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定容式流导法微流量校准装置
被引量:
14
1
作者
张涤新
郭美如
+8 位作者
冯焱
赵澜
李得天
赵定众
李正海
成永军
李莉
龚月莉
孙海
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第1期21-25,共5页
定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准 ,可采用定容法和流导法对气体微流进行校准 ,校准范围为 (5× 10 -2 ~ 5× 10 -11)Pa·m3 /s,合成标准不确定度为 0 .5 6 %~ 1.7%。
关键词
流量计
流量校准
真空漏孔
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职称材料
恒压式气体微流量计的性能测试
被引量:
4
2
作者
冯焱
成永军
+2 位作者
赵定众
张涤新
李得天
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期217-221,共5页
介绍了恒压式气体微流量计的组成及性能实验。实验结果表明,气体流量的测量范围为(2.96×10-9~4.76×10-4)Pa·m3/s,不确定度小于4%。标准漏孔的校准结果与德国PTB校准结果的一致性好于1.3%。
关键词
气体微流量计
性能评价
流量测量
流量标准
校准
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职称材料
定容式流导法微流量校准装置的设计
被引量:
5
3
作者
张涤新
郭美如
+1 位作者
赵澜
赵定众
《中国空间科学技术》
EI
CSCD
北大核心
2006年第2期44-51,共8页
定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准,由定客式流量计和流导法两部分组成,定容式流量计用于大流量的测量,流导法用于小流量的测量。定容式流量计有两种工作模式,可测量流入定容室的气体流量;也可测量流出定容室的流...
定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准,由定客式流量计和流导法两部分组成,定容式流量计用于大流量的测量,流导法用于小流量的测量。定容式流量计有两种工作模式,可测量流入定容室的气体流量;也可测量流出定容室的流量。该校准装置,可采用定容法和流导法对气体微流量进行校准,校准范围为(5×10^-2~5×10^-11)Pa·m^3/s,合成标准不确定度为0.56%~1.70%。
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关键词
流量计
流量测量
校准
设计
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职称材料
题名
定容式流导法微流量校准装置
被引量:
14
1
作者
张涤新
郭美如
冯焱
赵澜
李得天
赵定众
李正海
成永军
李莉
龚月莉
孙海
机构
兰州物理研究所
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第1期21-25,共5页
文摘
定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准 ,可采用定容法和流导法对气体微流进行校准 ,校准范围为 (5× 10 -2 ~ 5× 10 -11)Pa·m3 /s,合成标准不确定度为 0 .5 6 %~ 1.7%。
关键词
流量计
流量校准
真空漏孔
Keywords
Gas flowmeter,Throughput calibration,Vacuum leaker
分类号
TB77 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
恒压式气体微流量计的性能测试
被引量:
4
2
作者
冯焱
成永军
赵定众
张涤新
李得天
机构
兰州物理研究所
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期217-221,共5页
文摘
介绍了恒压式气体微流量计的组成及性能实验。实验结果表明,气体流量的测量范围为(2.96×10-9~4.76×10-4)Pa·m3/s,不确定度小于4%。标准漏孔的校准结果与德国PTB校准结果的一致性好于1.3%。
关键词
气体微流量计
性能评价
流量测量
流量标准
校准
Keywords
Gas micro-flowmeter, Performance evaluation, Throughput measurement, Throughput standard,Calibration
分类号
TB77 [一般工业技术—真空技术]
TN107 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
定容式流导法微流量校准装置的设计
被引量:
5
3
作者
张涤新
郭美如
赵澜
赵定众
机构
兰州物理研究所
出处
《中国空间科学技术》
EI
CSCD
北大核心
2006年第2期44-51,共8页
文摘
定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准,由定客式流量计和流导法两部分组成,定容式流量计用于大流量的测量,流导法用于小流量的测量。定容式流量计有两种工作模式,可测量流入定容室的气体流量;也可测量流出定容室的流量。该校准装置,可采用定容法和流导法对气体微流量进行校准,校准范围为(5×10^-2~5×10^-11)Pa·m^3/s,合成标准不确定度为0.56%~1.70%。
关键词
流量计
流量测量
校准
设计
Keywords
Flowmeter Flow rate measurement Calibration Design
分类号
TB774 [一般工业技术—真空技术]
TH814.606 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
定容式流导法微流量校准装置
张涤新
郭美如
冯焱
赵澜
李得天
赵定众
李正海
成永军
李莉
龚月莉
孙海
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
14
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
恒压式气体微流量计的性能测试
冯焱
成永军
赵定众
张涤新
李得天
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
定容式流导法微流量校准装置的设计
张涤新
郭美如
赵澜
赵定众
《中国空间科学技术》
EI
CSCD
北大核心
2006
5
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