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高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器
1
作者
乔靖评
焦斌斌
+10 位作者
刘瑞文
孔延梅
云世昌
赵成圆
刘鑫
叶雨欣
杜向斌
余立航
贾士奇
王子龙
李思博
《微纳电子技术》
CAS
2024年第12期81-89,共9页
真空度传感器是真空检测的核心元件。基于全桥结构微电子机械系统(MEMS)皮拉尼芯片开发了一款高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器。全桥结构的设计从芯片级有效抑制了传感器的温漂。测试结果表明,传感器最大温漂为0.15%/℃。校准后,该...
真空度传感器是真空检测的核心元件。基于全桥结构微电子机械系统(MEMS)皮拉尼芯片开发了一款高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器。全桥结构的设计从芯片级有效抑制了传感器的温漂。测试结果表明,传感器最大温漂为0.15%/℃。校准后,该传感器能够在5×10^(-2)~1.01×10^(5)Pa的真空度范围内实现小于5%的高读数精度,最大灵敏度为1.34 V/Dec。传感器平均噪声小于-100 dB,理论计算最小检测极限为1.9×10^(-3)Pa。该真空度传感器具有宽量程和高检测精度的特点,能够满足不同领域的真空检测需求。
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关键词
微电子机械系统(MEMS)
皮拉尼真空度传感器
硅丝式
高精度
宽量程
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职称材料
烷基甜菜碱表面活性剂疏水基碳链长度对低渗岩心自发渗吸的影响
被引量：
8
2
作者
朱维耀
赵成圆
+2 位作者
马启鹏
李华
宋智勇
《特种油气藏》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第4期102-107,共6页
为研究烷基甜菜碱亲水基结构相同、疏水基碳链长度不同对渗吸机理的影响,通过开展自发渗吸、接触角和油水界面张力实验,分析在高温、高矿化度、低渗透条件下,烷基甜菜碱疏水基碳链长度对自发渗吸的影响规律。结果表明:随着疏水基碳数由1...
为研究烷基甜菜碱亲水基结构相同、疏水基碳链长度不同对渗吸机理的影响,通过开展自发渗吸、接触角和油水界面张力实验,分析在高温、高矿化度、低渗透条件下,烷基甜菜碱疏水基碳链长度对自发渗吸的影响规律。结果表明:随着疏水基碳数由12增至18,4种烷基甜菜碱渗吸采出程度分别为37.8%、39.4%、41.0%和42.1%;渗吸方式均为逆向渗吸,接触角随碳数增加而减小,有利于原油剥离岩心;界面张力随碳数增加而降低,有利于油滴变形流动,共同促进渗吸过程。实验结果满足归一化采出程度模型,对烷基甜菜碱作为渗吸剂在低渗透油田应用具有理论指导意义。
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关键词
烷基甜菜碱
低渗油藏
两性表面活性剂
自发渗吸
界面张力
润湿性
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职称材料
题名
高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器
1
作者
乔靖评
焦斌斌
刘瑞文
孔延梅
云世昌
赵成圆
刘鑫
叶雨欣
杜向斌
余立航
贾士奇
王子龙
李思博
机构
中国科学院微电子研究所新技术开发部微系统技术实验室
中国科学院大学集成电路学院
郑州中科集成电路与系统应用研究院
出处
《微纳电子技术》
CAS
2024年第12期81-89,共9页
基金
国家重点研发计划(2022YFB3205803)。
文摘
真空度传感器是真空检测的核心元件。基于全桥结构微电子机械系统(MEMS)皮拉尼芯片开发了一款高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器。全桥结构的设计从芯片级有效抑制了传感器的温漂。测试结果表明,传感器最大温漂为0.15%/℃。校准后,该传感器能够在5×10^(-2)~1.01×10^(5)Pa的真空度范围内实现小于5%的高读数精度,最大灵敏度为1.34 V/Dec。传感器平均噪声小于-100 dB,理论计算最小检测极限为1.9×10^(-3)Pa。该真空度传感器具有宽量程和高检测精度的特点,能够满足不同领域的真空检测需求。
关键词
微电子机械系统(MEMS)
皮拉尼真空度传感器
硅丝式
高精度
宽量程
Keywords
microelectromechanical system(MEMS)
Pirani vacuum sensor
silicon wire type
high-accuracy
wide-range
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH823 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
烷基甜菜碱表面活性剂疏水基碳链长度对低渗岩心自发渗吸的影响
被引量：
8
2
作者
朱维耀
赵成圆
马启鹏
李华
宋智勇
机构
北京科技大学
出处
《特种油气藏》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第4期102-107,共6页
基金
国家自然基金“考虑微观力作用的纳微米孔隙流动理论及模拟研究”(11210227)。
文摘
为研究烷基甜菜碱亲水基结构相同、疏水基碳链长度不同对渗吸机理的影响,通过开展自发渗吸、接触角和油水界面张力实验,分析在高温、高矿化度、低渗透条件下,烷基甜菜碱疏水基碳链长度对自发渗吸的影响规律。结果表明:随着疏水基碳数由12增至18,4种烷基甜菜碱渗吸采出程度分别为37.8%、39.4%、41.0%和42.1%;渗吸方式均为逆向渗吸,接触角随碳数增加而减小,有利于原油剥离岩心;界面张力随碳数增加而降低,有利于油滴变形流动,共同促进渗吸过程。实验结果满足归一化采出程度模型,对烷基甜菜碱作为渗吸剂在低渗透油田应用具有理论指导意义。
关键词
烷基甜菜碱
低渗油藏
两性表面活性剂
自发渗吸
界面张力
润湿性
Keywords
alkyl betaine
low permeability reservoir
amphoteric surfactant
spontaneous imbibition
interfacial tension
wettability
分类号
TE357 [石油与天然气工程—油气田开发工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器
乔靖评
焦斌斌
刘瑞文
孔延梅
云世昌
赵成圆
刘鑫
叶雨欣
杜向斌
余立航
贾士奇
王子龙
李思博
《微纳电子技术》
CAS
2024
0
在线阅读
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职称材料
2
烷基甜菜碱表面活性剂疏水基碳链长度对低渗岩心自发渗吸的影响
朱维耀
赵成圆
马启鹏
李华
宋智勇
《特种油气藏》
CAS
CSCD
北大核心
2021
8
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职称材料
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