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题名基于环形游标时间数字转换器的编码转换电路
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作者
费宏欣
刘海涛
吴旭鹏
任静
方玉明
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机构
南京邮电大学集成电路科学与工程学院
南京筠芯科技有限公司
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出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
2024年第3期234-238,共5页
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基金
江苏省研究生科研与实践创新计划项目(SJCX21_0273)
国家自然科学基金青年基金项目(11904177,61704090)
南京邮电大学射频集成与微组装技术国家地方联合工程实验室开放课题(KFJJ20210205)。
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文摘
基于应用在锁相环的环形游标时间数字转换器(Vernier ring time-to-digital converter,VRTDC),提出了一种温度计码编码转换电路,解决了VRTDC电路在小量程计数时输出电路无法输出准确的码值,导致时间间隔错误的输出量化问题。采用Cadence Spectre仿真工具在标准180 nm CMOS混合信号工艺下对编码转换电路进行验证,验证结论表明该VRTDC可输出正确的编码值,有效分辨率可达10 ps、动态范围可达560 ns,且在测量范围内具有很好的线性度。
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关键词
编码转换电路
时间数字转换器
环形游标
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Keywords
encoding conversion circuit
time⁃to⁃digital converter
vernier ring
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分类号
TN792
[电子电信—电路与系统]
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题名静电微执行器拓宽行程范围技术的研究进展
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作者
费宏欣
方玉明
吴旭鹏
蔡滕
赵江
李若舟
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机构
南京邮电大学集成电路科学与工程学院
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出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
北大核心
2022年第5期405-411,共7页
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基金
江苏省研究生科研与实践创新计划项目(SJCX21_0273)
国家自然科学基金青年基金项目(11904177,61704090)
南京邮电大学射频集成与微组装技术国家地方联合工程实验室开放课题(KFJJ20210205)。
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文摘
Pull-in失稳现象是MEMS/NEMS微执行器中的一种常见现象,容易引起执行器件产生电流击穿,直接影响到器件的稳定性和寿命。需要根据不同的应用场合避免或利用该效应。针对Pull-in失稳现象,研究了失稳机理,从拓宽和调整其行程范围的角度,综述了各种抑制和控制Pull-in失稳现象的方法。总结对比了各种方法的原理、从相关技术角度讨论各方法优缺点,其中涉及工艺技术有MUMPS工艺、BiCMOS工艺和LPCVD工艺,这三种技术在向着低成本、高性能、高产量等方向更新工艺标准。未来拓宽微执行器稳定行程范围方法主要在电路设计、优化结构,且向着可行性、可靠性方向发展。
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关键词
Pull-in失稳现象
拓宽行程范围
微执行器
可靠性
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Keywords
Pull-in instability
extended travel
micro-actuator
reliability
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分类号
TN402
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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