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定容式流导法微流量校准装置 被引量:14
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作者 张涤新 郭美如 +8 位作者 冯焱 赵澜 李得天 赵定众 李正海 成永军 李莉 龚月莉 孙海 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期21-25,共5页
定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准 ,可采用定容法和流导法对气体微流进行校准 ,校准范围为 (5× 10 -2 ~ 5× 10 -11)Pa·m3 /s,合成标准不确定度为 0 .5 6 %~ 1.7%。
关键词 流量计 流量校准 真空漏孔
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恒压式气体微流量计的性能测试 被引量:4
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作者 冯焱 成永军 +2 位作者 赵定众 张涤新 李得天 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期217-221,共5页
介绍了恒压式气体微流量计的组成及性能实验。实验结果表明,气体流量的测量范围为(2.96×10-9~4.76×10-4)Pa·m3/s,不确定度小于4%。标准漏孔的校准结果与德国PTB校准结果的一致性好于1.3%。
关键词 气体微流量计 性能评价 流量测量 流量标准 校准
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定容式流导法微流量校准装置的设计 被引量:5
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作者 张涤新 郭美如 +1 位作者 赵澜 赵定众 《中国空间科学技术》 EI CSCD 北大核心 2006年第2期44-51,共8页
定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准,由定客式流量计和流导法两部分组成,定容式流量计用于大流量的测量,流导法用于小流量的测量。定容式流量计有两种工作模式,可测量流入定容室的气体流量;也可测量流出定容室的流... 定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准,由定客式流量计和流导法两部分组成,定容式流量计用于大流量的测量,流导法用于小流量的测量。定容式流量计有两种工作模式,可测量流入定容室的气体流量;也可测量流出定容室的流量。该校准装置,可采用定容法和流导法对气体微流量进行校准,校准范围为(5×10^-2~5×10^-11)Pa·m^3/s,合成标准不确定度为0.56%~1.70%。 展开更多
关键词 流量计 流量测量 校准 设计
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