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光刻机浸没单元结构参数对流动状态的影响
1
作者
赵金余
陈晖
傅新
《机电工程》
CAS
2011年第5期545-547,604,共4页
不同的浸没单元结构会影响缝隙流场的流动状态,为了研究浸没单元结构参数对缝隙流场流动的影响规律,通过计算流体动力学(CFD)仿真,对浸没流场的流动进行了数值模拟,开展了不同的浸没单元的注液口形状和流场高度所形成的缝隙流场的流动...
不同的浸没单元结构会影响缝隙流场的流动状态,为了研究浸没单元结构参数对缝隙流场流动的影响规律,通过计算流体动力学(CFD)仿真,对浸没流场的流动进行了数值模拟,开展了不同的浸没单元的注液口形状和流场高度所形成的缝隙流场的流动状态分析。研究结果表明:90°～150°的注液口和0.7 mm～1 mm的缝隙高度为理想的结构参数。
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关键词
浸没式光刻
浸没单元
缝隙流场
流动仿真
计算流体动力学
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题名
光刻机浸没单元结构参数对流动状态的影响
1
作者
赵金余
陈晖
傅新
机构
浙江大学流体传动与控制国家重点实验室
出处
《机电工程》
CAS
2011年第5期545-547,604,共4页
基金
国际科技合作计划资助项目(2008DFR70410)
浙江省自然科学基金资助项目(R105008
D1080038)
文摘
不同的浸没单元结构会影响缝隙流场的流动状态,为了研究浸没单元结构参数对缝隙流场流动的影响规律,通过计算流体动力学(CFD)仿真,对浸没流场的流动进行了数值模拟,开展了不同的浸没单元的注液口形状和流场高度所形成的缝隙流场的流动状态分析。研究结果表明:90°～150°的注液口和0.7 mm～1 mm的缝隙高度为理想的结构参数。
关键词
浸没式光刻
浸没单元
缝隙流场
流动仿真
计算流体动力学
Keywords
immersion iithography
immersion unit
gap flow field
flow simulation
computational fluid dynamics（CFD）
分类号
TH137 [机械工程—机械制造及自动化]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
光刻机浸没单元结构参数对流动状态的影响
赵金余
陈晖
傅新
《机电工程》
CAS
2011
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