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高温环境扫描电镜(KYKY1500)Ⅱ.调试与应用
被引量：
6
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作者
邵曼君
赵万敏
+3 位作者
肖骅昭
段岳
余健业
黄兰友
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1997年第1期65-70,共6页
本文扼要地叙述了ＫＹＫＹ１５００高温环境扫描电镜在常温通气状态下及高温通气状态下，为获得分辨率优于６０ｎｍ的图像所必须的参数选择，及在调试过程中所作的改进。同时。
关键词
环境扫描电镜
高温样品台
电镜
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职称材料
题名
高温环境扫描电镜(KYKY1500)Ⅱ.调试与应用
被引量：
6
1
作者
邵曼君
赵万敏
肖骅昭
段岳
余健业
黄兰友
机构
中国科学院化工冶金研究所
中国科学院科仪中心
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1997年第1期65-70,共6页
文摘
本文扼要地叙述了ＫＹＫＹ１５００高温环境扫描电镜在常温通气状态下及高温通气状态下，为获得分辨率优于６０ｎｍ的图像所必须的参数选择，及在调试过程中所作的改进。同时。
关键词
环境扫描电镜
高温样品台
电镜
Keywords
Environmental Scanning Electron Microscope(ESEM) hot stage selection of parameters
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
高温环境扫描电镜(KYKY1500)Ⅱ.调试与应用
邵曼君
赵万敏
肖骅昭
段岳
余健业
黄兰友
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1997
6
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