-
题名压电驱动膜片式微型气泵
被引量：3
- 1
-
-
作者
杨兴
周兆英
叶雄英
李楠
赵慧贞
罗小兵
-
机构
清华大学精密仪器与机械学系微系统与控制技术研究室
三星综合技术研究院
-
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2005年第4期365-368,共4页
-
基金
基金资助项目国家重点基础研究发展规划基金资助项目(G1999033106)
国家"八六三"基金资助项目(No.2002AA404290)
中国博士后(No.2003033125)
-
文摘
提出一种结构新颖的压电驱动膜片式微型气泵,对其输出流量、膜片的振幅等参数进行了理论分析,在此基础上设计、制作了微型气泵样机,并进行了测试实验。这种气泵在结构上充分利用了双压电梁端部位移大的优点,并利用两根双压电梁将膜片悬起,增加了容积变化率和输出流量,并具有结构简单,功耗低,厚度小,无电磁噪音,可靠性高等优点,在微型电子器件的冷却、微型燃料电池换气等方面显示出良好的应用前景。根据实验,微型气泵的一阶固有频率约为120 H z,在谐振状态下,当驱动电压为50 V时,其输出流量为192 mL/m in,功耗小于23 mW。
-
关键词
微型气泵
压电陶瓷
微流体
-
Keywords
micro air pump
piezoelectric element
micro fluidic
-
分类号
TP137
[自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]
TH6
[机械工程—机械制造及自动化]
-
