢秀强 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期5-8,共4页

采用溶胶-凝胶工艺,用提拉法在光伏玻璃上制备了玻璃/TiO2-SiO2/SnO2∶F/SiO2减反射可见光与反射近红外双功能膜。用拟合方法研究了TiO2掺量对TiO2-SiO2膜层折射率的影响、以及溶胶中水含量对SiO2膜层折射率的影响;研究了快速热处理温度... 采用溶胶-凝胶工艺,用提拉法在光伏玻璃上制备了玻璃/TiO2-SiO2/SnO2∶F/SiO2减反射可见光与反射近红外双功能膜。用拟合方法研究了TiO2掺量对TiO2-SiO2膜层折射率的影响、以及溶胶中水含量对SiO2膜层折射率的影响;研究了快速热处理温度对SnO2∶F膜结构和方块电阻的影响,用紫外-可见光谱（UV-Vis）测试了膜层的透射率,用扫描电镜（SEM）观察了膜层的表面形貌。结果表明,TiO2掺量可以使TiO2-SiO2膜层的折射率在1.49~1.97之间变化,SiO2溶胶中的水含量能够在膜面上形成微孔,降低SiO2膜层的折射率。通过优化工艺,制备出了在可见光范围平均透过率约为96%、1120nm波长近红外起始反射的双功能复合膜。对得到的结果进行了讨论。 展开更多

关键词 SiO2/SnO2:F/SiO2复合膜 溶胶-凝胶 可见光减反射 近红外反射

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TiO_2薄膜孔结构对其光催化性能的影响 被引量：1

5

作者 赵青南 余家国 +1 位作者 赵修建 牟善彬 《陶瓷学报》 CAS 1999年第3期177-180,共4页

通过在溶胶—凝胶溶液中掺入聚乙烯乙二醇有机聚合物，利用普通釉面砖做衬底，制备了多孔ＴｉＯ２ 薄膜。扫描电镜观察表明，一定的热处理条件下，有机聚合物可以显著改变ＴｉＯ２ 薄膜的孔结构。光催化结果显示，适当的孔结构可以明显... 通过在溶胶—凝胶溶液中掺入聚乙烯乙二醇有机聚合物，利用普通釉面砖做衬底，制备了多孔ＴｉＯ２ 薄膜。扫描电镜观察表明，一定的热处理条件下，有机聚合物可以显著改变ＴｉＯ２ 薄膜的孔结构。光催化结果显示，适当的孔结构可以明显提高ＴｉＯ２ 薄膜对有机磷农药的光催化效率。 展开更多

关键词 薄膜 孔结构 光催化 釉面砖 二氧化钛 陶瓷

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还原时间对青瓷釉中铁离子状态影响的XPS研究 被引量：1

6

作者 赵青南 张谷兰 《中国陶瓷》 CAS CSCD 北大核心 1995年第2期28-30,共3页

本文应用X射线光电子能谱法(XPS)分析了不同还原时间下青瓷釉中铁离子的存在状态,通过微机对谱峰进行高斯拟合处理,得出了不同釉面表观颜色对应的Fe^(2+)/Fe^(3+)比值。

关键词 青瓷釉 表观颜色 铁离子 还原时间 XPS

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超亲水TiO_2/SiO_2复合薄膜的制备与表征 被引量：28

7

作者 余家国 赵修建 +2 位作者 林立 韩建军 赵青南 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期529-534,共6页

通过 ｓｏｌ－ｇｅｌ工艺在普通钠钙玻璃表面制备了均匀透明的 ＴｉＯ２／ＳｉＯ２复合薄膜．实验结果表明：在 ＴｉＯ２薄膜中添加 ＳｉＯ２，可以抑制薄膜中 ＴｉＯ２晶粒的长大，同时薄膜表面的羟基含量增加，水在复合薄膜表面的润... 通过 ｓｏｌ－ｇｅｌ工艺在普通钠钙玻璃表面制备了均匀透明的 ＴｉＯ２／ＳｉＯ２复合薄膜．实验结果表明：在 ＴｉＯ２薄膜中添加 ＳｉＯ２，可以抑制薄膜中 ＴｉＯ２晶粒的长大，同时薄膜表面的羟基含量增加，水在复合薄膜表面的润湿角下降，亲水能力增强．当 ＳｉＯ２含量为 １０～２０ ｍｏｌ％时获得了润湿角为０°的超亲水性薄膜． 展开更多

关键词 复合薄膜 超亲水性 制备 表征 二氧化钛 二氧化硅 钠钙玻璃 表面薄膜 溶胶-凝胶法

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TiO_2纳米薄膜的溶胶-凝胶工艺制备和表征 被引量：54

8

作者 余家国 赵修建 赵青南 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2000年第9期792-797,共6页

通过sol-gel工艺在普通钠钙玻璃表面制备了均匀透明的锐钛矿型TiO2纳米薄膜.TiO2薄膜的X射线衍射分析表明，当薄膜的厚度小于0.46μm时,薄膜中未出现锐钛矿的衍射峰.随着镀膜次数或薄膜厚度的增加，薄膜中TiO2纳米微晶的平均晶粒大小逐... 通过sol-gel工艺在普通钠钙玻璃表面制备了均匀透明的锐钛矿型TiO2纳米薄膜.TiO2薄膜的X射线衍射分析表明，当薄膜的厚度小于0.46μm时,薄膜中未出现锐钛矿的衍射峰.随着镀膜次数或薄膜厚度的增加，薄膜中TiO2纳米微晶的平均晶粒大小逐渐增大，TiO2薄膜的透光率略有减小，其吸收阈值发生了明显的红移.XPS实验结果表明：薄膜中除含有Ti、O元素外，还有一定量来自有机前驱物中未完全燃烧的碳和少量从玻璃表面扩散到薄膜中的Na和Ca元素. 展开更多

关键词 溶胶-凝胶 纳米薄膜 制备 表征 二氧化钛

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纳米TiO_2的表面能态及光生电子-空穴对复合过程的研究 被引量：19

9

作者 刘保顺 何鑫 +1 位作者 赵修建 赵青南 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期208-212,共5页

以液相法制备了水溶态纳米TiO2,并通过X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)和傅里叶红外光谱仪(FTIR)对纳米TiO2的结构和组成作了细致分析。并对其紫外-可见光谱(UV-Vis spectrum)和荧光发光光谱(PL spectrum)进行了分析。结果发现纳... 以液相法制备了水溶态纳米TiO2,并通过X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)和傅里叶红外光谱仪(FTIR)对纳米TiO2的结构和组成作了细致分析。并对其紫外-可见光谱(UV-Vis spectrum)和荧光发光光谱(PL spectrum)进行了分析。结果发现纳米TiO2呈现较好的锐钛矿型,平均粒径为5 nm。水溶态纳米TiO2由于吸附而在表面形成了Ti—OH和Ti—H2O的表面态,其能级位于其价带以上约0.6和0.54eV;500℃热处理后样品的表面吸附水基本消失,但OH-仍然存在,同时在纳米TiO2晶格中出现了氧空位,其能级位于价带以上3.13 eV。对于水溶态纳米TiO2,表面复合是电子-空穴对的主要复合过程;热处理后的样品,由于表面态遭到破坏,粒子半径变大,直接复合成为电子-空穴对的主要复合过程,同时还伴随有通过氧空位的间接复合和通过Ti—OH的表面复合。 展开更多

关键词 表面复合 表面态 纳米二氧化钛 电子-空穴对

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TiO_2涂层自洁净玻璃的制备及其特性研究 被引量：21

10

作者 余家国 赵修建 赵青南 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第4期398-403,共6页

采用Ｓｏｌ－ｇｅｌ工艺在玻璃表面制得均匀透明的多孔ＴｉＯ２ 纳米薄膜，其纳米颗粒大小在５０—１００ｎｍ 范围。该玻璃透光性较好，在可见光范围内相对于普通玻璃的透光率在６３％ 以上，同时可以阻挡紫外线的透过。两种有机磷农... 采用Ｓｏｌ－ｇｅｌ工艺在玻璃表面制得均匀透明的多孔ＴｉＯ２ 纳米薄膜，其纳米颗粒大小在５０—１００ｎｍ 范围。该玻璃透光性较好，在可见光范围内相对于普通玻璃的透光率在６３％ 以上，同时可以阻挡紫外线的透过。两种有机磷农药水溶液的光催化降解实验表明：随着镀膜次数的增加，光催化效率提高，当镀膜次数达到５ 次以上时，其光解率提高就比较缓慢。ＴｉＯ２ 涂层自洁净玻璃表面的ＸＰＳ研究表明：ＴｉＯ２ 涂层中存在一定量的Ｔｉ３＋ ，＋ ３Ｔｉ使ＴｉＯ２ 涂层自洁净玻璃在５５０ｎｍ 附近具有宽吸收带。该类材料可望在环境保护、污水处理、空气净化等方面具有广阔的应用前景。 展开更多

关键词 涂层 自洁净玻璃 二氧化钛 特性 纳米薄膜

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光电流法研究TiO_2薄膜表面吸附氧对光催化活性的影响 被引量：11

11

作者 武伦鹏 赵莲花 +1 位作者 张海明 赵青南 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第5期765-768,共4页

采用溶胶-凝胶法制备了锐钛矿型和金红石型TiO_2薄膜,利用光电流和XPS技术研究了薄膜表面吸附氧对不同晶型TiO_2光催化活性的影响.并通过降解纯的环己烷溶液的实验来评估不同晶型TiO_2的光催化活性.结果表明,在相同条件下,锐钛矿型TiO_... 采用溶胶-凝胶法制备了锐钛矿型和金红石型TiO_2薄膜,利用光电流和XPS技术研究了薄膜表面吸附氧对不同晶型TiO_2光催化活性的影响.并通过降解纯的环己烷溶液的实验来评估不同晶型TiO_2的光催化活性.结果表明,在相同条件下,锐钛矿型TiO_2比金红石型具有明显的光催化活性.这是由于锐钛矿型TiO_2比金红石型TiO_2具有较强的吸附氧的能力,同时其光生电子与空穴的复合率相对较小所致. 展开更多

关键词 溶胶-凝胶法 TIO2薄膜 光电流 光催化

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射频磁控溅射法制备SnO_2∶Sb透明导电薄膜的光电性能研究 被引量：9

12

作者 陈甲林 赵青南 张君 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2005年第5期406-411,共6页

采用射频磁控溅射法在载波片玻璃衬底上制备了锑掺杂二氧化锡(SnO2∶Sb)透明导电薄膜。利用霍耳效应实验、紫外可见光光谱仪、n(折射率)k(消光系数)d(薄膜厚度)光谱仪对该导电薄膜的光电性能进行了测试。讨论了氧气分压对样品光电性能... 采用射频磁控溅射法在载波片玻璃衬底上制备了锑掺杂二氧化锡(SnO2∶Sb)透明导电薄膜。利用霍耳效应实验、紫外可见光光谱仪、n(折射率)k(消光系数)d(薄膜厚度)光谱仪对该导电薄膜的光电性能进行了测试。讨论了氧气分压对样品光电性能的影响,增加氧气分压,薄膜的厚度减小、吸收边和截止波长蓝移,光学带隙增大,并且氧气分压对薄膜电阻率、载流子浓度和霍耳迁移率的影响不是线性的,而是存在一个最佳值。当氧气分压为0.10 Pa时,薄膜的光电性能最佳,此时膜厚为399 nm,可见光平均透过率为70%,电阻率为2.5×10-3Ω.cm,载流子浓度为1.2×1021cm-3,载流子霍耳迁移率为2.04 cm2.V-1.s-1,其光电特性已达到了TFT-LCD透明电极的要求。 展开更多

关键词 射频磁控溅射 透明导电薄膜 光电性能 氧气分压

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磁控溅射功率对玻璃基DLC薄膜的结构和硬度的影响 被引量：5

13

作者 刘翔 赵青南 +4 位作者 张泽华 李渊 曾臻 董玉红 赵杰 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第10期3049-3053,共5页

用直流-射频磁控溅射镀膜工艺,在不同的溅射功率条件下,制备了玻璃/Si C/DLC(diamond-like carbon)薄膜。通过X射线衍射仪(XRD)、共焦显微拉曼光谱仪(Raman)、场发射扫描电子显微镜(SEM)、纳米显微硬度仪,研究了DLC薄膜的组织结构、物... 用直流-射频磁控溅射镀膜工艺,在不同的溅射功率条件下,制备了玻璃/Si C/DLC(diamond-like carbon)薄膜。通过X射线衍射仪(XRD)、共焦显微拉曼光谱仪(Raman)、场发射扫描电子显微镜(SEM)、纳米显微硬度仪,研究了DLC薄膜的组织结构、物相组成、表面形貌、维氏硬度。结果表明,随着功率的增大,ID/IG值先增大后减小,薄膜硬度呈现先增大后减小的趋势;当溅射功率为200 W时,ID/IG值为0. 56,镀膜玻璃的硬度值最大(830HV),相比未镀膜的玻璃基片,硬度值增加了23. 88%。 展开更多

关键词 DLC薄膜 硬度 磁控溅射功率 过渡层SiC

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Sn离子注入PTC陶瓷表面研制气敏陶瓷材料

14

作者 李世普 陈迁 +2 位作者 赵青南 邢宁 樊东辉 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 1994年第2期31-34,共4页

用脉冲金属离子束Sn注入BaTiO_3 PTC陶瓷的表面,结果表明:在低温空气中退火处理,注入层对CO有敏感特性.应用薄膜XRD、XPS、RBS对注入层结构分析表明,注入层对CO的敏感特性是由于注入层形成SnO_2、BaSnO_3等沉淀相引起的,同时还与离子注... 用脉冲金属离子束Sn注入BaTiO_3 PTC陶瓷的表面,结果表明:在低温空气中退火处理,注入层对CO有敏感特性.应用薄膜XRD、XPS、RBS对注入层结构分析表明,注入层对CO的敏感特性是由于注入层形成SnO_2、BaSnO_3等沉淀相引起的,同时还与离子注入引起的缺陷团有关. 展开更多

关键词 脉冲金属离子束 PTC陶瓷 SN 离子注入 缺陷团 沉淀相 热-气敏感功能材料 功能陶瓷

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TiO_2光催化中价电子的转移过程及其作用 被引量：4

15

作者 孙伟 刘保顺 +1 位作者 赵修建 赵青南 《材料导报》 EI CAS CSCD 2004年第7期83-86,共4页

简要分析了二氧化钛光催化中价电子转移过程,即价电子跃迁和电子空穴复合过程,指出价电子转移过程的变化必然引起 TiO_2光催化效率的变化,重点说明了改变电子受体的种类、半导体表面改性、重金属表面改性、阴离子掺杂和金属离子掺杂等... 简要分析了二氧化钛光催化中价电子转移过程,即价电子跃迁和电子空穴复合过程,指出价电子转移过程的变化必然引起 TiO_2光催化效率的变化,重点说明了改变电子受体的种类、半导体表面改性、重金属表面改性、阴离子掺杂和金属离子掺杂等方法的具体原理,进一步探讨了价电子转移过程同光催化效率之间的关系。 展开更多

关键词 光催化 有机污染物 反应条件 二氧化钛 改性 光催化剂 价电子

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纳米硅薄膜及磁控溅射法沉积 被引量：3

16

作者 刘本锋 赵青南 +1 位作者 潘震 冯敏鸽 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第23期30-33,共4页

纳米硅薄膜具有卓越的光学和电学特性,其在光电器件方面潜在的应用越来越引起人们的兴趣。讨论了用磁控溅射法制备纳米硅薄膜的微观机理及沉积参数对薄膜结构和性能的影响。其中,氢气分压、基片温度、溅射功率是磁控溅射法沉积纳米硅的... 纳米硅薄膜具有卓越的光学和电学特性,其在光电器件方面潜在的应用越来越引起人们的兴趣。讨论了用磁控溅射法制备纳米硅薄膜的微观机理及沉积参数对薄膜结构和性能的影响。其中,氢气分压、基片温度、溅射功率是磁控溅射法沉积纳米硅的关键参数,适当的温度、较高的氢气分压和较低的溅射功率有利于纳米硅的生成。 展开更多

关键词 纳米硅 薄膜 磁控溅射

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基片温度对直流反应磁控溅射法制备氧化钨电致变色材料循环寿命的影响 被引量：2

17

作者 罗乐平 赵青南 +4 位作者 刘旭 丛芳玲 顾宝宝 董玉红 赵杰 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第6期1847-1850,共4页

通过选取室温、100℃、200℃三个不同基片温度制度来探讨基片温度对氧化钨薄膜电致变色循环寿命的影响。实验结果表明:当基片温度由室温提高至100℃后,氧化钨薄膜的循环寿命有较大的改善,循环次数由806次提高至3000次。当基片温度由100... 通过选取室温、100℃、200℃三个不同基片温度制度来探讨基片温度对氧化钨薄膜电致变色循环寿命的影响。实验结果表明:当基片温度由室温提高至100℃后,氧化钨薄膜的循环寿命有较大的改善,循环次数由806次提高至3000次。当基片温度由100℃提高至200℃时,循环寿命反而有所衰退,循环次数由3000次减少至1000次。 展开更多

关键词 直流反应溅射 氧化钨薄膜 基片温度 循环寿命 光学调制幅度

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膜厚对直流反应磁控溅射沉积NiO薄膜的结构与电致变色性能的影响 被引量：3

18

作者 张泽华 赵青南 +4 位作者 刘翔 李渊 曾臻 董玉红 赵杰 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第9期2759-2765,共7页

采用直流反应磁控溅射法在FTO玻璃基片上沉积了不同厚度的氧化镍(NiO)薄膜。用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱仪(XPS)、台阶仪、紫外可见分光光度计、电化学工作站,研究了NiO薄膜厚度对其微观结构、形貌... 采用直流反应磁控溅射法在FTO玻璃基片上沉积了不同厚度的氧化镍(NiO)薄膜。用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱仪(XPS)、台阶仪、紫外可见分光光度计、电化学工作站,研究了NiO薄膜厚度对其微观结构、形貌,以及电致变色性能的影响。结果表明,随着溅射时间增加,NiO薄膜厚度增加,试样的初始态可见光谱透过率逐渐降低,(200)晶面的XRD衍射峰强度逐渐增加;以1 M KOH溶液作为电解质,随着NiO薄膜厚度增加,薄膜电荷储存量逐渐增大。NiO薄膜厚度为920 nm的试样着色效率最高,达到了23.46 cm2/C;80 nm厚度的薄膜试样光学调制幅度最大,波长550 nm处为40.85%。薄膜越厚,着、褪色时间越长;所有试样着色时间均大于褪色时间,80 nm厚度的薄膜试样的着色、褪色时间最快,分别为4.47 s和2.28 s。 展开更多

关键词 膜厚 NiO薄膜 电致变色 直流反应磁控溅射

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射频磁控溅射法在玻璃基片上沉积CeO_2薄膜的研究(英文) 被引量：1

19

作者 梁飞 倪佳苗 赵青南 《传感技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期281-284,288,共5页

二氧化铈具有高折射率、介电常数和紫外吸收率,因此它广泛地应用于各种光学和电子器件。本文采用射频磁控溅射法在玻璃基片上沉积CeO2薄膜。溅射过程中,首先制备纯二氧化铈靶材,然后在不同的功率上调节不同的基片温度进行溅射。采用光... 二氧化铈具有高折射率、介电常数和紫外吸收率,因此它广泛地应用于各种光学和电子器件。本文采用射频磁控溅射法在玻璃基片上沉积CeO2薄膜。溅射过程中,首先制备纯二氧化铈靶材,然后在不同的功率上调节不同的基片温度进行溅射。采用光电子能谱、X射线衍射、拉曼光谱和扫描电镜等测试方法表征薄膜的特性。 展开更多

关键词 射频磁控溅射 二氧化铈薄膜 光电子能谱 X射线衍射 拉曼光谱 扫描电镜

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彩色镀膜玻璃的溅射法制备及其环境稳定性研究 被引量：1

20

作者 刘旭 赵青南 +4 位作者 罗乐平 丛芳玲 顾宝宝 董玉红 赵杰 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期1391-1396,共6页

经过膜系设计,以TiO_2和SiO_2为介质膜,采用磁控溅射镀膜工艺,制备了不同颜色的镀膜玻璃,计算了不同颜色玻璃的色坐标。用XPS表征了TiO_2薄膜中Ti元素价态以及化学计量比;用紫外-可见光谱仪测试了复合膜选择性反射的特性;通过将镀膜玻... 经过膜系设计,以TiO_2和SiO_2为介质膜,采用磁控溅射镀膜工艺,制备了不同颜色的镀膜玻璃,计算了不同颜色玻璃的色坐标。用XPS表征了TiO_2薄膜中Ti元素价态以及化学计量比;用紫外-可见光谱仪测试了复合膜选择性反射的特性;通过将镀膜玻璃浸泡于酸、碱中测试了其环境稳定性。测试结果表明,复合膜具有较强的抗碱能力,但其抗酸腐蚀能力较弱,随着腐蚀时间的延长,反射谱线向短波方向漂移且峰值降低;同时,也分析了腐蚀机理和谱线漂移的原因。 展开更多

关键词 彩色镀膜玻璃 磁控溅射 TiO_2和SiO_2薄膜 环境稳定性

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