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非球面检测中最佳入射球面波和最佳参考球面波的确定 被引量:4
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作者 莫卫东 范琦 +4 位作者 贾晋超 张海防 冯明德 杨百遇 李均盛 《中国光学》 EI CAS 2012年第3期263-269,共7页
为了能够对非球面光学元件面型进行高精度的干涉检测,提出了一种确定最佳入射球面波和最佳参考球面波的新方法。该方法通过计算分析入射球面波与非球面反射波干涉条纹密度,确定最佳入射球面波的波源位置;通过计算分析在干涉图记录平面CC... 为了能够对非球面光学元件面型进行高精度的干涉检测,提出了一种确定最佳入射球面波和最佳参考球面波的新方法。该方法通过计算分析入射球面波与非球面反射波干涉条纹密度,确定最佳入射球面波的波源位置;通过计算分析在干涉图记录平面CCD上干涉条纹的密度,确定非球面检测时参考球面波波源的最佳位置。应用该理论与方法,不仅可明确非球面检测时CCD等光路元件选型的具体策略,而且可用于指导非球面检测调试过程,并能够通过对干涉图的深入分析,获得更多被测非球面的信息。 展开更多
关键词 非球面检测 最佳入射球面波 最佳参考球面波 干涉条纹
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用干涉条纹密度确定非球面检测点光源的最佳位置 被引量:1
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作者 莫卫东 范琦 +4 位作者 贾晋超 张海防 冯明德 杨百愚 李均盛 《空军工程大学学报(自然科学版)》 CSCD 北大核心 2012年第1期85-90,共6页
在对非球面的干涉检测中,记录干涉图的CCD的选型、光路中光学器件的选择和干涉图的分析计算以及检测系统的精度评价等,都与干涉入射点光源和参考点光源的位置直接相关。为了能够准确地预判非球面检测时入射球面光波和参考球面光波的点... 在对非球面的干涉检测中,记录干涉图的CCD的选型、光路中光学器件的选择和干涉图的分析计算以及检测系统的精度评价等,都与干涉入射点光源和参考点光源的位置直接相关。为了能够准确地预判非球面检测时入射球面光波和参考球面光波的点光源最佳位置,采用计算和分析在点光源与被测非球面反射光波的干涉条纹密度的方法,确定非球面干涉检测时入射球面光波和参考球面光波的点光源的最佳位置。通过上述方法不仅能够确定非球面检测时点光源的最佳位置,还可用于全面地分析干涉条纹密度的分布,并用于制定检测系统CCD等光路元件选型的基本策略,也可用于对非球面检测的调试过程进行理论指导。 展开更多
关键词 非球面 干涉条纹密度 入射球面波 参考球面光波 点光源
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用Zernike多项式拟合干涉波面不同算法的等价性研究
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作者 莫卫东 范琦 +3 位作者 张海防 冯明德 杨百愚 贾晋超 《空军工程大学学报(自然科学版)》 CSCD 北大核心 2010年第5期90-94,共5页
通过严格证明在Zernike多项式拟合光学干涉波面时,求解拟合系数的2种典型算法即最小二乘法和Gram-Schimdt算法的等价性,论证了求解Zernike多项式拟合系数的各种算法在求解过程中具有相同的稳定性。研究发现当其中一种算法在求解过程因... 通过严格证明在Zernike多项式拟合光学干涉波面时,求解拟合系数的2种典型算法即最小二乘法和Gram-Schimdt算法的等价性,论证了求解Zernike多项式拟合系数的各种算法在求解过程中具有相同的稳定性。研究发现当其中一种算法在求解过程因故中断或拟合的干涉波面出现了突变,则另一种算法同样无法实现对该干涉波面的正确拟合。研究结果表明:用Zernike多项式拟合干涉波面,没有哪一种算法更优于其他算法,仅仅是求解过程不同而已,各种算法的可靠性是等价的。 展开更多
关键词 ZERNIKE多项式 干涉波面 最小二乘法 Gram—Schimdt算法 算法等价性
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