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题名基于真空蝶阀的压力控制系统研究
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作者
赵梦格
托乎提努尔
胡强
罗磊
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机构
季华实验室
华南师范大学光电科学与工程学院
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出处
《液压与气动》
北大核心
2025年第9期87-93,共7页
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基金
广东省重点研发计划(X200301DA200)。
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文摘
针对真空蝶阀压力控制系统强非线性导致的精度不足的问题,提出一种基于自抗扰控制与PID融合的双模切换策略。该控制器采用扩张状态观测器统一估计并补偿气体温度漂移、密封摩擦及气源波动等综合扰动;同时设计压力误差阈值触发机制,仅在动态过程启用自抗扰控制快速抑制超调,稳态过程自动切换至轻量化PID维持精度。相比传统PID控制,显著缩短调节时间并大幅降低超调量;相比单一自抗扰控制,有效减小稳态误差。在流量扰动下,该控制策略的压力恢复时间比PID快67%,稳态误差小于25 Pa。显著提升了系统响应速度、精度与鲁棒性,充分发挥了蝶阀的低成本优势,为半导体、航天等提供了一种高性能、低成本的真空压力控制解决方案。
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关键词
真空蝶阀
压力控制
自抗扰控制
能耗
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Keywords
vacuum butterfly valve
pressure control
active disturbance rejection control
energy consumption
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分类号
TH137
[机械工程—机械制造及自动化]
TB754
[一般工业技术—真空技术]
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